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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种气体团簇离子源产生方法及装置-CN201710664910.3有效
发明人：瓦西里·帕里诺维奇;曾晓梅;付德君 -专利权人： 深圳江海行纳米科技有限公司
申请日： 2017-08-07 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种气体团簇离子源产生方法，利用脉冲控制阀控制喷出脉冲式气流束，脉冲式气流束经过分束器，中性团簇粒子和部分单原子通过分束器，脉冲式气流束经过电离器进行离化，脉冲式气流束继续经过吸极，在吸极内获得初始加速度并汇聚形成收敛的圆锥形气流束，圆锥形气流束继续经过加速器和透镜后通过E型永久磁铁，形成团簇离子束。本发明同时提供了一种气体团簇离子源产生装置，包括脉冲控制阀以及沿脉冲式气流束喷出方向依次布置的分束器、电离器、吸极、加速器、透镜以及E型永久磁铁。本发明可在标准温度和一定气压下使得中性团簇在与电子的碰撞中发生电离，形成气体团簇离子，后在吸极等作用下，汇聚成团簇离子束。
一种气体离子源产生方法装置

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