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[发明专利]检查装置以及检查方法-CN201710574885.X有效
发明人：木川洋一;自然浩次 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置以及检查方法。检查装置具备：光源部，其射出对作为检查对象的检查对象相位差膜照射的光；偏光膜，其配置在所述光源部与所述检查对象相位差膜之间，用于使从所述光源部射出的所述光通过所述检查对象相位差膜；检查部，其接收通过了所述检查对象相位差膜的所述光来检查缺陷；以及非平行用相位差膜，其配置在至从所述光源部射出的所述光被所述检查部接收为止的路径上。
检查装置以及方法

[发明专利]层叠薄膜的制造方法、层叠薄膜的缺陷检测方法、层叠薄膜的缺陷检测装置、层叠薄膜、以及图像显示装置-CN200780001727.X有效
发明人：小林孝正;萩原陆宏;矢野祐树;自然浩次 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2007-01-10 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： G01N21/896 文献下载
摘要：本发明在使用检查用偏光滤光器或检查用相位差滤光器对具有偏振镜的层叠薄膜进行缺陷检查时，按照适当的顺序配置应该在拍摄光程中配置的构件。提供层叠有偏振片(1)和光学补偿层的层叠薄膜(11)的缺陷检测方法，包括：通过配置在层叠薄膜(11)的薄膜面的偏振片叠层侧的光源照射光的工序、通过配置在薄膜面的光学补偿层侧的摄像部(12)对层叠薄膜(11)的透过光像进行拍摄的工序、和根据由摄像部(12)拍摄的透过光像对存在于层叠薄膜(11)的缺陷进行检测的缺陷检测工序，通过位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且与摄像部(13)邻接配置的检查用滤光器(15)、和位于光源(13)和摄像部(12)之间的光程上且配置在检查用偏光滤光器(15)和层叠薄膜(11)之间的检查用相位差滤光器(16)，利用摄像部(12)进行摄像。
层叠薄膜制造方法缺陷检测装置以及图像显示装置