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- [实用新型]一种晶圆铁环上料装置-CN202320477936.8有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2023-03-14
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2023-08-18
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H01L21/677
- 本实用新型涉及一种晶圆铁环上料装置，包括底板、移动机构、限位机构、升降机构以及机械手，所述限位机构包括若干组立柱，每组所述立柱的位置分别与晶圆铁环的内径和/或外径尺寸匹配；所述升降机构固定于所述底板上，并驱动所述机械手沿垂向移动；所述机械手的末端活动连接有两个移动板，两个所述移动板通过水平设置的伸缩气缸连接；每个所述移动板的底部均设有吸盘，所述伸缩气缸的伸缩量与不同尺寸的所述晶圆铁环的位置对应。本实用新型提供的上料装置可通过可变长度的机械手吸盘实现了根据需要灵活吸取不同直径铁环的目的。
- 一种铁环装置
- [实用新型]一种用于晶圆贴膜机的换膜机构-CN202320478881.2有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2023-03-14
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2023-08-18
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H01L21/67
- 本实用新型涉及一种用于晶圆贴膜机的换膜机构，包括两根牵引绳及沿所述牵引绳行进方向依次设置的牵引绳放卷辊、牵引绳传动组件以及牵引绳收卷辊，所述牵引绳的一端固定缠绕于所述牵引绳放卷辊上，另一端固定缠绕于所述牵引绳收卷辊上；还包括薄膜放卷辊，所述薄膜放卷辊上缠绕的薄膜的自由端通过夹持杆组件与所述牵引绳连接；所述牵引绳传动组件包括驱动辊和与所述驱动辊配合的压力辊，所述压力辊与推压气缸固定连接，所述推压气缸控制所述压力辊与所述驱动辊啮合或分离，所述牵引绳、夹持杆组件以及薄膜从分离的所述压力辊和驱动辊之间穿过。本实用新型利用牵引绳固定薄膜，使得薄膜以较好的姿态，自动、快速地依次穿过各个辊筒，实现快速换模。
- 一种用于晶圆贴膜机机构
- [实用新型]一种研磨机上料晶圆吸取机构-CN202320433527.8有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2023-03-09
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2023-08-18
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B24B37/34
- 本实用新型涉及一种研磨机上料晶圆吸取机构，包括安装板、调平底座、调平螺丝、衬套、滑动吸杆、吸盘以及缓冲机构，所述调平底座通过所述调平螺丝安装于所述安装板上；所述衬套固定于所述调平底座的中部；所述滑动吸杆限位于所述衬套的中部，并与所述衬套滑动配合；所述滑动吸杆的下部穿过所述衬套和调平底座与所述吸盘固定连接；所述缓冲机构设置于所述安装板与所述吸盘之间。本实用新型采用调平螺丝对吸盘的平面度进行调节，同时采用缓冲机构实现吸盘的上下浮动，从而确保吸盘吸取晶圆时吸盘面能够很好的平行于晶圆，确保晶圆不被压伤，继而使得晶圆顺利平稳的被搬运，本实用新型充分利用了空间，且结构简单，工作效率高。
- 一种研磨机上料晶圆吸取机构
- [实用新型]一种研磨机用晶圆搬运手臂-CN202320308437.6有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2023-02-24
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2023-07-14
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B65G49/06
- 本实用新型涉及一种研磨机用晶圆搬运手臂，包括悬臂、水平调节组件以及吸盘组件，所述吸盘组件通过所述水平调节组件安装于所述悬臂的一端，所述水平调节组件包括分气块、第一调节块、第一定位销、第二调节块以及第二定位销，所述第一调节块通过第一定位销与所述分气块铰接，所述第二调节块通过第二定位销与所述第一调节块铰接，所述第一定位销的轴向与所述第二定位销的轴向垂直；所述吸盘组件包括连接块、洒水罩、陶瓷吸盘以及出水圈，所述连接块与所述分气块固定连接，所述洒水罩安装于所述连接块的下方，所述出水圈和陶瓷吸盘安装于所述洒水罩的下方，且所述出水圈围设于所述陶瓷吸盘的外边缘。本申请可实现高精度的水平调节和便捷的吸盘冲洗。
- 一种研磨机用晶圆搬运手臂
- [实用新型]一种翻转式搬运机械手-CN202320308119.X有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2023-02-24
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2023-07-11
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B65G47/91
- 本实用新型涉及一种翻转式搬运机械手，包括依次连接的安装板、手臂支架以及吸盘组件，吸盘组件包括旋转气缸、旋转轴、固定块、分气块、吸盘以及缓冲机构；旋转气缸通过旋转轴与固定块固定连接，并能够带动固定块旋转；缓冲机构穿过固定块与分气块固接，吸盘与分气块固接并连通；缓冲机构包括缓冲支柱、缓冲弹簧、U型钣金、摆动轴以及缓冲杆，缓冲支柱的一端穿过固定块与分气块固接，另一端与U型钣金固接；缓冲弹簧套设于缓冲支柱外，并限位于缓冲支柱与固定块之间；摆动轴架设于U型钣金的两侧壁之间，缓冲杆的一端套于摆动轴上并能够绕摆动轴旋转。本申请解决了晶圆旋转时两侧气缸存在驱动误差的问题，同时利用缓冲机构实现了调平和缓冲功能。
- 一种翻转搬运机械手
