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- [实用新型]一体轴式密封真空泵电机-CN202320642255.2有效
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魏民;雷晓波;王进福
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北京通嘉宏瑞科技有限公司
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2023-03-28
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2023-08-08
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H02K7/14
- 本实用新型涉及一种一体轴式密封真空泵电机,包括:水套、壳体、定子、转子、第一密封圈、压环、真空泵、一体轴、密封胶、第二密封圈、密封接线柱组件。本实用新型电机轴与泵体轴为一体,充分保证了电机与泵体的同轴度,通过密封能够有效的避免因制程物造成的电机异常、磨损现象。并有效克服了密封胶密封性能较差、使用寿命较短、水套进水口和出水口与外部水路接口容易出现泄露的缺陷。通过台阶部和密封圈,使密封性能不受壳体止口安装面的平面度与装配的影响,保证密封性,克服了采用焊接方式将接线柱与壳体连接导致容易在接缝处泄漏的缺陷。
- 一体密封真空泵电机
- [发明专利]气体流量控制系统及控制方法-CN202310395067.9在审
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王进福;魏民;李少英
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北京通嘉宏瑞科技有限公司
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2023-04-13
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2023-08-01
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G05D7/06
- 本申请提供了一种气体流量控制系统及控制方法,用于在对真空泵腔室进行清扫时控制清洁气体的通入量,气体流量控制系统包括:检测单元,检测单元包括传感器,传感器用于设置于真空泵腔室内,以检测真空泵腔室内的杂质气体的物理量信号,物理量信号用于表征真空泵腔室内的杂质气体的含量;控制单元,用于根据传感器的检测结果,确定清洁气体的需求量;执行单元,用于根据控制单元的确定结果向真空泵腔室内通入与需求量对应的清洁气体。本申请能够根据本次清扫时真空泵腔室内残存的杂质气体的剩余量选择合适的清洁气体量进行清扫操作,既可以节省清洁气体的使用量又可以缩短清扫所用时间,提高真空泵的清扫效率。
- 气体流量控制系统控制方法
- [发明专利]泵体清扫系统及泵体清扫控制方法-CN202310390654.9在审
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魏民;王进福;赵瑜
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北京通嘉宏瑞科技有限公司
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2023-04-13
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2023-07-14
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F04B39/00
- 本申请提供一种泵体清扫系统及泵体清扫控制方法,该泵体清扫系统用于对真空泵的泵体内部进行清扫,泵体包括多级腔室,泵体清扫系统包括:检测组件,包括多个检测元件,每个检测元件被配置为设置在一级腔室内,用于检测所在级腔室的氮气通入情况;阀体组件,包括多个阀体,每一阀体被配置为设置在一级腔室的腔壁上,用于控制所在级腔室的的氮气通入量;控制器,与检测组件及阀体组件连接,被配置为根据每一检测元件的检测结果控制与各级腔室连接的阀体的开闭。本申请通过在每级腔室设置检测元件及阀体,且控制器基于检测元件的检测结果控制各级腔室上的阀体的开闭,由此,有助于提升不同工况下泵体清扫的洁净度。
- 清扫系统控制方法
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