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[发明专利]无电镀法-CN201711394877.3在审
发明人：羽切义幸 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C18/26 文献下载
摘要：本发明的用于在衬底上进行无电镀的方法包含以下步骤：(a)使所述衬底与含有由以下通式(1)表示的化合物的组合物接触：其中R1是具有8到20个碳原子的烷基或具有5到14个碳原子的芳基，所述烷基或所述芳基可被羟基、羧基、卤素或具有1到4个碳原子的烷基取代。R2、R3和R4各自独立地是氢原子或具有1到4个碳原子的烷基，所述烷基可被羟基、羧基或卤素取代，其中R2、R3和R4中的至少一个可与R1键合成环，X是抗衡阴离子；(b)使所述衬底与催化剂组合物接触；以及(c)使所述衬底与无电镀组合物接触。
烷基个碳原子衬底无电镀芳基羟基羧基催化剂组合物抗衡阴离子烷基取代无电镀法氢原子合成

[发明专利]无电镀法-CN201711398750.9在审
发明人：羽切义幸 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C18/26 文献下载
摘要：使用阳离子聚合物等提供一种发泡特性比常规调节剂小但粘附性比常规调节剂高的调节剂，和使用所述调节剂的无电镀法。本发明的进行无电镀的方法包括以下步骤：(a)使衬底与含有由以下通式(1)表示的化合物的组合物接触：H2N‑R1‑NH‑R2‑NH2(1)其中R1和R2各自独立地是具有3到10个碳原子的亚烷基；(b)使衬底与催化剂组合物接触；以及(c)使衬底与无电镀组合物接触。
调节剂衬底无电镀法无电镀催化剂组合物阳离子聚合物个碳原子亚烷基粘附性发泡

[发明专利]聚亚芳基树脂组合物-CN201711179708.8在审
发明人： C·吉尔摩;A·A·拉什福德;张洁倩;丁平;D-E·李;A·李;金映锡 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C08L65/00 文献下载
摘要：能够在比常规聚亚芳基寡聚物低的温度下固化的聚亚芳基寡聚物组合物适用于在电子应用中形成电介质材料层。
聚亚芳基电介质材料层寡聚物组合物树脂组合物电子应用寡聚物固化

[发明专利]聚亚芳基组合物和方法-CN201711186626.6在审
发明人： C·吉尔摩;A·A·拉什福德;E·K·迈克尔-萨皮;D-E·李;张洁倩;丁平;金映锡 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C08L65/00 文献下载
摘要：相较于常规聚亚芳基寡聚物，对表面具有改进的粘着力的聚亚芳基寡聚物组合物在电子应用中适用于形成介电材料层。
聚亚芳基寡聚物组合物介电材料层电子应用寡聚物改进

[发明专利]聚亚芳基树脂-CN201711171701.1在审
发明人：王庆民;E·K·迈克尔-萨皮;C·吉尔摩;丁平;金映锡 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： C08F232/06 文献下载
摘要：由具有增溶部分的芳香族二炔烃单体形成且具有相对较高的重量平均分子量和相对较低的多分散性的聚亚芳基聚合物在某些有机溶剂中展示出提高的溶解度且适用于在单一涂布步骤中形成相对较厚的介电材料层。
聚亚芳基聚合物重量平均分子量介电材料层多分散性聚亚芳基涂布步骤有机溶剂芳香族溶解度树脂炔烃增溶展示

[发明专利]用于涂有塑料溶胶的电镀工具的金属化抑制剂-CN201510652658.5有效
发明人： K·威特尔沙尤思;A·沙伊巴尔;W·章-贝格林格尔 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2015-10-10 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C25D5/56 文献下载
摘要：涂有塑料溶胶的电镀工具是用于在聚合物的无电极电镀期间使无电极电镀浴液中含有聚合物的基板固定。为了防止在无电极金属化期间涂有塑料溶胶的电镀工具的金属化，将含硫化合物的组合物施用于塑料溶胶。在金属化之后，涂有塑料溶胶的电镀工具可再次使用而无需从工具剥离不需要的金属。
塑料溶胶电镀金属化无电极电镀聚合物浴液含硫化合物基板固定再次使用无电极抑制剂剥离金属

[发明专利]用于金和金合金的表面处理溶液-CN201610444326.2有效
发明人：美津浓洋子;近藤真琴;K·蓬田;T·森永 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C25D5/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种组合物，其含有从含氮杂环化合物与表卤代醇的反应产物获得的阳离子聚合物；和磷化合物。所述组合物可用作金或金合金的表面处理剂。所述组合物可密封金或金合金的表面上的小孔。
金合金含氮杂环化合物表面处理溶液阳离子聚合物表面处理剂表卤代醇磷化合物可密封可用小孔

[发明专利]发光纳米颗粒及其制造方法-CN201580084009.8在审
发明人：王秀艳;吕博;李扬;扈楠;任小凡;P·特雷弗纳斯三世;饶袁桥 -专利权人：陶氏环球技术有限责任公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2015-11-11 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： C09K11/06 文献下载
摘要：纳米颗粒具有与发光团共价键合的核，以及至少部分地包封所述核的混合壳。相较于衍生所述发光团的发光材料，所述纳米颗粒提供改进的光稳定性、热稳定性和发射性质。
纳米颗粒发光团发光纳米颗粒发光材料发射性质共价键合光稳定性热稳定性混合壳包封制造改进

