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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]铜互连功能微结构及其制备方法-CN201811210694.6有效
发明人：王聪;满姝;郭登机;丁铠文;段吉安 -专利权人：中南大学
申请日： 2018-10-17 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L23/52 文献下载
摘要：本发明提供一种铜互连功能微结构，上铜片和下铜片，以及涂覆在上铜片和下铜片之间的纳米银浆；其中，上铜片与下铜片相交的两个表面上分布有均匀的周期性锥形结构；所述周期性锥形结构的锥体高度为52～58μm；相邻锥体间的中心距为55～60μm。本发明还提供一种铜互连功能微结构，包括：将超快激光入射在铜片表面上，控制超快激光光束在铜片表面进行网状扫描，形成周期性锥形微结构；在处理后的两片铜片表面涂覆一层纳米银浆后相扣，施加压力后保温保压，得到铜互连功能微结构。本发明的方法操作简单，制备得到的铜互连功能微结构的剪切强度有很大提高。
互连功能微结构及其制备方法

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