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[发明专利]一种环形靶材加工方法-CN202310860173.X在审
发明人：姚力军;潘杰;袁锦泽;陈玉蓉 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及靶材加工技术领域，具体公开了一种环形靶材加工方法，包括以下步骤：对实心靶坯进行加工，以形成内外侧具有台阶的环形靶坯；将环形靶坯具有台阶的一端焊接于背板上，以形成靶材组件；通过多个平口钳夹持靶材组件，以对背板焊接环形靶坯的一面进行加工以形成台阶面；通过多个平口钳夹持靶材组件，以对背板背离环形靶坯的一面进行精加工。本发明先对实心靶坯进行加工，再将实心靶坯焊接于背板上，能够防止靶材组件在加工时出现变形，并导致环形靶坯与背板脱焊的情况；采用多个平口钳对靶材组件进行夹持，能够分散并减小单个平口钳的夹持力度，最大限度减小因夹持所造成的变形，防止因外力整平过程中，环形靶坯与背板脱焊。
一种环形加工方法

[发明专利]一种内嵌水道的薄壁件制作方法及薄壁件-CN202211034089.4在审
发明人：姚力军;潘杰;袁锦泽;陈玉蓉 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种内嵌水道的薄壁件制作方法及薄壁件，所述薄壁件制作方法包括：(I)提供第一胚料板与第二胚料板，分别对第一胚料板与第二胚料板进行初始检测；(II)将第一胚料板与第二胚料板分别进行粗车削得到第一盖板与第二盖板，在第一盖板的表面布置水道，将第二盖板扣合在水道的上方进行焊接得到预处理基板；(III)将第一盖板与第二盖板分别依次进行半精车削与精车削得到主体基板，同时分别采用超声波测量组件监测壁厚并进行检验；(IV)对主体基板进行终端检测。本发明在每道车削工序前后均进行超声厚度监测，根据测量结果进行整形调整，确保薄壁件的厚度均匀性满足要求，防止薄壁件发生鼓包变形。
一种水道薄壁制作方法

[实用新型]一种靶材组件用沉孔塞-CN202122575446.5有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;袁锦泽;陈玉蓉 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材组件用沉孔塞，为凸型结构，包括凸端和底端；所述沉孔塞凸端的直径为靶材组件中沉孔直径的1.15‑1.3倍；所述凸端的顶部设置有凹槽；所述凸端的侧壁设置有盲孔；所述盲孔的等效圆直径为所述凸端高度的1‑3％；所述凸端和所述底端采用螺纹结构进行连接；所述凸端和所述底端的连接为过盈配合。通过对沉孔塞的设计，采用过盈配合及凸端侧面设置盲孔的形式，保证了沉孔塞和沉孔可以良好的锁紧，避免溅射过程中法兰圈的磨损，从而保证溅射所得薄膜的性能。通过在侧壁设置盲孔，避免了背板变形过程中对沉孔塞的损伤，也有利于沉孔塞的固定。
一种组件用沉孔塞

[发明专利]机械研磨修整轮的加工方法-CN201210593103.4有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁锦泽 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：一种机械研磨修整轮的加工方法，包括：提供圆环柱形坯料，粗车外圆环表面、内圆环表面和两端面，形成第一半成品机械研磨修整轮；对第一半成品机械研磨修整轮进行热处理，以去除内应力；半精加工第一半成品机械研磨修整轮的外圆环表面、内圆环表面和两端面，形成第二半成品机械研磨修整轮；对第二半成品机械研磨修整轮的一端面进行钻孔处理形成背面，对第二半成品机械研磨修整轮的另一端面进行铣槽处理，形成研磨面；钻孔处理和铣槽处理后，将第二半成品机械研磨修整轮固定在全周夹具上，对第二半成品机械研磨修整轮进行精加工处理，使得背面和研磨面之间的距离、背面的平面度、背面与研磨面的平行度符合要求。采用本发明的加工方法加工精度高。
机械研磨修整加工方法

[发明专利]一种靶材加工的工具-CN201210034144.X有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;袁锦泽 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2010-12-23 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B23B27/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材加工工具，包括刀具，用于在靶材上加工V型水槽，所述刀具包括刀片和与刀片连接的刀柄，所述刀片的后角由V型水槽夹角决定。另一方面，本发明还提供了基板，所述基板用于在对所述靶材切割时对其进行定位装夹，所述基板包含靶材承载区和固定区；所述靶材承载区位于基板中央区域；所述固定区位于基板边缘区域，用于将基板固定于切割机台上；所述靶材承载区内还包含切割定位部。本发明旨在通过增大刀具的后角，使所述刀具对整圆靶材加工V型水槽时，不会磨到已加工的表面，并在对所述整圆靶材进行切割时，采用所述基板合理定位装夹所述整圆的铜锰合金靶材，提高了定位精度，最终保证了产品尺寸的精确性。
一种加工工具

[发明专利]镍靶材组件的加工方法及加工装置-CN201110321309.7有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;袁锦泽 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-10-20 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B23P17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种镍靶材组件的加工方法，包括：提供一侧设有多个水槽的背板、纯度为99.99％的镍靶材坯料；将镍靶材坯料与背板焊接在一起；将镍靶材组件固定在车床上对镍靶材坯料进行车削加工以得到镍靶材；将镍靶材组件固定在磨床上对镍靶材进行磨削加工。通过合理选用车床刀片，严格控制加工参数减小了车床加工时镍靶材表面上的缺陷；待车床加工完成后，利用磨床并合理选用磨具对镍靶材进行磨削、抛光以进一步减小镍靶材表面上的缺陷，从而得到尺寸精度高、表面粗糙度低的镍靶材，进而得到符合溅射性能的镍靶材组件。本发明还提供一种能对上述镍靶材组件进行加工的加工装置。
镍靶材组件加工方法装置

[发明专利]一种靶材加工的工具-CN201010603094.3有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;袁锦泽 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2010-12-23 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： B23B27/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材加工工具，包括刀具，用于在靶材上加工V型水槽，所述刀具包括刀片和与刀片连接的刀柄，所述刀片的后角由V型水槽夹角决定。另一方面，本发明还提供了基板，所述基板用于在对所述靶材切割时对其进行定位装夹，所述基板包含靶材承载区和固定区；所述靶材承载区位于基板中央区域；所述固定区位于基板边缘区域，用于将基板固定于切割机台上；所述靶材承载区内还包含切割定位部。本发明旨在通过增大刀具的后角，使所述刀具对整圆靶材加工V型水槽时，不会磨到已加工的表面，并在对所述整圆靶材进行切割时，采用所述基板合理定位装夹所述整圆的铜锰合金靶材，提高了定位精度，最终保证了产品尺寸的精确性。
一种加工工具

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