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[实用新型]一种远程等离子发生器的腔体结构-CN202320887249.3有效
发明人：朱培文;朱国俊;潘小刚;潜世军 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了等离子发生器技术领域内的一种远程等离子发生器的腔体结构，包括：一进气口，进气口上方还设置有进气口座；一进气端长腔体，上端与进气口下端连接；两短腔体，上端分别与进气端长腔体连接；一出气端长腔体，上端分别与两短腔体的下端连接；一出气口，上端与出气端长腔体连接；其中，进气口、进气端长腔体、短腔体、出气端长腔体、出气口组合成完整腔体，完整腔体内部分别开设有气腔和冷却水道。该腔体结构的气体循环通道和冷却水道都在腔体上，冷却水道分布在气腔的外侧，热传导效率更高，从而延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
一种远程等离子发生器结构

[实用新型]一种远程等离子发生器的散热系统-CN202320887237.0有效
发明人：朱培文;朱国俊;潘小刚;潜世军 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远程等离子发生器的散热系统，该系统包括电离腔体和散热装置；电离腔体内设置有两个冷却水道；散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，散热盘内开设有水盘流道，散热盘包括第一散热盘和第二散热盘；进水管一端连通第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；第一出水管一端与第一散热盘的出水口连通，另一端用以连接一个冷却水道的进水端；第二出水管一端与第二散热盘的出水口连通，另一端用以连接另一个冷却水道的进水端；回水管，一端用以两个冷却水道的出水端，另一端用以连接冷却水泵。该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率。
一种远程等离子发生器散热系统

[实用新型]一种远程等离子发生器的散热装置-CN202320887895.X有效
发明人：朱培文;朱国俊;潘小刚;潜世军 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了等离子发生器技术领域内的一种远程等离子发生器的散热装置，包括：散热盘，内开设有水盘流道，还设置有进水口和出水口，水盘流道连通进水口和出水口，散热盘包括第一散热盘和第二散热盘；进水管，一端连通第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；第一出水管，一端与第一散热盘的出水口连通，另一端用以连接电离腔体的进水端；第二出水管，一端与第二散热盘的出水口连通，另一端用以连接电离腔体的进水端；回水管，一端用以连接电离腔体的出水端，另一端用以连接冷却水泵。该散热装置的散热盘为主要散热器件，结构简单散热效果好。
一种远程等离子发生器散热装置

[发明专利]一种远程等离子发生器-CN202310421965.7在审
发明人：朱培文;朱国俊;潘小刚;潜世军 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种远程等离子发生器，包括：电离腔体，分别开设有气腔和两个冷却水道，两个冷却水道均设置有进水端和出水端；散热装置，包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，散热盘内开设有水盘流道、进水口和出水口，散热盘设置有两个分别为第一散热盘和第二散热盘，进水管连通散热盘的进水口，第一出水管连通第一散热盘的出水口和一个冷却水道的进水端；第二出水管连通第二散热盘的出水口和另一个冷却水道的进水端；回水管连接两个冷却水道的出水端。该远程等离子发生器通过外置的散热装置配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
一种远程等离子发生器

[实用新型]一种通用型内翅片-CN201922019402.7有效
发明人： 潜世军 -专利权人：扬州通宇散热器有限公司
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： F28F3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种通用型内翅片，包括导流槽、孔洞、翅片本体和分割槽，所述导流槽两侧设置有翅片本体，所述翅片本体上均匀设置有孔洞，所述孔洞拐角处设置为圆角，所述该内翅片上设置有3个分割槽，且3个分割槽该内翅片分为第一内翅片、第二内翅片、第三内翅片和第四内翅片，所述分割槽的底端设置有凹槽。该通用型内翅片设置有分割槽，且分割槽的位置设置在内翅片的200mm、250mm、275mm处，该内翅片分成了4个区域，使用人员可以根据具体的实际情况来进行分割内翅片，简单方便，可以满足不同长度内翅片的配合，同时分割槽内设置有凹槽，使该内翅片在切割过程中减少了大量的毛刺，进一步的保证了产片的质量。
一种通用型内翅片