[发明专利]制备复合多层结构的方法-CN201580082942.1在审
发明人：王德岩;王秀艳;冯少光;李巧伟;庞青青;P·特雷福纳斯三世 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2015-09-29 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： C01B32/20 文献下载
摘要：提供一种制备多层结构的方法，包含：提供衬底；提供涂料组合物，所述涂料组合物包含：液体载体、多环芳香族添加剂以及具有式(I)的MX/石墨碳前体材料；将所述涂料组合物置于衬底上以形成复合材料；任选地，烘烤所述复合材料；在成形气体气氛下对所述复合材料进行退火；由此将所述复合材料转化为设置在提供所述多层结构的所述衬底上的MX层和石墨碳层；其中在所述多层结构中，所述MX层插入于所述衬底与所述石墨碳层之间。
制备复合多层结构方法

[发明专利]光致抗蚀剂面漆组合物和加工光致抗蚀剂组合物的方法-CN201711009144.3在审
发明人：刘骢;D·H·康;D·王;C-B·徐;李明琦;I·考尔 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：光致抗蚀剂面漆组合物，其包含：包含通式(I)的第一重复单元和通式(II)的第二重复单元的第一聚合物：其中：R1独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基；R2表示任选氟化的直链、分支链或环状C1到C20烷基；L1表示单键或多价键联基团；并且n为1到5的整数；包含通式(III)的第一重复单元和通式(IV)的第二重复单元的第二聚合物：其中：R3独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基；R4表示直链、分支链或环状C1到C20烷基；R5表示直链、分支链或环状C1到C20氟烷基；L2表示单键或多价键联基团；并且n为1到5的整数；以及溶剂。还提供涂布有所述面漆组合物的经涂布衬底和加工光致抗蚀剂组合物的方法。本发明尤其适用于制造半导体装置。
光致抗蚀剂面漆组合加工光致抗蚀剂方法

[发明专利]面漆组合物和图案形成方法-CN201711011964.6在审
发明人： I·考尔;C·刘;D·康;M·李;D·王;H·周 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C09D133/10 文献下载
摘要：一种面漆组合物，包含：基质聚合物；表面活性聚合物，包含由以下通式(I)的单体形成的聚合单元：其中：R1表示H、F、甲基或氟化甲基；R2表示任选经取代的C1到C8亚烷基或任选经取代的C1到C8氟亚烷基，任选地包含一个或多个杂原子；R3表示H、F、任选经取代的C1到C10烷基或任选经取代的C5到C15芳基，任选地包含一个或多个杂原子；R4表示任选经取代的C1到C8烷基、任选经取代的C1到C8氟烷基或任选经取代的C5到C15芳基，任选地包含一个或多个杂原子；X表示O、S或NR5，其中R5选自氢和任选经取代的C1到C5烷基；并且a是0或1；以及溶剂。还提供利用所述面漆组合物的经涂布衬底和图案形成方法。本发明特别适用于光刻工艺中作为光致抗蚀剂面漆层来制造半导体装置。
组合图案形成方法

[发明专利]含有胺、聚丙烯酰胺和双环氧化物的反应产物的铜电镀浴-CN201580083208.7在审
发明人：吕伟静;段铃丽;Z·尼亚齐姆贝托瓦;陈晨;M·瑞兹尼克 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2015-10-08 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C07G99/00 文献下载
摘要：本发明是铜电镀浴，其包括胺、聚丙烯酰胺和双环氧化物的反应产物。反应产物起到流平剂的作用，使铜电镀浴具有较高的分布力，并提供具有减少的结节的铜沉积物。
含有聚丙烯酰胺环氧化物反应产物电镀

[发明专利]包含胺、聚丙烯酰胺和磺酸内酯的反应产物化合物的铜电镀浴-CN201580083217.6在审
发明人：吕伟静;段铃丽;Z·尼亚齐姆贝托瓦;陈晨;M·瑞兹尼克 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2015-10-08 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C07G99/00 文献下载
摘要：铜电镀浴包含胺、聚丙烯酰胺和磺酸内酯的反应产物。反应产物起均化剂的作用，并且使得铜电镀浴具有高的布散能力，并提供具有减小球粒的铜沉积。
包含聚丙烯酰胺内酯反应产物化合物电镀

[发明专利]制备石墨碳薄片的方法-CN201580083131.3在审
发明人：王德岩;王秀艳;冯少光;李巧伟;庞青青;P·特雷弗纳斯三世;陈红宇 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司
申请日： 2015-09-29 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：提供一种制备石墨碳薄片的方法，包含提供衬底；提供涂料组合物，所述涂料组合物包含：液体载体和具有式(I)的MX/石墨碳前体材料；将所述涂料组合物置于所述衬底上以形成复合材料；任选地，烘烤所述复合材料；在成形气体气氛下对所述复合材料进行退火；由此将所述复合材料转化为设置在提供多层结构的所述衬底上的MX层和石墨碳层；其中在所述多层结构中，所述MX层插入于所述衬底与所述石墨碳层之间；将所述多层结构暴露于酸；并且回收所述石墨碳层作为所述独立式石墨碳薄片。
制备石墨薄片方法

[发明专利]含有氟化热酸产生剂的面漆组合物-CN201710991883.0在审
发明人： I·考尔;D·康;C·刘;G·波勒尔斯;M·李 -专利权人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C09D133/10 文献下载
摘要：本发明提供面漆组合物，其包括：基质聚合物；表面活性聚合物；包含阴离子和阳离子的离子性热酸产生剂，其中所述阴离子、所述阳离子或所述阴离子和所述阳离子经氟化；和溶剂。还提供经涂布衬底和利用所述面漆组合物的图案形成方法。本发明特别适用于光刻工艺，在制造半导体装置中作为光致抗蚀剂面漆层。
含有氟化产生组合