|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 31个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种扩散炉的石英炉管结构-CN202320663672.5有效
-
兰锋;王飞华;罗志斌;张小荣
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2023-03-30
-
2023-10-27
-
C30B29/06
- 本实用新型公开的一种扩散炉的石英炉管结构，包括用于半导体加工中对硅片进行高温扩散的炉管主体，其表面设有用于支撑的基座，基座内壁面的两侧均设有用于驱动炉管主体转动的驱动组件，基座上设有能够对驱动组件进行导向的限位组件，基座的外表面设有用于锁止限位组件局部零部件的定位组件。本实用新型中弹簧对滑块起到缓冲作用，使驱动组件不被固定由于重力原因下落时，有效地给予滑块其下落缓冲保护，进而有效避免滑块下落过快而将滑槽的内壁面碰坏及受到滑槽内壁面的反作用而伤及自身；导杆能够对弹簧起到限位作用，使得弹簧在拉伸时产生的反向弹力能够与拉力的方向始终在同一直线上，避免弹簧歪斜，从而有助于延伸弹簧的使用寿命。
- 一种扩散石英炉管结构
- [实用新型]一种石英舟开槽装置-CN202320823358.9有效
-
黄爱华;许冬华;周维忠;顾家涛
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2023-04-14
-
2023-10-24
-
B28D1/00
- 本实用新型涉及石英舟加工装置技术领域，公开的一种石英舟开槽装置，包括工作台，工作台的顶壁开设有固定槽一和固定槽二，固定槽一的上端设置有移动组件；移动组件包括丝杆一、正反转电机一、丝杆二、正反转电机二。本实用新型通过设置丝杆二、正反转电机一，正反转电机一带动丝杆二进行转动，从而带动固定架一进行左右移动，正反转电机二和丝杆一的设置，即正反转电机二带动丝杆一进行转动，使得装置具备前后移动的效果，达到移动开槽装置的效果，电动推杆一的设置，在开槽装置正式开始工作前，根据固定好的石英舟的高度，对开槽装置的高度进行控制，从而来适应不同规格的石英舟，从而增加该装置的实用性。
- 一种石英开槽装置
- [发明专利]一种石英熔接辅助设备-CN202310444853.3在审
-
兰锋;李加玉;周维忠;罗志斌
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2023-04-24
-
2023-08-22
-
C03B23/207
- 本发明涉及石英熔接加工领域，具体是涉及一种石英熔接辅助设备，包括多角度定位摆放石英管和支管的多角度辅助定位装置，多角度辅助定位装置包括定位夹持石英管的三爪卡盘，三爪卡盘的外侧设有多角度安装盘，多角度安装盘的调节端上均安装有管道推送装置，多角度安装盘的底部安装有同步收缩机构，同步收缩机构与多角度安装盘同轴设置，同步收缩机构设有数个移动收缩端，同步收缩机构的移动收缩端与多角度安装盘的调节端连接，同步收缩机构的收缩端上均安装有管道限位夹持具，管道限位夹持具的进料口与管道推送装置的输出端同轴设置，同步收缩机构的底部还安装有废料收集斗。本申请可有效的提高安装效率，同时提高安装的适应性。
- 一种石英熔接辅助设备
- [实用新型]一种石英清洗槽-CN202320663666.X有效
-
王飞华;兰锋;许冬华;刘慢利
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2023-03-30
-
2023-08-22
-
H01L21/687
- 本实用新型公开的一种石英清洗槽，包括用于储存清洗液的储液组件，其内部对称设有两个用于承载硅片的承载组件，储液组件的一侧设有用于带动两个承载组件同步水平往复晃动的晃动组件；晃动组件包括设于储液组件一侧上部的外壳，外壳的内腔设有位移件，位移件与承载组件之间设有用于连接的连接件，外壳的内腔还设有能够自动推动位移件局部零部件水平移动的驱动件。本实用新型中电机输出轴带动偏心轮转动，最终可推动承载组件在储液组件的内腔水平移动，通过弹簧实现承载组件自动复位的作用，进而使得承载组件能够在储液组件的内腔水平晃动，采用电机控制承载组件水平晃动，既降低人工劳动强度，又避免储液组件内的清洗液溢出。
- 一种石英清洗
- [发明专利]一种用于石英熔接定位的控制系统-CN202310396575.9在审
-
王飞华;许冬华;李晓晨;朱伟
