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[发明专利]一种超导腔缓冲化学抛光在线监测设备及方法-CN202310120179.3在审
发明人： 熊平然;郭浩;游志明;宋玉堃;谭腾;初青伟;何源 -专利权人：先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23F3/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种超导腔缓冲化学抛光在线检测设备及方法，该设备包括移动车，设置在移动车上的重力传感器和支撑杆组件，所述重力传感器设置在移动车和支撑杆组件之间，所述支撑杆组件上设有旋转电机和超导腔，所述旋转电机用于驱动超导腔进行旋转，所述超导腔和BCP设备连接，所述BCP设备包括向超导腔提供抛光液的抛光液提供组件，所述重力传感器连接有信号传输组件。本发明能够实时检测超导腔的质量变化，再根据抛光时间计算出超导腔的平均抛光厚度和平均抛光速率，以实现抛光厚度的精准控制。
一种超导缓冲化学抛光在线监测设备方法

[发明专利]一种铌三锡薄膜的制备方法-CN202110200313.1有效
发明人：潘峰;谭腾;郭浩;初青伟;熊平然;何源;武博;史一功 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种高质量铌三锡薄膜的制备方法，旨在解决一般铌三锡薄膜制备需要高温，无法应用于铜等低熔点基材的问题。制备方法的核心为采用锡含量(质量分数)12～16％的高锡青铜作为衬底，将衬底清洗干净并吹干，其次衬底置于溅射镀膜系统中，溅射铌，在不经额外热处理的情况下，直接在衬底表面反应生成高质量的铌三锡镀层，为制备低熔点基材铌三锡薄膜材料及其工业化应用打下了良好的基础。
一种铌三锡薄膜制备方法

[发明专利]一种铜基厚壁Nb3-CN202110647650.5有效
发明人：杨自钦;何源;游志明;郭浩;熊平然;张军辉;张生虎 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C10/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜基厚壁Nb3Sn薄膜超导腔及其制备方法，属于超导技术领域。本发明的铜基厚壁Nb3Sn薄膜超导腔的制备方法，包括如下步骤：(1)采用锡蒸汽扩散法由纯铌超导腔制备铌基Nb3Sn薄膜超导腔；(2)在所述铌基Nb3Sn薄膜超导腔外表面沉积铜层；(3)在沉积了铜层的铌基Nb3Sn薄膜超导腔外表面电镀无氧铜，即得到所述铜基厚壁Nb3Sn薄膜超导腔。该方法通过在铌基Nb3Sn薄膜超导腔外表面以电镀无氧铜的方式制备得到铜基厚壁Nb3Sn薄膜超导腔，成功避免了铜熔点低无法生成高质量Nb3Sn薄膜的缺点；且电镀的无氧铜致密度高、孔隙率低、热反应小。
一种铜基厚壁 nb base sub

[发明专利]用于椭球型超导腔电化学抛光的电极及其安装方法-CN202210518708.0在审
发明人：郭浩;熊平然;谭腾;宋玉堃;初青伟;罗迪迪;何源;张生虎 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于椭球型超导腔电化学抛光的电极及其安装方法，包括分体式设计的如下各部件：第一抛光电极导电部件和第二抛光电极导电部件，二者均为杆状导电电极，第一抛光电极导电部件和第二抛光电极导电部件的第一端均包覆有抛光电极绝缘部件，且二者的第一端卡接连接；第三抛光电极导电部件，其为轮盘状结构，第三抛光电极导电部件套设在第一抛光电极导电部件的第一端上或第二抛光电极导电部件的第一端上，且连接处未设置抛光电极绝缘部件。该电极结构能够降低超导腔在电化学抛光过程中内表面不同位置的不均性提升抛光的均匀度。
用于椭球超导电化学抛光电极及其安装方法

[发明专利]一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备-CN201910609127.6有效
发明人：何源;游志明;郑海;郭浩;熊平然;王旺生;李璐;张生虎 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种小间隙超导腔内表面高压冲洗设备，其特征在于，包括支撑架、上支撑台面、旋转平台、喷杆、平台驱动装置、喷杆驱动装置、高压隔膜泵和控制系统；支撑架的顶部固定连接上支撑台面，上支撑台面的顶部设置有旋转平台；支撑架和上支撑台面的中心均开设有用于喷杆往复运动的第一通孔，旋转平台的中心开设有用于喷杆往复运动的第二通孔，上支撑台面的第一通孔和第二通孔上分别设置有用于定位支撑喷杆的导套，喷杆的顶部设置有喷头，喷杆的底部连接高压隔膜泵；支撑架上设置有平台驱动装置和喷杆驱动装置；高压隔膜泵、平台驱动装置和喷杆驱动装置还分别电连接控制系统，本发明可以广泛应用于加速器制造技术领域中。
一种间隙超导表面高压冲洗设备

