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[实用新型]一种磁控溅射设备及其阴极靶材组件-CN201520151396.X有效
发明人：彭柱根;伍能;罗洪娜 -专利权人：海南汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-03-17 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请公开了一种磁控溅射设备及其阴极靶材组件，磁控溅射设备包括阴极靶材组件，其中阴极靶材组件包括阴极靶材、磁铁和冷却通道，冷却通道的长度延伸方向与阴极靶材的长度延伸方向相一致，冷却通道的宽度延伸方向与阴极靶材的宽度延伸方向相一致，冷却通道包括至少两组水口组，每组水口组均包括进水口和出水口，位于同一水口组的进水口和出水口沿着冷却通道的宽度方向相对设置，至少两组水口沿着所述冷却通道的长度方向设置。如此设置，冷却水沿着冷却通道的宽度方向流动，可以保证冷却通道内的冷却水的温度的一致性，进而可以确保阴极板材冷却效果的一致性，从而可以保证镀膜层性能的一致性。
一种磁控溅射设备及其阴极组件

[实用新型]一种挡板及磁控溅射镀膜设备-CN201320693931.5有效
发明人：彭柱根;伍能;罗洪娜;李先林;王策 -专利权人：海南汉能光伏有限公司
申请日： 2013-11-05 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种挡板及磁控溅射镀膜设备，所述挡板包括：基板，基板为一矩形的平面板；设置于基板上的多个遮板，多个遮板为形状和尺寸均相同的矩形的平面板，多个遮板均垂直于基板，且平行于基板一组相对的侧面，多个遮板的长度均等于多个遮板所平行于的、基板的一组相对的侧面的长度，相邻两个遮板之间的间距相等。在溅射镀膜时使玻璃基板垂直于遮板运行，基板反射的粒子、运动到挡板区域内的散射粒子和挡板的基板被溅射出来的粒子大部分由于被遮板阻挡，无法穿越挡板，因此不能沉积到玻璃基板的受光面上，从而减少了薄膜光伏组件镀背电极过程中的绕镀现象，提高了光伏组件的光电转换效率，且为激光扫边等后道工序提供了良好的基础。
一种挡板磁控溅射镀膜设备