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[发明专利]一种双层复合石英坩埚透明层厚度检测方法-CN202310813602.8有效
发明人：赵谦;张方;郑轩;梁浩强;李蓉蓉;赵曼 -专利权人： 西安地山视聚科技有限公司
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01B15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种双层复合石英坩埚透明层厚度检测方法，包括步骤：一、安装双层复合石英坩埚和电子显微镜；二、确定厚度检测点位置；三、采集厚度检测点的视频影像；四、获取透明层起始帧图像和透明层终止帧图像；五、根据透明层起始帧图像和透明层终止帧图像的拍摄时间差、机械臂的移动速度和电子显微镜的拍摄帧率，计算双层复合石英坩埚在厚度检测点处的厚度。本发明通过设置两个呈垂直布设的电子显微镜，使呈竖直布设的电子显微镜在机械臂在层间转移时可以采集底部检测点的检测视频；再通过获取透明层起始帧图像和透明层终止帧图像的帧数、机械臂的运动速度和拍摄帧率计算坩埚透明层厚度，计算逻辑清晰准确，从而便于提高生产质量。
一种双层复合石英坩埚透明厚度检测方法

[实用新型]一种双层复合石英坩埚检测装置-CN202222935870.0有效
发明人：赵谦;郑轩;张方;王丹 -专利权人： 西安地山视聚科技有限公司;西安科技大学
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双层复合石英坩埚检测装置，包括移动柜、设置在移动柜顶部的检测机构、通过回转支承转动安装在移动柜顶部的旋转平台、设置在旋转平台上供坩埚放置的底座以及用于对坩埚定心的定心机构；旋转平台为圆形，定心机构包括至少三个沿旋转平台周向均匀布设的定心组件，每个定心组件包括丝杆滑台和设置在丝杆滑台上且能够沿旋转平台径向移动的调整立柱；丝杆滑台包括设置在旋转平台上的安装座、转动安装在安装座上的丝杆和螺纹套设于丝杆上的丝母座，移动柜内安装有伺服电机，伺服电机带动丝杆转动。本实用新型既保证了坩埚放置位置的精准性，又能够通过改变调整立柱的位置以适应不同型号的坩埚直径，无需频繁更换固定装置。
一种双层复合石英坩埚检测装置

[发明专利]一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法-CN202210462191.8有效
发明人：张渤;赵谦;郑轩;王丹;张方 -专利权人： 西安地山视聚科技有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种非接触式双层复合石英坩埚壁厚检测方法，包括步骤：一、在双层复合石英坩埚上布设光栅检测点；二、采集光栅检测点移动时的视频图像；三、对信息待提取视频的有效视频段进行选择；四、选择有效视频段中内条纹光栅贴片和外条纹光栅贴片各自图像质量最高的一帧图像；五、根据内条纹光栅贴片和外条纹光栅贴片各自图像质量最高的一帧图像的拍摄时间差和待测坩埚的移动速度计算待测坩埚在当前光栅检测点处的厚度。本发明基于图像识别进行双层复合石英坩埚壁厚的检测，检测速度快、检测精度高，对每个光栅检测点都有视频留存便于溯源，可根据实际需求进行检测精度的调整，大大降低检测成本，提高检测效率。
一种接触双层复合石英坩埚检测方法

[实用新型]一种坩埚检测用辅助固定装置-CN202221007279.2有效
发明人：张渤;赵谦;郑轩;王丹;张方 -专利权人： 西安地山视聚科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： B25H1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚检测用辅助固定装置，包括支撑柱、套设在支撑柱上的旋转座、连接在旋转座顶部的负压吸附座和插设在负压吸附座顶部的初定位台；所述负压吸附座内开设有与真空泵的抽气嘴连通的负压抽气通道，所述初定位台上开设有与所述负压抽气通道连通的竖向通孔；所述初定位台的上表面开设有用于初定位坩埚的凹槽，凹槽、竖向通孔和初定位台均同轴布设。本实用新型通过设置真空泵吸附坩埚，对坩埚的外表面不会造成损伤，能够实现无损检测，使坩埚在一次固定后可检测的侧壁面积极大，避免坩埚的频繁安拆，且通过设置旋转座控制坩埚旋转，使检测人员无需频繁移动检测方位，使检测点更加均匀，从而使检测结果更加可靠。
一种坩埚检测辅助固定装置