[发明专利]一种无氧铜钎焊前的表面处理方法-CN202110264784.9在审
发明人：初青伟;郭浩;熊平然;宋玉堃;谭腾;何源 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C23G1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种无氧铜钎焊前的表面处理方法。该方法包括：1)弱酸清洗剂浸泡待处理部件并搅拌，之后再纯水冲洗；2)弱酸钝化步骤1)处理后的部件，之后再纯水冲洗。本发明摒弃使用铬酸等有害酸液，通过多个步骤精确控制抛光速率以及彻底去除表面残留化学液等，清洗后表面无油污和氧化层存在，清洗效果好，镜面效果明显，且没有出现晶粒析出现象，具有较高的实用价值。
一种无氧铜钎焊表面处理方法

[发明专利]一种射频四级场加速腔体的表面处理方法-CN202110264806.1在审
发明人：初青伟;郭浩;熊平然;宋玉堃;谭腾;何源 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C23G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频四级场加速腔体的表面处理方法。该方法包括：1)弱酸清洗待处理腔体后用高压纯水冲洗；2)弱酸钝化步骤1)处理后的腔体后用高压纯水冲洗。本发明摒弃使用铬酸等有害酸液，通过多个步骤(如选用弱酸清洗钝化并进行高压纯水冲洗)精确控制抛光速率以及彻底去除表面残留化学液等，利用该方法清洗后表面无油污和氧化层存在，清洗效果好，镜面效果明显，且没有出现晶粒析出现象，具有较高的实用价值。
一种射频四级场加速表面处理方法

[发明专利]一种超导腔零部件表面化学缓冲全自动抛光设备-CN201910333215.8有效
发明人：游志明;何源;熊平然;郭浩;李璐;张生虎 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： C23F3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种超导腔零部件表面化学缓冲全自动抛光设备，其包括：密闭装置、零部件装载装置、水洗装置、酸洗装置、机械手装置以及计算机控制显示系统；密闭装置内设置有等待工位、酸洗工位和水洗工位；零部件装载装置用于装载待抛光的各零部件；酸洗装置设置在酸洗工位，用于对零部件装载装置内的待抛光零部件进行酸洗操作；水洗装置设置在水洗工位，用于对零部件装载装置内的抛光后的零部件进行水洗操作；机械手装置设置在密闭装置上部，用于将零部件装载装置在等待工位、酸洗工位和水洗工位之间移动，完成酸洗操作和水洗操作后将零部件装载装置移动到等待工位。本发明可以广泛应用于超导腔零部件表面化学缓冲抛光领域。
一种超导零部件表面化学缓冲全自动抛光设备

[发明专利]一种旋转动密封结构及旋转电解抛光装置-CN202010049918.0在审
发明人：郭浩;宋玉堃;熊平然;初青伟;游志明;何源;张生虎 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： F16J15/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转动密封结构及旋转电解抛光装置。本发明所述旋转动密封结构在定子和转子的密封连接处采用双唇型结构动密封圈，该动密封圈的材料为聚四氟乙烯材料，所述旋转动密封结构在定子和转子的轴肩连接处采用滑动轴承连接，所述旋转动密封结构在定子和转子的内外圈相对转动处采用深沟球轴承连接。本发明所述旋转动密封装置及旋转电解抛光装置，既具有耐腐蚀的特点，又可以保障装置的同轴度等工艺参数，具备可靠和安全性等特点，其解决了强腐蚀电解质环境下尤其是大通径工件的内表面旋转电解化学抛光工艺的实现问题。
一种旋转密封结构电解抛光装置