- [实用新型]一种划片机真空常开系统-CN202221923914.1有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2022-07-25
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2023-01-06
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B28D5/00
- 本实用新型涉及一种划片机真空常开系统，包括：真空吸附，气源通过第一管路经真空破坏单元气阀与所述真空吸附连通；第一真空发生器，所述真空吸附通过第二管路连通到所述第一真空发生器的真空端口，气源通过第三管路经真空单元气阀与所述第一真空发生器相连通；第二真空发生器，所述第二真空发生器在划片机断电时外接于气源与真空吸附之间，所述第二真空发生器的真空端口通过第四管路连通到所述真空吸附，所述第二真空发生器另一端通过第五管路经截止阀连通至气源。本实用新型在断电后仍能形成真空，保证对半导体材料吸附的稳定，降低划片机断电后半导体材料的报废率。
- 一种划片真空常开系统
- [实用新型]一种分拣臂头及分拣系统-CN202221798160.1有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2022-07-13
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2022-11-25
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B07C5/02
- 本实用新型公开了一种分拣臂头及分拣系统，分拣臂头包括一个平移支撑架、一个升降支撑架、多个吸嘴、一个电机驱动机构、多个气缸以及一个气阀组件，所述电机驱动机构安装于所述平移支撑架上并带动所述升降支撑架沿竖直方向升降运动，所述多个气缸安装于所述升降支撑架上并分别带动所述多个吸嘴沿竖直方向进行升降运动，所述气阀组件控制所述多个吸嘴和所述多个气缸，所述气阀组件安装于所述平移支撑架上并设于所述升降支撑架的上方，所述电机驱动机构设于所述升降支撑架和所述气阀组件的侧方。本实用新型能够兼顾芯片分拣系统的分拣精度、分拣效率以及结构的紧凑性。
- 一种分拣系统
- [实用新型]一种伸缩式划片机换刀工具-CN202221556735.9有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2022-06-21
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2022-10-28
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B28D7/00
- 本实用新型涉及一种伸缩式划片机换刀工具，包括：外壳；内芯，设置在外壳内，与外壳同轴心设置，内芯在外壳内沿轴向延伸方向滑动设置；定位工装，设置在内芯的端部，由内芯带动相对于外壳轴向滑动进出，在定位工装滑动突出于外壳时，定位工装对划片机上的法兰盘进行定位；柔性夹持件，设置在定位工装与外壳之间，柔性夹持件一端连接在定位工装上，由内芯带动相对于外壳轴向滑动进出，柔性夹持件的另一端突出于定位工装，在柔性夹持件滑动进出外壳时，柔性夹持件突出于所述外壳的一端在限位作用下柔性形变，实现夹持动作。本实用新型省去了夹爪与内芯复杂的弹性装配结构，柔性夹持件自身可以弹性形变，不易磨损，使用寿命长。
- 一种伸缩划片机换刀工具
- [发明专利]非接触测高划片机-CN202210785239.9有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2022-07-06
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2022-10-14
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B28D5/02
- 本发明涉及半导体切割技术领域，提供了一种非接触测高划片机，包括：安装座、切割工作台、光纤传感器、光纤放大器以及光纤固定组件；切割工作台支撑并固定在安装座表面，用于承载工件；光纤传感器安装在切割工作台上，用于接收由光源射向主轴刀片的光信号；光纤放大器安装在安装座的侧边。光纤固定组件包括：第一固定部件和第二固定部件，通过在切割工作台上设置第一固定部件以及在安装座上设置第二固定部件，从而实现对光纤传感器引出之后的光纤线缆段进行固定以及对连接光纤放大器的光纤线缆段进行固定，这样将长度较大的光纤线缆沿途固定，避免光纤线缆反复移动而影响光纤传感器的信号传输，从而提高了刀片高度测量的稳定性。
- 接触测高划片
- [发明专利]分选机装置及控制方法-CN202210611181.6有效
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袁慧珠;张明明
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苏州和研精密科技有限公司
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2022-06-01
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2022-10-14
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B07C5/00
- 本发明提供了一种分选机装置及控制方法，包括机架台、第一图像检测装置、第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置；机架台上设有工件上料工位，搬运机构对处于工件上料工位的翻转盘进行上工件在作直线往返移动地过程中，经过工件上料工位、吹气装置的下方及第二图像检测装置的下方；第一图像检测装置作直线往返移动地设置在机架台上，向上检测搬运机构搬运过来的工件的背面图像，第一方向与第二方向垂直设置；第二图像检测装置向下检测吸附在翻转台上的工件的正面图像；吹气装置向下对吸附在翻转台上的工件进行除水干燥。
- 分选装置控制方法
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