专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]石墨舟矫正滑台和管式PECVD设备-CN202122647184.9有效
  • 侯淇文;赵爱爽;董奎奎 - 晶澳太阳能有限公司
  • 2021-11-01 - 2022-06-10 - C23C16/50
  • 本申请涉及一种石墨舟矫正滑台,其包括固定机构、X轴矫正机构和Y轴矫正机构,所述固定机构用于石墨舟的放置,所述X轴矫正机构和Y轴矫正机构均设在所述固定机构上,所述石墨舟在放置过程中通过所述X轴矫正机构在所述固定机构上沿X轴方向移动,所述石墨舟在放置后通过所述Y轴矫正机构在所述固定机构上沿Y轴方向移动,所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直。本申请具有以下效果:通过X轴矫正机构在石墨舟的放置过程中调节石墨舟沿X轴方向的位置,通过Y轴矫正机构在石墨舟放置后调节Y轴方向的位置,可以达到对石墨舟的平面位置进行矫正的目的,从而便于机械手对其进行精准地抓取。
  • 石墨矫正pecvd设备

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