[发明专利]一种清洗超导腔的装置及清洗方法-CN202010021601.6在审
发明人：何源;熊平然;郭浩;张生虎;游志明;吴建强 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种清洗超导腔的装置及清洗方法，所述装置包括立式超声波发生槽和超导腔进/排液管路，其中，所述立式超声波发生槽包括槽体和超声振子，所述槽体为立式可封闭槽，所述槽体内部适于容纳所述超导腔，所述槽体的外表面布有所述超声振子，所述槽体设有超导腔管路接口；所述超导腔进/排液管路包括进液管路和排液管路，所述进液管路和排液管路分别通过所述超导腔管路接口与所述超导腔连接。本发明可实现对各类超导腔安全、可靠、无死角、无风险的清洗，并可降低设备采购和运行维护成本。
一种清洗超导装置方法

[发明专利]用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法-CN201711186414.8有效
发明人：初青伟;谭腾;何源;郭浩;熊平然;游志明 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： C23F1/26 文献下载
摘要：一种用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法，所述化学退镀液包括：质量浓度为0.1‑0.5％的间硝基苯磺酸盐、质量浓度为1.0‑4.0％的氢氟酸和质量浓度为0.8‑2.0％的氟硼酸。本发明在不损伤铜基材表面的情况下，可以简单、迅速、稳定、完全去除铜基材表面的铌镀层，完好地回收利用已镀铌膜的铜制品。
化学退镀液镀层去除铜表面铜基材退镀间硝基苯磺酸盐回收利用氟硼酸氢氟酸铜制品损伤

[发明专利]一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法-CN201910333491.4在审
发明人：游志明;何源;郭浩;熊平然;李璐;张生虎 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B01F3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法，包括混酸箱、酸液回路控制机构和计算机控制显示系统；混酸箱顶部设置两混酸进口，其中一混酸进口与第一酸液配制管路相连，第一酸液配制管路与一个以上并联设置的酸液抽取管路相连，各酸液抽取管路另一端与装有不同酸液的原酸桶相连；另一混酸进口通过第二酸液配制管路与混酸输送管路相连；混酸箱下部设置有出液口，出液口通过出液管路与混酸输送管路相连；混酸输送管路另一端与整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备相连；酸液回路控制机构设置在各管路上，在计算机控制显示系统的控制下，将对各管路中的酸液进行控制。本发明可以广泛应用于加速器制造领域。
酸液混酸缓冲输送管路计算机控制显示系统配制表面化学回路控制抛光设备配制设备超导腔出液口抛光抽取进口并联设置出液管路机构设置加速器箱顶部箱下部原酸零部件应用制造

[实用新型]超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统-CN201721383329.6有效
发明人：游志明;何源;熊平然;郭浩;李璐 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C23F3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及离子加速器超导腔加工技术领域，尤其是涉及一种超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统。其特点是包括混酸槽，混酸槽上端通过管路与制冷机组相连，混酸槽内设置有热交换器，混酸槽下端通过管路与酸液输送泵相连，酸液输送泵通过管路与过滤器相连，过滤器通过管路与超导腔下端和超纯水水泵相连，超纯水水泵通过管路与超纯水水箱相连，超导腔上端通过管路分别与混酸槽上端和观察窗相连，高纯氮气罐通过管路与混酸槽与超导腔之间的管路相连；其通过采用计算机对酸液的流量、流速、温度、压力和时间进行严格控制，可以实现多型号超导腔的化学缓冲抛光。而且具有很强的抗腐蚀性、高度的安全性、可靠性、可控性和易操作性。
超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统

[发明专利]超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统及方法-CN201711006578.8在审
发明人：游志明;何源;熊平然;郭浩;李璐 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： C23F3/06 文献下载
摘要：本发明涉及离子加速器超导腔加工技术领域，尤其是涉及一种超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统及方法。其特点是包括混酸槽，混酸槽上端通过管路与制冷机组相连，混酸槽内设置有热交换器，混酸槽下端通过管路与酸液输送泵相连，酸液输送泵通过管路与过滤器相连，过滤器通过管路与超导腔下端和超纯水水泵相连，超纯水水泵通过管路与超纯水水箱相连，超导腔上端通过管路分别与混酸槽上端和观察窗相连，高纯氮气罐通过管路与混酸槽与超导腔之间的管路相连；其通过采用计算机对酸液的流量、流速、温度、压力和时间进行严格控制，可以实现多型号超导腔的化学缓冲抛光。而且具有很强的抗腐蚀性、高度的安全性、可靠性、可控性和易操作性。
超导腔整腔表面化学缓冲全自动抛光系统方法

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