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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]蚀刻方法-CN201610208193.9有效
发明人：长友优;石田竜宇;田村大辅;小岩幸介 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-04-06 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明提供一种蚀刻方法，其是对第1区域及第2区域同时进行蚀刻的方法，第1区域具有通过交替层叠氧化硅膜及氮化硅膜而构成的多层膜，第2区域包括膜厚比第1区域的氧化硅膜的膜厚厚的氧化硅膜。在一实施方式的方法中，在等离子体处理装置的处理容器内生成包括氟碳气体、氢氟烃气体及氧气的第1处理气体的等离子体。接着，在处理容器内生成包括氟碳气体、氢氟烃气体、氧气及含卤素气体的第2处理气体的等离子体。接着，在处理容器内生成包括氧气的第3处理气体的等离子体。
蚀刻方法

[发明专利]车辆用的便携终端操作系统-CN201580016408.0有效
发明人：伊藤正也;尾崎义隆;上野武美;田村大辅;田中君明 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2015-03-05 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： B60R16/02 文献下载
摘要：一种用于操作被携带入车辆的便携终端的车辆用的便携终端操作系统，具备便携终端(2)、供用户输入操作的操作装置(3、4b)、以及将操作信息通知至便携终端(2)的通知部(23、30)，便携终端(2)在根据已对便携终端(2)的终端侧操作部(2b)进行的操作来单独地动作的情况下具有显示在便携终端的终端侧显示部(2a)的用户界面，在根据已对与便携终端(2)的终端侧操作部(2b)相比操作方式不同的操作装置(3、4b)进行的操作来动作的情况下，将与单独地动作的情况不同的用户界面显示在终端侧显示部。
车辆便携终端操作系统

[发明专利]等离子体氮化处理方法和等离子体氮化处理装置-CN201180007086.5有效
发明人：高槻浩一;山崎和良;野口秀幸;田村大辅;齐藤智博 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-03-30 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： H01L21/318 文献下载
摘要：向等离子体氮化处理装置（100）的处理容器（1）中，导入包括氮气和稀有气体的处理气体，处理气体的流量在换算成每1L所述处理容器的容积的处理气体的合计流量[mL/min（sccm）]时处于1.5（mL/min）/L以上13（mL/min）/L以下的范围内，在处理容器（1）内产生含氮等离子体，更换晶片W并连续进行氮化处理。氮气和稀有气体的体积流量比（氮气/稀有气体）优选为0.05以上0.8以下的范围内。
等离子体氮化处理方法装置

[发明专利]移动终端装置-CN201010143029.7无效
发明人： 田村大辅 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2010-03-19 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： G01S5/02 文献下载
摘要：本发明涉及移动终端装置，移动终端装置(20)根据来自追踪中心(100)的询问来启动位置检测处理，向通信网络(30)请求用于检测自身位置的网络辅助。如果从通信网络接收了辅助信息，则根据辅助信息接收GPS信号，将接收的GPS信号发送给通信网络。如果从通信网络的测位服务器接收到根据GPS信号运算的位置坐标作为测位位置，则移动终端装置将取得的基站的位置坐标和从测位服务器取得的测位位置进行比较，将合适的位置作为自身位置通知给追踪中心。由此，能够提供一种移动终端装置，在利用辅助测位检测自身位置的情况下，防止误识别自身位置。
移动终端装置

[发明专利]微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法以及微波透过板-CN200880020112.6无效
发明人：佐藤吉宏;小林岳志;盐泽俊彦;田村大辅 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-06-10 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明提供微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法以及微波透过板。微波等离子体处理装置(100)，其利用从平面天线(31)的微波放射孔(32)放射的、透过微波透过板(28)的微波在腔室(1)内形成处理气体的等离子体，利用该等离子体对载置于载置台(2)的被处理体(W)实施等离子体处理，其中，微波透过板(28)在其微波透过面的与被处理体的周缘部对应的部分具有凹凸状部(42)，与被处理体(W)的中央部对应的部分形成为平坦部(43)。
微波等离子体处理装置方法以及透过

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