专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]外延硅片预处理系统-CN202020747754.4有效
  • 康宏;王作义;卞小玉;石广宁;何传奇 - 四川广瑞半导体有限公司
  • 2020-05-08 - 2020-09-29 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了外延硅片预处理系统,包括空气压缩机、臭氧发生机、鼓泡瓶、流量计和喷射装置;所述空气压缩机、臭氧发生机、鼓泡瓶通过第一进气管顺次连接,所述第一进气管的出口端插入鼓泡瓶内水面以下;所述鼓泡瓶和喷射装置通过排气管连接,所述排气管上设置有流量计,所述排气管的入口端在鼓泡瓶内水面以上;所述喷射装置用于将臭氧喷射在外延硅片的表面,所述鼓泡瓶内的水保持恒温。本实用新型解决了采用双氧水浸泡方式导致操作难度大、工作量大问题。
  • 外延硅片预处理系统
  • [发明专利]硅8英寸大功率元器件外延片制备工艺-CN202010381767.9在审
  • 康宏;王作义;雒林生;石广宁;韩立琼 - 四川广瑞半导体有限公司
  • 2020-05-08 - 2020-08-18 - H01L21/02
  • 本发明公开了硅8英寸大功率元器件外延片制备工艺,包括以下步骤:1)、选择衬底片:采用重掺硼或重掺砷衬底片,所述衬底片为P型掺杂;2)、衬底片抛光:采用HCl进行气相抛光;3)、气流吹扫:衬底片抛光后采用H2进行吹扫;4)、外延生长:硅源用SiHCl3,先进行反型外延生长,生长温度为1080‑1100℃,生长速率为0.8‑1.0um/min,再进行双层外延生长,生长温度为1120‑1150℃,生长速率为1.2‑1.6um/min;所述硅源与衬底片接触之前先进行恒温预热处理;5)、外延生长完成后反应炉降温,取片。本发明所述制备工艺通过合理控制参数,提高了硅外延片厚度均匀性、电阻率均匀性。
  • 英寸大功率元器件外延制备工艺
  • [发明专利]一种外延硅片的预处理方法-CN202010381771.5在审
  • 康宏;王作义;石广宁;雒林生;何传奇 - 四川广瑞半导体有限公司
  • 2020-05-08 - 2020-08-18 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种外延硅片的预处理方法,包括以下步骤:1)、臭氧发生:空气依次经过空气压缩机和臭氧发生机产生臭氧;2)、臭氧前处理:将臭氧发生机产生的臭氧通过第一进气管通入鼓泡瓶中的去离子水中,臭氧在鼓泡瓶进行温度和浓度调节;3)、臭氧氧化:经过前处理的臭氧通过排气管上的喷射装置喷射在外延硅片的表面进行氧化处理,在外延硅片的表面形成均匀的钝化层,所述臭氧在喷射之前进行流量控制。本发明解决了采用双氧水浸泡方式导致钝化层均匀性较差的问题,同时本发明具有操作难度低和工作量小的优点。
  • 一种外延硅片预处理方法
  • [外观设计]柜子-CN201930661381.1有效
  • 陈泉饰;石广宁;廖楚三 - 广州甩手技术有限公司
  • 2019-11-28 - 2020-08-04 - 06-04
  • 1.本外观设计产品的名称:柜子。2.本外观设计产品的用途:用于存放物品的家具。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片:设计1立体图1。5.本外观设计产品的顶面为使用时不容易看到或看不到的部位,省略设计1俯视图;本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位,省略设计1仰视图;本外观设计产品的顶面为使用时不容易看到或看不到的部位,省略设计2俯视图;本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位,省略设计2仰视图。6.指定设计1为基本设计。
  • 柜子
  • [发明专利]基于无线通信的控制装置和系统及其应用-CN201710702265.X在审
  • 陈泉饰;蒋思军;廖楚三;王巍;石广宁 - 广州甩手电子商务有限公司
  • 2017-08-16 - 2017-12-08 - H04W24/02
  • 本发明公开了基于无线通信的控制装置和控制系统以及其在物联网技术中的应用,控制系统包括控制装置和至少一个下行设备,其中,控制装置为基于无线通信的控制装置,下行设备包括下行设备控制单元和下行设备无线传输单元,控制装置和至少一个下行设备之间通过无线传输模块和下行设备无线传输单元进行通信。将至少一个下行设备通过无线传输模块连接至控制装置,可以实现控制装置与下行设备之间的无线通信,减少设备的布线和网络资源。而且,一个控制装置可以连接多个下行设备集中进行管理,实现了资源共享和网络共享,对于物联网的集中化统一部署和应用,具有重大意义和积极效果。
  • 基于无线通信控制装置系统及其应用

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