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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法-CN202110337807.4在审
发明人： 薛在完;姜贤圭;徐东均;韩尚辰;韩种馩 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。本发明包括：传感器部，包括测量从沉积源喷射的沉积物质的沉积厚度的多个传感器；第一加热器部，布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器；以及第二加热器部，布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器。
显示装置制造装置以及方法

[发明专利]薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置-CN201610247838.X有效
发明人： 薛在完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2016-04-20 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供了薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置。作为示例，薄膜厚度测量单元包括：第一驱动电机；第一旋转轴，连接至所述第一驱动电机；第二旋转轴，倾斜地布置以与第一旋转轴形成预定角度；第一驱动力传递连结件，连接在所述第一旋转轴与所述第二旋转轴之间，并且随着所述第一旋转轴被驱动而驱动以使所述第二旋转轴一同被驱动；支承板，与所述第二旋转轴垂直地连接至所述第二旋转轴端部并且随着所述第二旋转轴的驱动而旋转；以及多个感测器，布置在所述支承板的一表面处并且测量由沉积源蒸发的沉积物质的量。
薄膜厚度测量单元包括沉积装置

[发明专利]沉积源-CN201610080804.6有效
发明人： 薛在完;姜有珍;金东昱;尹日燮;车龙俊 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2016-02-05 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。
沉积

[发明专利]用于制造显示装置的设备-CN201910669080.2在审
发明人：韩尚辰;朴俊河;姜有珍;金东昱;卢喆来;薛在完;郑成镐;许明洙;徐敏逵 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。
源单元喷嘴单元沉积材料腔室显示装置喷射制造容纳中断外部转化

[发明专利]薄膜形成装置及使用其制造显示设备的方法-CN201611076642.5在审
发明人：罗兴烈;金东昱;薛在完;郑成镐 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2016-11-29 - 公布日： 2017-09-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供了制造显示设备的方法和薄膜形成装置。制造显示设备的方法包括制备包括炉缸和前散热器的薄膜形成装置，炉缸存储用于形成薄膜的源材料，前散热器布置在炉缸上并且包括反射板，其中，反射板包括具有第一反射率的第一表面和具有第二反射率的第二表面，第二反射率与第一反射率不同；以及通过蒸发薄膜形成装置的源材料，在衬底上形成薄膜。
薄膜形成装置使用制造显示设备方法

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