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[发明专利]一种激光器光束自校准的检测装置及方法-CN202310740255.0在审
发明人：刘宏伟;王进伟;金锋 -专利权人： 苏州励索精密装备科技有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明涉及铣削刀具技术领域，尤其涉及一种激光器光束自校准的检测装置。其包括可调节的调节支架、连接座、设置在所述连接座前端的参考安装架、设置在所述参考安装架上的检测单元，所述检测单元包括由前向后依次设置的聚焦透镜、用来测量激光光束Rz位置的布鲁斯特测量单元、用于测量激光光束Rx、Ry位置的第二检测单元、以及用于测量激光光束X、Y位置的四象限测量单元。本发明的有益之处：本技术方案可以在X/Y/Rx/Ry/Rz等五个自由度方向调整激光光源，且通过三种光学测量机构的检测调整激光光源实现高精度的调节激光入射位置及角度，从而保障激光光源最开始安装时就直接可以最大效率的耦合进入光纤，并且广泛适用在诸多不可见激光的应用场景。
一种激光器光束校准检测装置方法

[实用新型]光刻机高纯水恒温恒压供水系统-CN202223180831.0有效
发明人：刘宏伟;金锋;陶水缸 -专利权人： 苏州励索精密装备科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及水处理技术领域，尤其涉及一种光刻机高纯水恒温恒压供水系统。其包括其包括高纯水粗调单元，与所述高纯水粗调单元相接通的高纯水精调单元且所述高纯水粗调单元一端接有进水端，所述高纯水精调单元包括增压泵、减压恒压阀、精控温度系统、以及精细过滤单元，所述精控温度系统包括分别与出水管接通的氟利昂制冷器和第二加热器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器出液端的温度传感器、设置于所述氟利昂制冷器和第二加热器交汇处的恒温混水阀、以及用来控制恒温混水阀进出液比例的PID控制器。本实用新型的有益之处：控制精度高，温度恒定范围在22±0.1℃；通过多次、循环过滤，使得水中各项杂质都小于要求的含量要求，大大提高水的纯度。
光刻高纯水恒温供水系统

[实用新型]一种高端光刻机航空运输专用集装箱-CN202122904954.3有效
发明人：刘宏伟;金锋 -专利权人： 苏州励索精密装备科技有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及集装箱技术领域，尤其涉及一种高端光刻机航空运输专用集装箱。包括集装箱，所述集装箱上接通有梯形的集装箱上部，所述集装箱包括集装箱框架、配合集装箱框架安装的封板，所述集装箱框架包括底架、置于底架前端两侧的前角柱、用于连接底架与前角柱的前角件、置于底架后端两侧的后角柱、用于连接底架和后角柱的后角件、置于底架上的底浪板，在所述底架前端均开设有叉槽，在所述叉槽的左右两边均设置有叉槽加强板。本实用新型的有益之处：本实用新型通过将标准的“口”式结构的AGA集装箱，设计成“合”式结构的新型航空集装箱，有效的利用了现有货机的区域空间，从而实现运货高度增加。
一种高端光刻航空运输专用集装箱