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[发明专利]工件处理系统、距离测量装置及工件放置路径设定方法-CN202110980853.6在审
发明人： 童瑞发;林世佳 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种由工件处理系统对工件实施的工件放置路径设定方法，所述工件处理系统包含承载座及机械手臂，且所述工件放置路径设定方法包含：获得对应所述承载座的第一位置，以及在所述工件被放置于所述承载座的情况下获得对应所述工件的第二位置；根据所述第一位置与所述第二位置之间的差异产生校正放置路径。其中，所述校正放置路径是用于控制所述机械手臂将待处理工件放置至所述承载座，而使得所述待处理工件的中心与所述承载座的中心之间的距离小于所述第一位置与所述第二位置之间的距离。所述校正放置路径能使所述机械手臂将待处理工件放置地与所述承载座更加对齐，所以能避免因所述待处理工件的放置位置偏差而对所述待处理工件的处理造成负面影响。
工件处理系统距离测量装置放置路径设定方法

[发明专利]基板处理装置-CN201811542542.6有效
发明人： 童瑞发;宋香怡 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种基板处理装置，包含基板承载单元、流体供应单元及控制单元。该基板承载单元包括旋转台以供设置基板。该流体供应单元包括至少一喷嘴，对应该旋转台设置且可受控地在通过该旋转台中心的路径范围内移动以供应处理液。该控制单元与该流体供应单元耦接并包括人机界面且存储控制程序。该人机界面具有喷嘴控制区块以供操作者输入控制指令，且该控制单元接收该控制指令并由该控制程序对应该控制指令控制该喷嘴。该控制单元可供该操作者设定变更控制该喷嘴的参数，可大幅提高该基板处理装置运作的弹性。
处理装置