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[发明专利]与人工智能融合的原位传感器-CN202080064061.8有效
发明人：丁煜;马权;杰拉明·S·曼努吉德;尚蒂纳特·古艾迪;罗伯特·马歇尔·斯托威尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G06F7/02 文献下载
摘要：在一个实施方案中，所公开的设备是原位闭环气泡和泡沫检测和减少系统，其包括用于确定流体贮存器中的液体体积的液位传感器、用于确定流体贮存器和流体贮存器内包含的任何液体的质量的质量检测设备、电耦合到液位传感器和质量检测设备以确定流体贮存器内液体的实际体积的处理器以及耦合到处理器并位于流体贮存器上方的喷头。当液位传感器确定的液体体积超过液体的实际体积预定量时，由处理器启动喷头。公开了其他装置和方法。
人工智能融合原位传感器

[发明专利]晶片卡盘组件-CN201980043789.X在审
发明人：亚伦·路易斯·拉布里;克劳迪乌·瓦伦汀·普哈;罗伯特·马歇尔·斯托威尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-05-03 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本公开总体上涉及用于在处理期间支撑半导体晶片的卡盘技术。在一示例中，晶片卡盘组件包含卡盘毂部及设置在卡盘毂部内的定心毂部。啮合设备能分别在啮合位置与脱离位置之间操作以使卡盘毂部与定心毂部啮合，以防止在至少第一方向上在两者之间的相对运动、或允许该两者之间的相对运动。提供卡盘马达，以基于啮合设备的啮合或脱离位置而在晶片处理操作和晶片定心操作期间选择性地使该卡盘毂部和/或该定心毂部转动。多个卡盘臂被安装在卡盘毂部上，每一卡盘臂在邻近该卡盘毂部的近端与远离该卡盘毂部的远端之间径向地延伸。多个定心凸轮中每一个的被安装在卡盘臂的远端处或附近且是可移动的，以响应于该定心毂部相对于该卡盘毂部的旋转运动而啮合或释放晶片边缘。
晶片卡盘组件

[发明专利]用于半导体电镀装置的唇状密封件和触头元件-CN201810986262.8有效
发明人：冯敬斌;罗伯特·马歇尔·斯托威尔;尚蒂纳特·古艾迪;阿斯温·拉梅什 -专利权人：诺发系统公司
申请日： 2015-11-26 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明涉及用于半导体电镀装置的唇状密封件和触头元件，公开了用于在电镀过程中保持、密封并提供电力给半导体衬底的杯状组件，其可包括具有主体部分和力矩臂的杯底元件、位于力矩臂上的弹性体密封元件以及位于弹性体密封元件上的电触头元件。主体部分可以是，当对着力矩臂压靠衬底时它没有明显屈曲，且它可被刚性地固定到杯件结构的另一特征。主体部分的平均垂直厚度与力矩臂的平均垂直厚度之比可大于约5。电触头元件可具有设置在密封元件的大体水平的部分上的大体平坦但柔性的接触部分。弹性体密封元件可在制造过程中与杯底元件集成。
用于半导体电镀装置密封件元件

[发明专利]用于半导体电镀装置的唇状密封件和触头元件-CN201510837221.9有效
发明人：冯敬斌;罗伯特·马歇尔·斯托威尔;尚蒂纳特·古艾迪;阿斯温·拉梅什 -专利权人：诺发系统公司
申请日： 2015-11-26 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明涉及用于半导体电镀装置的唇状密封件和触头元件，公开了用于在电镀过程中保持、密封并提供电力给半导体衬底的杯状组件，其可包括具有主体部分和力矩臂的杯底元件、位于力矩臂上的弹性体密封元件以及位于弹性体密封元件上的电触头元件。主体部分可以是，当对着力矩臂压靠衬底时它没有明显屈曲，且它可被刚性地固定到杯件结构的另一特征。主体部分的平均垂直厚度与力矩臂的平均垂直厚度之比可大于约5。电触头元件可具有设置在密封元件的大体水平的部分上的大体平坦但柔性的接触部分。弹性体密封元件可在制造过程中与杯底元件集成。
用于半导体电镀装置密封件元件