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- [发明专利]高阻薄膜制备方法及高阻薄膜-CN202210194534.7在审
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胡景鹏
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东莞市中科原子精密制造科技有限公司
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2022-03-01
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2022-07-01
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C23C16/40
- 本公开是高阻薄膜制备方法及高阻薄膜。该方法包括:将预处理后的微通道板放置于原子层沉积设备进行初处理;在初处理后的所述微通道板上进行导电层沉积;在所述导电层上制备复合叠层结构,所述复合叠层结构包括i个循环结构,每个所述循环结构包括n个循环的高阻相和m个循环的低阻相;在所述复合叠层结构上沉积二次电子发射层;对沉积了所述二次电子发射层的所述微通道板进行结晶处理。其中,通过ALD制备出特定比例的高阻系材料与低阻系材料的复合材料,通过调控复合材料中导电相的循环比例,从而可以获得电阻可控的MCP用高阻薄膜。
- 薄膜制备方法
- [实用新型]一种微通道板-CN202121109628.7有效
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胡景鹏;朱军平
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东莞市中科原子精密制造科技有限公司
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2021-05-21
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2022-01-04
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H01J43/24
- 本公开是关于微通道板,属于光电技术领域。本实用新型提供的微通道板包括微通道板本体及设置在微通道板本体内壁的高阻薄膜;所述高阻薄膜具有由第1‑M薄膜层组成的层叠结构,每个薄膜层包括通过原子层沉积制成的第一材料层和通过原子层沉积于第一材料层上的第二材料层;所述微通道板本体内壁上为第1薄膜层的第一材料层,第i薄膜层的第一材料层沉积于第i‑1薄膜层的第二材料层上;所述高阻薄膜的厚度在预设厚度取值范围内;其中,第一材料为指定绝缘材料和指定导电材料中的任一种,第二材料为所述指定绝缘材料和指定导电材料中的另一种;i=2,…M。本申请能够解决现有技术其副产物为有毒有害气体的问题。
- 一种通道
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