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[发明专利]吸附台-CN201210015592.5无效
发明人：吉田茂;落合亮 -专利权人：株式会社拓普康
申请日： 2012-01-18 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种吸附台，不会导致作业时间的增大和产品精度的降低，而能够以平坦的状态保持工件。吸附台(40)，使工件(22)保持在平坦的载放面(40b)上，在该工件(22)上曝光光被成像而使既定的掩模图形曝光，其中，包括：固定吸附机构(60)，可吸附工件(22)而使工件(22)相对载放面(40b)的姿态固定；平面吸附机构(70)，可吸附工件(22)而与载放面(40b)面抵接，平面吸附机构(70)具有多个在载放面(40b)上开设的平面吸附孔(71)，从载放面(40b)上的任意一点到载放面(40b)的外缘，按照顺序进行利用各平面吸附孔(71)的吸附动作。
吸附

[发明专利]载置台架-CN201110322584.0无效
发明人： 落合亮;吉田茂 -专利权人：株式会社拓普康
申请日： 2011-10-21 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供一种结构简单且以很高的精度进行工件的位置姿势控制的载置台架。是控制被成像曝光光成像而曝光既定的掩模图案的工件（22）的相对于基准平面的位置及姿势的载置台架（30）。具备：基座部件（31），相对于基准平面固定地设置；第一驱动机构（32），可在沿着基准平面的第一方向（Y轴方向）上移动地设在基座部件（31）上；第一滑块（33），受第一驱动机构（32）支承；一对第二驱动机构（34），可在沿着基准平面且相对于第一方向倾斜的第二方向（X轴方向）上移动地、在第一滑块上沿第一方向隔开间隔设置；两个第二滑块（35），分别受各第二驱动机构单独支承；平面调节板（36），为了载置工件（22）而在两第二滑块上沿第一方向架设，沿着基准平面设置。
台架