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[实用新型]一种刻槽主辊及其切割设备-CN202321333757.3有效
发明人：沈晓宇;谈继刚;张旭东;申晋琛 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型属于晶体切割技术领域，尤其是涉及一种刻槽主辊及其切割设备，包括主辊本体，所述主辊本体上均匀设有若干刻槽，所述刻槽的底部中部与其相邻刻槽底部之间的槽距取值范围为0.592毫米至0.598毫米，所述刻槽底部两侧的侧壁之间的距离沿向底部方向依次缩小，所述刻槽内的钢丝直径大于所述刻槽底部的宽度。本实用新型能够减少晶体材料的损耗，提升晶体的出片率。
一种刻槽主辊及其切割设备

[发明专利]一种碳化硅衬底片脱胶设备-CN202310708728.9在审
发明人：沈晓宇;谈继刚;张旭东;宋章鑫 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于硅片加工设备技术领域，尤其是涉及一种碳化硅衬底片脱胶设备，包括外壳，所述外壳的一侧设有控制面板，所述外壳内部依次排列的喷淋储液槽、喷淋槽、脱胶槽、超声波清洗槽和回收储液槽，所述喷淋储液槽与所述喷淋槽连接，所述超声波清洗槽与所述回收储液槽连接；所述喷淋储液槽与所述喷淋槽之间的间隙中设有上料小车，所述超声波清洗槽与所述回收储液槽之间的间隙中设有下料小车；所述上料小车上设有脱胶支架；所述外壳内上端固定连接有机械臂，所述机械臂驱动所述脱胶支架。本发明能够自动上料、下料进行超声波清洗，清洁力度更强且更稳定，容易操作，节约人力和时间。
一种碳化硅衬底脱胶设备

[发明专利]一种晶圆切割用金刚线锯接合修复设备-CN202310487189.0在审
发明人：沈晓宇;李嘉炜;谈继岗;张旭东;卢岑 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种能够实现断裂位置处高效稳定接合的晶圆切割用金刚线锯接合修复设备，使接合修复后的金刚线具备良好的内部结构性能，提升使用过程中的耐用性和安全性。该设备包含有起到承托作用的设备基台，以及安装于所述设备基台上的一对夹装定位装置，分别用于对互相断裂分离的两段切割线进行夹装固定，至少其中一个夹装定位装置与所述设备基台之间以一种绕竖直的中心轴线可回转的方式活动安装连接，并驱使一侧切割线的端部向另一侧切割线的端部移动靠近；两个所述夹装定位装置还分别与外部电源的正极和负极相连接，使外部电源与所述夹装定位装置以及互相抵接的切割线之间能够形成电流导通回路。
一种切割金刚接合修复设备

[实用新型]一种晶棒定位连接结构以及高精度晶棒粘固辅助设备-CN202321027744.3有效
发明人：沈晓宇;李嘉炜;谈继岗;张旭东;吴汪程 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种能够在晶托板上多个位置精确定位固定晶棒以优化晶圆切割过程的晶棒定位连接结构以及包含有该结构的高精度晶棒粘固辅助设备，其中的晶棒定位连接结构包含有开设于晶托板上的调节卡槽，以及设置于承托平台顶部向上凸起的卡合导向部，所述卡合导向部能够嵌入所述调节卡槽中，实现在限制所述晶托板在左右方向上偏移的同时，引导所述晶托板在前后方向上平移运动。
一种定位连接结构以及高精度晶棒粘固辅助设备

[实用新型]一种断裂切割线接合用对正固定装置-CN202321027753.2有效
发明人：沈晓宇;李嘉炜;谈继岗;张旭东;卢岑 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B21F15/08 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供一种能够精确控制对金刚线进行夹装固定时压力大小以起到减少金刚线变形损伤的断裂切割线接合用对正固定装置，该装置包含有主体模块以及能够沿所述主体模块进行上下升降移动的夹装模块，所述夹装模块与所述主体模块之间形成有夹装区域，所述主体模块与所述夹装模块之间还形成有用于驱使所述夹装模块相对于所述主体模块进行升降运动的驱动机构以及用于对夹装切割线所施加的作用力进行限制的压力限制机构。
一种断裂切割接合固定装置

[实用新型]一种倒角机加工防护装置-CN202321248421.7有效
发明人：沈晓宇;谈继刚;张旭东;林黛莎 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型属于精密仪器加工技术领域，尤其是涉及一种倒角机加工防护装置，包括固定安装于机架上的固定板和与所述固定板活动连接的夹持块，所述夹持块为中部设有防护板；所述夹持块包括底板和位于所述底板相对两侧的挡板，所述底板设有挡板的一侧与所述固定板活动连接；所述固定板与所述夹持块另设有用于相互固定的卡扣结构。本实用新型结构简单，容易安装，能够避免操作人员误碰，减少了不良晶片的产生。
一种倒角加工防护装置

[实用新型]一种切割机晶托-CN202321333681.4有效
发明人：沈晓宇;谈继刚;张旭东;吕海波 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型属于多线切割配件技术领域，尤其是涉及一种切割机晶托，包括位于机架上的夹持块和设置于所述夹持块上的粘板，所述粘板两端对称设有过滤板；所述夹持块远离所述粘板的一侧设有两组活动导轨，所述活动导轨与机架活动连接，所述导轨截面为T型。本实用新型能够有效过滤切割钢丝上的裹挟物，提高切片切面的平整度、光滑度。
一种切割机

