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[实用新型]一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置-CN202221798787.7有效
发明人：吕利宁;代晓波;彭春文;彭海松;蒙泽志;粟誉 -专利权人：独山中科晶元信息材料有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制备技术领域，且公开了一种水平砷化镓单晶双舟生长的装置，包括生长管、底座、放置架、舟型器皿、籽晶，所述底座固定安装在生长管的内壁，所述放置架设置在底座的顶部，所述放置架分为上下两层，所述放置架的外部设置有固定装置。该水平砷化镓单晶双舟生长的装置，通过启动电机使绕绳辊和双螺纹螺杆转动，配合双螺纹螺杆分别与两个活动块正螺纹连接和反螺纹连接，使两个下夹块、上夹块互相靠近将两个舟型器皿的前后两侧夹紧固定，以及拉绳在绕绳辊上收紧，带动拉板向左移动，使两个挡杆向左移动，配合两个挡板将两个舟型器皿的左右两侧挡住，实现了防止两个舟型器皿发生晃动影响制备，提高舟型器皿稳定性的效果。
一种水平砷化镓单晶双舟生长装置

[实用新型]一种新型砷化镓单晶生长装置-CN202221798785.8有效
发明人：代晓波;吕利宁;蒙泽志;彭春文;彭海松;粟誉 -专利权人：独山中科晶元信息材料有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C30B29/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体单晶生产技术领域，且公开了一种新型砷化镓单晶生长装置，包括固定座、加热炉支撑架、加热炉、石英管、氮化硼坩埚、籽晶，所述加热炉支撑架固定安装在固定座的顶部，所述加热炉的数量为四个，四个所述加热炉分别固定安装在加热炉支撑架的前后左右侧，四个所述加热炉的顶部和底部均设置有开口。该新型砷化镓单晶生长装置，通过启动电机使转轴转动，带动一号锥齿轮和大齿轮转动，配合一号锥齿轮与二号锥齿轮啮合，使拉绳在绕绳辊上收紧或放松，以及大齿轮分别与四个小齿轮啮合，使四个石英管同时在四个加热炉内部进行升降旋转，使四个单晶同步生长，实现了提高砷化镓单晶制备效率的效果。
一种新型砷化镓单晶生长装置

[实用新型]一种砷化镓位错腐蚀加热设备-CN202222058864.1有效
发明人：彭海松;吕利宁;代晓波;彭春文;蒙泽志;粟誉 -专利权人：独山中科晶元信息材料有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶体加工技术领域，且公开了一种砷化镓位错腐蚀加热设备，包括炉体、真空层、加热电偶、坩埚、插块、炉盖、支撑腿，所述炉体的顶部为开口设置，所述真空层设置在炉体的内部，所述炉体的内部设置有多晶片位错腐蚀装置。该砷化镓腐蚀加热设备，通过转动转柄使螺杆转动，带动连接杆在U型板的滑道内滑动，防止活动块随着螺杆转动而旋转，根据不同砷化镓晶片的厚度，使砷化镓晶片的两侧与U型板和活动板贴合，通过启动电机使转轴转动，带动放置板和四个砷化镓晶片持续转动，氢氧化钾熔融液从U型板和活动板的通孔渗入，对不同厚度的晶片同时进行位错腐蚀，实现了提高实验效率的效果。
一种砷化镓位错腐蚀加热设备

[实用新型]一种砷化镓多晶的合成装置-CN202221798792.8有效
发明人：蒙泽志;彭海松;彭春文;代晓波;吕利宁;粟誉 -专利权人：独山中科晶元信息材料有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： C30B29/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种砷化镓多晶的合成装置，包括炉体，所述炉体的顶部内壁开设有台阶槽，炉体的顶端内部放置有炉盖，炉体的顶部两侧分别固定设置有固定凸耳和轴座，轴座内通过转动安装有安装板，安装板一端固定安装有螺纹杆，安装板整体延炉体的径向设置，安装板的中间处贯穿安装有抵紧螺杆，抵紧螺杆与安装板的连接处通过螺纹连接，通过设置的轴座、固定凸耳、安装板，在使用时首先将炉盖转动至炉体上方，将螺纹杆配合固定凸耳上的固定通槽卡接，旋转锁紧转盘A104对安装板进行定位固定，此时再转动锁紧转盘B，配合抵紧螺杆将炉盖挤压在炉体内部。设置的台阶槽、密封圈，使炉盖在配合使更加紧密，提高其密封性。
一种砷化镓多晶合成装置

[实用新型]一种改进型砷化镓单晶锭定向划线尺-CN202221800611.0有效
发明人：彭春文;蒙泽志;代晓波;粟誉;吕利宁;彭海松 -专利权人：独山中科晶元信息材料有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B25H7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及划线尺技术领域，公开了一种改进型砷化镓单晶锭定向划线尺，包括底架，所述底架的顶部通过轴承转动安装有顶柱，顶柱上开设有内槽，内槽内滑动插接有滑架，滑架上通过螺纹安装有旋块。本实用新型通过转动转块可使螺纹杆向下运动，滑板与底板进行配合，可对工作台进行夹持，设置有防滑垫，可起到对工作台防滑和保护的作用；底架与顶柱之间转动连接，可上下移动滑架通过旋块可对滑架进行固定，可调节转板至合适的位置，可倾斜转板，手动拨动插条的位置，使定向条对准待划线的砷化镓单晶锭，自由度较高，使用较为方便，设置有磁铁块，可使定向条初始时与转板靠近接触，定向条的底部为“v”形，方便划线。
一种改进型砷化镓单晶锭定向划线