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- [实用新型]一种氮化镓外延片转运用固定装置-CN202321366222.6有效
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蔡清富;罗艾
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南京百识电子科技有限公司
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2023-05-31
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2023-10-13
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种氮化镓外延片转运用固定装置，涉及外延片转运技术领域；而本实用新型包括运载箱，运载箱内壁的两侧均设置有多个限位缓冲机构，限位缓冲机构之间设置有防护机构；限位缓冲机构包括对称分布的滑槽，滑槽开设在运载箱的内壁，滑槽的内部均固定连接有阻尼器，阻尼器的外侧套设有弹簧，阻尼器的一端固定连接有滑板，滑板滑动卡接在滑槽的内部，滑板的一端延伸至滑槽的外侧且固定连接有夹板；通过在环形框垫设橡胶圈，然后将生长有氮化镓的抛光片放置到通槽的内部，通过盖上盖板，使环形凸起的一端延伸至通槽的内部，并使第一方形框套设在第二方形框的内部，对抛光片进行封存保护，进一步提高了抛光片保护效果。
- 一种氮化外延转运固定装置
- [实用新型]一种碳化硅清洗用固定装置-CN202321347292.7有效
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胡智威;罗艾
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南京百识电子科技有限公司
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2023-05-30
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2023-10-13
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种碳化硅清洗用固定装置，具体涉及碳化硅加工技术领域，包括底座和电机座，所述底座顶部中央固定安装有安装板，所述安装板顶部左右两侧分别固定安装有支撑板一和支撑板二，所述支撑板一与支撑板二之间设置有可调节夹持组件，所述安装板顶部中央固定安装有升降安装座组件。本实用新型通过将碳化硅镜片放置在防滑垫顶部，通过启动气缸调节防滑垫的高度，之后启动电机三，电机三带动与其输出轴固定连接的转轮转动，通过皮带带动另外一个转轮转动，从而带动丝杠一和丝杠二同步转动，且螺纹连接在丝杠一上的移动块与螺纹连接在丝杠二上的移动块均向内移动，间接带动两个弧形夹板同步朝防滑垫方向移动。
- 一种碳化硅清洗固定装置
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