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- [发明专利]角速度传感器元件、角速度传感器和电子设备-CN200910173782.8无效
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稻熊辉往
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索尼株式会社
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2009-09-16
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2010-03-24
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G01P9/04
- 本发明公开了一种角速度传感器元件、角速度传感器和电子设备，其中，该角速度传感器元件包括：主体，具有三个振动器部，包括以第一相位振动的振动器部和以与第一相位相反的第二相位振动的振动器部；第一检测压电层，检测以第一相位振动的振动器部的振动；第二检测压电层，检测以第一相位振动的振动器部的振动；以及驱动压电层，使以第二相位振动的振动器部振动，第一检测压电层形成在以第一相位振动的振动器部上，第二检测压电层形成在以第一相位振动的振动器部上并与第一检测压电层分离设置，驱动压电层形成在以第二相位振动的振动器部上并与第一检测压电层和第二检测压电层分离设置。通过本发明，能够提供具有稳定的灵敏度特性和较低PSRR的角速度传感器。
- 角速度传感器元件电子设备
- [发明专利]角速度传感器及电子机器-CN200710164369.6无效
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高桥和夫;本多顺一;稻熊辉往
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索尼株式会社
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2007-10-30
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2008-05-07
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G01P9/04
- 本发明提供了一种可抑制向支撑臂部的基部的振动泄漏，并可较强抵抗噪声的三音叉型的角速度传感器及电子机器。在本发明的角速度传感器中，在三个臂部(12A～12C)中，两个外侧臂部(12A、12B)以同相进行激励，中央臂部(12C)通过外侧臂部振动的反作用以和外侧臂部反相进行激励。而且，将各臂部沿与压电功能层(15A～15C)的形成面垂直的方向进行激励，并基于与臂部的上述压电功能层的形成面相平行的方向的振动来检测角速度。由此，在臂部间所产生的转距相互抵消，并可降低向基部传递的振动。而且，通过沿与压电功能层的形成面垂直方向对臂部进行激励，可以维持稳定的激励状态，并可构成对干扰有较强抵制的角速度传感器。
- 角速度传感器电子机器
- [发明专利]振动型陀螺传感器-CN200680000321.5无效
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渡边成人;本多顺一;佐佐木伸;高桥和夫;稻熊辉往;铃木浩二;相泽学
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索尼株式会社
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2006-02-23
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2007-05-23
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G01C19/56
- 一种振动型陀螺传感器，其中，通过简单的构造获得了尺寸降低和高Q值。所述振动型陀螺传感器(1)包括支撑衬底(2)和安装在所述支撑衬底的表面(2－1)上的振动元件(20)，在所述支撑衬底上安装了电路元件，并且形成了具有多个连接盘(4)的线路图案。振动元件(20)包括基座部分(22)和振动器部分(23)，所述基座部分具有其上形成了多个与所述连接盘连接的端子(25)的安装表面(22－2)，所述振动器部分具有与所述衬底相对的表面，第一电极层(27)在其上从所述基座部分(22)的侧缘以悬臂方式与之成一体突出，所述振动器部分还具有与所述基座部分(22)的安装表面平齐的表面，在所述第一电极层上形成压电层(28)，并形成第二电极层(29、30)。通过金属突起(26)将每一端子(25)接合至连接盘(4)，由此将振动元件(20)安装到支撑衬底(2)上。
- 振动陀螺传感器
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