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[发明专利]一种多孔气体分流板镀膜系统-CN202110884531.1有效
发明人：张海飞;张洪国;王浩增;焦恒刚 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C23C26/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种多孔气体分流板镀膜系统，包括进样机构、镀膜机构和退火机构，进样机构能够将多孔气体分流板逐个输送至镀膜机构，镀膜机构对多孔气体分流板进行镀膜，退火机构对镀好膜的多孔气体分流板进行退火。由此，进样机构能够将多孔气体分流板连续的一个一个推送出去，进行进样，镀膜机构可以对多孔气体分流板进行均匀的镀膜，镀好膜的多孔气体分流板最后通过退火机构进行退火冷却，最终完成多孔气体分流板的镀膜。制备得到的多孔气体分流板可以广泛用于ALD,CVD,PECVD,MOCVD等半导体工艺设备中，不仅可以延长多孔气体分流板的使用寿命，而且可以改善所生长薄膜的质量，如均匀性，致密度等，降低制造商的生产成本。
一种多孔气体分流镀膜系统

[发明专利]原子层沉积装置-CN202110559693.8在审
发明人：张海飞;张洪国;焦恒刚 -专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请公开了原子层沉积装置，包括上腔体、下腔体、气体分流板、托盘和加热装置，上腔体盖合于下腔体，上腔体设有进气管，气体分流板设置于上腔体，气体分流板与进气管连通，托盘和加热装置设置于下腔体，气体分流板从中心向四周沿径向分布有多个出气孔。由此，通过将气体分流板上的出气口设置多个，且沿径向分布，形成蛛网式结构，每一圈的出气孔数量相同，越靠近四周边缘处，每一圈上相邻的两个出气孔的距离越远，如此可以将越靠近四周边缘的出气孔的孔径设置得更大，能够解决越靠近中心处的出气孔的出气压力更大，前驱体扩散不均匀的问题，能够使得前驱体扩散更加均匀，提高层积效率，提升产品的品质。
原子沉积装置

[实用新型]一种补强型抗干扰线束护套-CN201220041571.6有效
发明人：支海波;田波;蒋万;焦恒刚 -专利权人：张家港中天精密模塑有限公司
申请日： 2012-02-09 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H02G3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种补强型抗干扰线束护套，包括连接设置在弹性护套管两端的弹性导套以及设置在弹性护套管内并与弹性护套管和弹性导套均同轴设置的补强过线网管，补强过线网管包括密织型金属丝网套，弹性导套包括连接段体与四方锥形的卡接端，连接段体和卡接端的中心轴不在同一条直线上，卡接端的四方锥形的壁内设置有卡槽与连接管，连接管的外壁上设置有凸起。本改进解决的技术问题在于提高线束护套中线束的抗干扰和抗拉伸能力。通过本实用新型公开的补强型抗干扰线束护套，通过包裹在线束外的密织型金属丝网套有效地提高了线束的抗干扰性能和抗拉伸扭曲的能力，降低了线束的损坏几率。
一种补强型抗干扰护套

[实用新型]一种线束护套-CN201220041570.1有效
发明人：支海波;田波;蒋万;焦恒刚 -专利权人：张家港中天精密模塑有限公司
申请日： 2012-02-09 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H02G3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种线束护套，包括连接设置在弹性护套管两端的弹性导套以及设置在弹性护套管内并与弹性护套管和弹性导套均同轴设置的补强过线管，弹性导套包括连接段体与四方锥形的卡接端，连接段体和卡接端的中心轴不在同一条直线上，卡接端的四方锥形的壁内设置有卡槽与连接管，连接管的外壁上设置有凸起。本实用新型解决的技术问题在于线束护套的大角度连接。本实用新型公开的线束护套通过设置的中心轴成九十度的连接段体和连接段，有效地缩短了线束大角度连接时所需要的线束护套的长度降低了连接成本，同时还避免了在连接时对线束护套本身进行弯折，有效地降低了线束护套的损坏几率，降低了线束护套的维护成本，提高了使用安全性。
一种护套