[发明专利]一种降低碳化硅衬底片翘曲度的方法-CN202310332157.3在审
发明人：沈晓宇;沈梦飞;陈文锦 -专利权人： 湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明涉及一种降低碳化硅衬底片翘曲度的方法，属于半导体材料技术领域。一种降低碳化硅衬底片翘曲度的方法，包括以下步骤：a、提供一面为凸起面另一面为凹陷面的碳化硅衬底片；b、在所述凹陷面的中心处贴上垫片；c、将碳化硅衬底片以贴有垫片的面朝向吸盘的方式吸附在减薄机的吸盘上，使凸起面保持凸起，然后对凸起面进行减薄加工，使碳化硅衬底片在凸起面的不同部位产生不同的移除量；d、然后对另一面进行减薄，调整所述碳化硅衬底片的整体厚度。本发明通过对bow值偏大的碳化硅衬底片，在其凹陷面的凹陷处贴垫片的方式，达到凸起部位的移除量大于其他部位的移除量的效果，从而起到改善bow值的作用。
一种降低碳化硅衬底曲度方法

[实用新型]一种用于籽晶表面的刮胶装置-CN202220474168.6有效
发明人：沈晓宇;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;薛彦鹏;韩江山 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本实用新型属于晶体生长技术领域，尤其涉及一种用于籽晶表面的刮胶装置。本实用新型通过悬挂臂连接的固定板，设置在所述固定板侧面上的支架单元，设置在所述支架单元上并用于刮涂籽晶表面的粘接胶的刮板单元，以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元倾斜角度的旋转块单元。起到了在碳化硅制备过程中调整刮板对粘接胶角度的技术效果。本实用新型可在刮胶过程进行之前对刮板角度进行调节，同时通过旋转块的调节作用来改变刮板的角度，设置了限位块机构使得刮板的角度一旦调节完成后即实现固定，并且当调整刮板角度时朝方柱方向推动旋转块即可实现对限位块的解锁效果，调整好刮板角度后松开旋转块即可使得刮板重新恢复锁定效果。
一种用于籽晶表面装置

[实用新型]一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置-CN202123005083.8有效
发明人：沈晓宇;金丹丽;王思成;连旗锋;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型碳化硅技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的刷头装置。本实用新型通过用于刷洗衬底片的刷毛单元，用于安装刷毛单元的刷头单元，以及设置在所述刷头单元上并用于调整刷毛单元位置的按动柱单元起到了调整刷毛面积的技术效果。本实用新型具有结构简单，使用方便，可通过一步按压操作的方式实现了初步清理模式向深度清理模式切换，并且通过一步简单的拉动作用即可实现深度清理模式向初步清理模式复位，同时设有弹簧结构使得复位过程自动化，以及设置限位结构保证内部零件不会脱离的优点。
一种用于碳化硅衬底刷洗过程装置

[实用新型]一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的高度调节装置-CN202123013778.0有效
发明人：沈晓宇;金丹丽;王思成;连旗锋;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅衬底片刷洗过程的高度调节装置。本实用新型通过用于连接刷头的升降杆单元，用于安装升降杆单元的固定柱单元，以及设置在固定柱单元并用于调整升降杆单元位置的旋转柱单元起到了调整刷毛高度位置的技术效果。本实用新型具有结构简单，安装方便，升降柱与固定柱结合的方式带动刷头调整高度位置，并且在外部设有旋转柱带动升降柱上下移动，同时旋转柱设有限位结构使得升降柱高度固定，以及在升降柱上设有旋转固定连接结构使得旋转柱可在升降柱上自由转动的优点。
一种用于碳化硅衬底刷洗过程高度调节装置

[实用新型]一种碳化硅衬底片取放装置-CN202123031702.0有效
发明人：沈晓宇;吴汪程;冯纪慧;连旗锋;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅衬底片取放装置。本实用新型通过提升板单元，设置在提升板单元上并用于夹持衬底片的夹持柱单元，以及设置在提升板单元上并用于调整夹持柱单元位置的平移柱单元起到了辅助碳化硅衬底片转移的技术效果。本实用新型具有结构简单，安装方便，仅需一步平移的动作即可实现对衬底片夹持作用，并且具有旋转调整衬底片下方支撑块高度从而进一步固定衬底片，同时设置限位块减少旋转零件的晃动，以及在支撑块上设置挡板防止灰尘进入装置空腔内部的优点。
一种碳化硅衬底片取放装置

[实用新型]一种碳化硅衬底片封装装置-CN202123031706.9有效
发明人：沈晓宇;章萌春;叶彬;韩江山;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B65D55/02 文献下载
摘要：本实用新型属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅衬底片封装装置。本实用新型通过用于盛装衬底片的盒体单元，以及设置在盒体单元上的盒盖单元；盒体单元包括卡合柱，盒盖单元包括用于卡合在卡合柱上的按压柱起到了方便安装碳化硅衬底片的技术效果。本实用新型具有结构简单，安装方便，通过一次按压操作即可实现盒盖与盒体连接密封操作简单，同时仅通过一次推动的方式即可实现盒盖与盒体脱离，并且采用了斜面插入提升柱体使其与卡合柱脱离卡合状态的方式较为省力，以及设置了弹簧复位装置使得按压柱与推动柱均可实现自动复位功能的优点。
一种碳化硅衬底封装装置

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