专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]叠层薄膜以及淀积方法-CN01823013.X无效
  • 种子田贤宏;藤野刚三;大松一也 - 住友电气工业株式会社;财团法人国际超电导产业技术研究中心
  • 2001-12-10 - 2004-04-28 - C23C14/08
  • 本发明制造出一种具有均匀厚度并且具有一平行于基板主表面的晶轴的薄膜。在一种淀积方法中,通过从靶(12)的表面散射出一种淀积材料并且使得散射出的这种淀积材料在一基板(100)的主表面(100a)上生长而形成一薄膜。该方法包括下述步骤:将基板(100)定位成第一状态,在该状态下,一端部(100f)与靶(12)之间的距离较小,而另一端部(100e)与靶(12)之间的距离相对较大;在第一状态下在基板(100)上成形一第一薄膜(110);将基板(100)定位成第二状态,在该状态下,一端部(100f)与靶(12)之间的距离较大,而另一端部(100e)与靶(12)之间的距离较小;以及在第二状态下在第一薄膜(110)上成形一第二薄膜(120)。
  • 薄膜以及方法

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