“种世平”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]炉门装置和扩散炉-CN202311049813.5在审
发明人：曹炜博;廖宝臣;陈云;陈程;种世平;张敏;安丽娟 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本申请涉及一种炉门装置和扩散炉，所述炉门装置包括：炉门本体；调节件，与所述炉门本体相连，且可受控地带动所述炉门本体沿第一方向运动，所述第一方向与所述炉门本体的轴线所在方向平行；液压缓冲器，安装于所述调节件上，且所述液压缓冲器包括沿第一方向可压缩的活塞杆，所述活塞杆与所述炉门本体相抵接。炉门本体与炉管接触时产生的冲击会被液压缓冲器所吸收，从而降低炉门本体关闭炉管时所产生的震动和噪音，并且减少炉门本体磕坏炉管的概率，进而达到提升扩散炉的开机率，延长机械寿命，降低维护成本，简化机械设计，提高半导体的生产效率等效果。
炉门装置扩散

[发明专利]尾气管组件、炉体结构及扩散设备-CN202310042255.3在审
发明人： 种世平;廖宝臣;王亨;张敏;陈云;武啟强 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本申请涉及一种尾气管组件、炉体结构及扩散设备，包括第一管和第二管，第一管包括内层管和外层管，内层管配置于炉体的排气口，外层管套设于内层管外，并与内层管间隔形成第一隔热空间。第二管的一端与第一管相连接，并与内层管相连通，其另一端配置用于与外部结构相连通的配接。本申请的技术方案，第一管的内层管与排气口连通，尾气经过内层管时，由于第一隔热空间的存在，尾气的热量不会或者较少程度的传递至外层管，外层管的温度较低，如此可以有效缓解尾气的高温烫伤设置在外层管的密封连接件等结构，有助于保证尾气管组件的密封效果。
尾气组件结构扩散设备

[发明专利]基片载具及炉管镀膜设备-CN202211144695.1在审
发明人：陈云;廖宝臣;张敏;陈程;武啟强;种世平;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供了一种基片载具及炉管镀膜设备。本发明的基片载具包括固定架和至少三个支撑部；各个支撑部均竖直设置于固定架，且至少一个支撑部设置于之外的至少两个支撑部所在的方向之外；支撑部沿竖直方向设有若干外沿部，任意两个相邻的外沿部之间留有间隙，间隙用于固定基片。本发明的基片载具通过在固定架上设置至少三个支撑部，并在支撑部上沿竖直方向设置若干个外沿部，使得能够通过各个支撑部上的外沿部对基片进行至少三点的支撑，使得基片能够水平或与水平面呈一定的倾角设置，这样使得基片之间的空间更容易流动气体，且气体的流动对基片的侧面机会没有作用力，极大的降低气体流动对基片的冲击，降低基片翘曲的可能，保证成品率。
基片载具炉管镀膜设备