|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 9个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]微机电元件-CN201510099283.4有效
-
吴嘉昱;罗烱成
-
立锜科技股份有限公司
-
2015-03-06
-
2018-04-03
-
B81B3/00
- 本发明提供一种微机电元件，其中包含一基板；一质量块，包含一外框以及至少一内部凸出部，其中该外框的内部定义出一中空结构，而该内部凸出部与该外框直接连接、且自该外框向内延伸；至少一弹簧，位于该中空结构内，与该至少一内部凸出部对应地直接连接；一锚点，位于该中空结构内，与该至少一弹簧直接连接、且该锚点连接于该基板；多个活动电极，与质量块连接并位于中空结构内；以及多个固定电极，对应于多个活动电极而设置，并通过多个固定部以连接于基板。
- 微机元件
- [发明专利]微机电装置-CN201410767464.5在审
-
林炯彣;罗烱成;康育辅
-
立锜科技股份有限公司
-
2014-12-12
-
2016-07-06
-
B81B3/00
- 本发明提供一种微机电装置，其包含：一基板，具有平行于基板的一入平面方向；一质量块，具有不同的感测方向的一第一活动电极与一第二活动电极，质量块的内部通过一多维弹簧与一弹簧锚点连接于基板；以及一第一固定电极与一第二固定电极，分别通过一第一电极锚点与一第二电极锚点与基板相连，第一电极锚点与第二电极锚点与弹簧锚点相邻，第一固定电极与第一活动电极而形成一第一电容，第二固定电极与第二活动电极而形成一第二电容，第一电容与第二电容用以感测质量块的一运动状态。
- 微机装置
- [发明专利]微机电元件-CN201510155927.7有效
-
吴嘉昱;林炯彣;罗烱成
-
立锜科技股份有限公司
-
2015-04-03
-
2015-10-14
-
B81B7/02
- 本发明提出一种微机电元件，包含：一基板；一质量块，其内部定义一中空结构，该质量块与该基板构成至少两个感测电容；至少两个锚点结构，连接于该基板，且从剖面图视之，该锚点结构分别落在该至少两个感测电容的电容区域内；至少一个连杆构架，位于该中空结构中，与该锚点结构直接连接、或是通过缓冲弹簧而与该锚点结构间接连接；以及多个扭转弹簧，位于该中空结构中，各扭转弹簧一端连接于该质量块，另一端连接于该连杆构架；其中，该至少两个感测电容分别位于该扭转弹簧的两相对侧，该质量块可依该扭转弹簧为轴而旋转，使该至少两个感测电容构成差分感测电容，且其中，在该质量块和该基板的连接关系中，不具有不构成活动电极的质量块。
- 微机元件
- [发明专利]微机电模块以及其制造方法-CN201510099835.1在审
-
罗烱成;康育辅;王宁远;林炯彣
-
立锜科技股份有限公司
-
2015-03-06
-
2015-09-16
-
B81B7/02
- 本发明提供一种微机电模块，包含：一微机电元件芯片与一微电子电路芯片，该微机电元件芯片堆叠并结合于该微电子电路芯片的上方，其中，该微电子电路芯片包含一基板，该基板内具有连接基板上下表面的至少一个硅通孔、以及至少一个微电子电路，该微电子电路包含一电路区与一讯号层，彼此电性连接，且该讯号层与硅通孔直接连接；以及至少一个引线，其一端连接该微机电元件芯片中间位置而非上方顶端，另一端连接该至少一个硅通孔，其中，于微机电元件芯片和微电子电路芯片的堆叠处，微机电元件芯片与微电子电路芯片并不在此处进行讯号沟通。本发明还提供一种微机电模块的制造方法。
- 微机模块及其制造方法
|
