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[发明专利]一种上转换发光的Er/Yb共掺杂TiO₂薄膜的制备方法-CN201310271374.2有效
发明人：沈杰;毛鑫光;王俊;罗胜耘 -专利权人：复旦大学
申请日： 2013-07-01 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于太阳能和激光技术领域，具体为一种上转换发光的Er/Yb共掺杂TiO2薄膜的制备方法。本发明采用射频磁控溅射技术，靶材使用镶嵌金属Er片和Yb片的TiO2陶瓷靶，基片为石英或硅片；射频磁控溅射制备得上转换发光的稀土元素Er/Yb共掺杂TiO2薄膜，并通过控制靶材中Er和Yb的含量来控制掺杂量，从而得到致密性好，均匀程度高，机械和光学性能优良的上转换发光薄膜。
一种转换发光 er yb 掺杂 tio sub 薄膜制备方法

[发明专利]一种三层结构的掺钼TiO₂光催化薄膜及其制备方法-CN201210350730.5有效
发明人：沈杰;罗胜耘;颜秉熙 -专利权人：复旦大学
申请日： 2012-09-20 - 公布日： 2012-12-26 - 主分类号： B01J23/28 文献下载
摘要：本发明属于光催化薄膜技术领域，具体为一种三层结构的掺钼TiO2光催化薄膜及其制备方法。三层结构中，底层为高浓度掺钼TiO2薄膜，中间为低浓度掺钼TiO2薄膜，顶层为纯TiO2薄膜；本发明利用多靶射频磁控共溅射技术原位制备三层结构的钼掺杂TiO2薄膜，制膜过程在真空室中一次完成，方法简便高效，适合大面积的工业化生产。本发明以钼的掺杂浓度来控制各层的费米能级，利用层与层间的费米能级差在薄膜内植入了多个可调制的内建电场，实现了高浓度掺杂半导体在可见光下大量电子-空穴对的迅速分离，最终得到在可见与紫外波段光催化性能优异的薄膜。
一种三层结构 tio sub 光催化薄膜及其制备方法