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- [发明专利]用于盘形基片如太阳能晶片的夹持装置-CN200880111310.3无效
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S·约纳斯;L·雷德曼
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约纳斯雷德曼自动化技术有限公司
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2008-08-30
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2010-09-01
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H01L21/673
- 本发明涉及一种用于太阳能晶片(2)的夹持装置，具有至少一个梳状夹持器(1)，所述梳状夹持器具有细长的腹板(3)，在该腹板上沿着其纵向延伸部分设有多个相互等距离设置的梳元件(4)，其中在相邻的各个梳元件(4)的彼此面对的表面之间形成至少一个凹槽(5或6)，所述凹槽具有接触面(7)和导向面(8)，用于待容纳在凹槽(5或6)中的太阳能晶片(2)。为了将太阳能晶片可靠地容纳和夹持在夹持装置中，在至少一个梳状夹持器(1)的细长的腹板(3)的各个相邻的梳元件(4)之间形成夹持间隙(9)，该夹持间隙的外部轮廓(us)具有接触面(7)和导向面(8)，夹持间隙具有由两个彼此错开的凹槽(5和6)形成的任意的宽度(bH)，它们的深度(t1)或(t2)分别小于每个梳元件(4)的总深度(tges)，其中深度(t1)和深度(t2)一起分别形成每个梳元件(4)的总深度(tges)，并且所述凹槽(5或6)的外部轮廓(uA1或uA2)在腹板侧上具有一个沟槽(10)，该沟槽具有在腹板侧上的倾斜的表面部分(11)，所述倾斜的表面部分位于一个相对于夹持间隙(9)的外部轮廓(us)的接触面(7)的平面(13)倾斜地延伸的平面(12)中，使得太阳能晶片(2)的下边缘(21)与外部轮廓(uA1或uA2)的沟槽(10)的倾斜的表面部分(11)接合时由于重力滑动地移动到一个预定位置中，在该预定的位置中在梳状夹持器(1)相对于在夹持间隙(9)的外部轮廓(us)的接触面(7)上的竖直线旋转一个预定的锐角(φ)时，使太阳能晶片(2)以它的面向接触面的表面(13)平面地贴靠在接触面(7)上，并且在该预定的位置中在太阳能晶片(2)的远离接触面(7)的表面(22)和夹持间隙(9)的外部轮廓(us)的平行于该接触面(7)延伸的导向面(8)之间同时提供一个容隙(14)。
- 用于盘形基片如太阳能晶片夹持装置
- [发明专利]抓具、特别是伯努利吸盘-CN200880018071.7有效
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S·约纳斯;L·雷德曼
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约纳斯雷德曼自动化技术有限公司
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2008-05-05
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2010-03-31
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B25J15/06
- 本发明涉及一种抓具、特别是伯努利吸盘(1)，用于抓取平面的构件如硅基的晶片(2)，包括：一个与一可控制的机械手臂(3)连接的夹紧环(4)；一个经由一喇叭形构件(5)与夹紧环(4)连接的挡盘(6)，该挡盘包括一抓取面(7)，其与一穿过喇叭形构件(5)和挡盘(6)的流动系统(8)连通，经由该流动系统在伯努利吸盘(1)上施加一超压以后在挡盘(6)的抓取面(7)上产生一负压，用于吸取待抓取的晶片(2)；一个支承环(10)的涂橡胶的支承面(9)，该支承面内置在抓取面(7)中，通过该支承面提供在抓取面(7)上被吸住的晶片(2)的防滑的移动；和一个传感器(11)，用以识别在抓取面(7)上被吸住的晶片(2)。为了实现待抓取的晶片特别防撞击地贴靠在抓具的抓取面上，按本发明设有一环绕地与抓具(1)匹配的缓冲装置(12)，该缓冲装置朝抓具(2)的俯视图看去的轮廓在外轮廓上环绕地突出于抓具并且其对于待抓取的晶片(2)在其由吸取引起的向抓取面(7)的接近时形成一个这样的缓冲阻力，使得晶片(2)防撞击地贴靠在支承环(10)的涂橡胶的支承面(9)上。
- 特别是伯努利吸盘
- [发明专利]用于形成在一工艺过程晶舟中待定位的背对背的晶片批的方法，及用于形成晶片批的装卸系统-CN200780042195.4有效
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S·约纳斯;L·雷德曼
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约纳斯雷德曼自动化技术有限公司
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2007-11-22
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2009-10-07
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B65G49/06
- 本发明涉及一种用于形成在一侧待掺杂的晶片叠、尤其是在一侧待掺杂的太阳能晶片叠的方法，以便用晶片批填装一工艺过程晶舟，在所述工艺过程晶舟上将预定的偶数数量晶片成排地设置在一转送托架的容纳槽中，所述转送托架在一水平面内夹紧并且具有一面向上的堆叠开口。为了增加在工艺过程晶舟中的包装密度并因此增加扩散过程的产量，将成排地设置在转送托架中的晶片的数量的一半以第一晶片叠的形式从转送托架中转送到一位于转送托架外部的固定的准备位置中，然后将成排地设置在转送托架中的晶片的数量的另一半以第二晶片叠的形式从转送托架移出，并且将第二晶片叠这样地旋转，使得第二晶片叠的晶片到达一相对于第一晶片叠的晶片在它的准备位置的位置旋转180°的位置，并且随后将第二晶片叠转送到第一晶片叠的准备位置，使第二晶片叠与第一晶片叠对准，并且然后通过分别使第一晶片和第二晶片叠的相互相配的晶片的无需掺杂的侧面同时且叠合地相互贴紧，使第二晶片叠与第一晶片叠形锁合地组合成包装状的背对背晶片批(BTB晶片批)，随后由转送夹持器将BTB晶片批形锁合地拾取，并装到工艺过程晶舟中。
- 用于形成工艺过程晶舟中待定位背对背晶片方法装卸系统
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