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2023-04-14
-
2023-07-07
-
C03B23/203
- 本发明公开了一种用于石英熔接定位的控制系统，包括PLC控制器、顶板、夹持系统、电动伸缩杆、连接系统；顶板的侧面开设有主滑槽，在顶板上开设有副滑槽，主滑槽内滑动有主滑块，副滑槽内滑动有副滑块，主滑块、副滑块上均固定有夹持系统；连接系统包括充放气组件和气动伸缩连接组件，顶板的侧面设有电动伸缩杆，主滑块上连接着充放气组件，电动伸缩杆的伸缩端与处于对应侧的充放气组件连接，主滑块的两侧侧壁上分别连接着气动伸缩连接组件，并通过两侧的气动伸缩连接组件连接于对应侧的副滑块。本发明通过控制系统方便调控顶板方位，并通过电动伸缩杆驱使主滑块或连同副滑块带动夹持系统夹持石英板移动至特定位置，提高定位精准度，操控自动化。
- 一种用于石英熔接定位控制系统
- [发明专利]一种高纯石英酸性废水净化器-CN202310121757.5在审
-
兰锋
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2023-02-16
-
2023-05-02
-
C02F1/66
- 本发明公开了一种高纯石英酸性废水净化器，属于废水处理技术领域，包括箱体，箱体的内部设置有防护内胆，箱体的上表面一端设置有注水管，箱体的上表面另一端设置有投料管，箱体的底部设置有排污管，箱体的下表面设置有排水管，所述箱体的内部设置有导流罩，排水管贯穿导流罩设置，导流罩的上表面设置有防护圆管，防护圆管的底部开设有若干个排污通孔，箱体的顶端设置有净化机构，净化机构包括用于对废水起到过滤作用的过滤组件；本发明结构简单，使用方便，使用时通过多结构的相互配合，实现对废水和添加剂的充分搅拌，使废水和添加剂的混合效果更好，有效缩短净化器在中和废水时所耗费的时间。
- 一种高纯石英酸性废水净化器
- [实用新型]一种侧板与槽棒快速定位治具-CN202222443120.1有效
-
郑涛;顾家涛;尹洪洪;曹学智
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2022-09-15
-
2023-03-24
-
G01B5/00
- 本实用新型涉及石英类产品加工领域，公开了一种侧板与槽棒快速定位治具，包括治具基准面、治具定位面和治具底座，治具基准面和治具定位面分别固定设置于治具底座上端面靠前后侧位置，治具基准面前端面靠一侧位置固定设置有刻度线，治具基准面中部滑动套设有上部升降板和下部升降板，上部升降板前侧连接设置有承板，承板上端面靠前侧位置固定设置有定位板。本实用新型中，该治具通过具基准面和治具定位面限制构件位置，对构件位置进行快速固定，在满足产品工艺夹持引导要求的前提下，降低石英舟假接时的误差，提高生产效率，减低成本，同时可对产品其他部件位置尺寸进行测量，增强功能性，实用性大大提高。
- 一种快速定位
- [实用新型]一种石英小舟假接治具-CN202222475786.5有效
-
郑涛;许东华;周维忠;孔令新
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2022-09-19
-
2023-02-10
-
C03C27/06
- 本实用新型涉及石英小舟假接装置领域，公开了一种石英小舟假接治具，包括治具底座，所述治具底座上表面靠一侧边缘处固定设置有第一侧板定位座，所述治具底座上表面靠另一侧边缘处固定设置有第二侧板定位座，所述治具底座上表面中间处偏一侧边缘位置固定设置有第一槽棒定位支架，所述治具底座上表面中间处偏另一侧边缘位置固定设置有第二槽棒定位支架。本实用新型中，通过对该治具设置有治具底座，治具底座采用石墨材质制成，有利于保证治具整体的平整度，通过在治具底座上设置有第一侧板定位座和第二侧板定位座，有利于使用者进行加工时可以有效地控制侧板和基准侧板之间的距离，减小假接时的误差。
- 一种石英小舟假接治具
- [实用新型]一种小舟假接治具-CN202222584727.1有效
-
郑涛;方辉;李晓晨;冯寿合
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2022-09-28
-
2023-02-10
-
H01L21/673
- 本实用新型涉及石英舟类产品加工领域，公开了一种小舟假接治具，包括第一定位支架、四个产品槽棒、产品顶板和产品基准底板，所述第一定位支架的一侧靠下端固定设置有滑动轨，所述滑动轨的一端固定设置有第二定位支架，所述第一定位支架与第二定位支架的上端均固定设置有上固定板，两个所述上固定板之间相对的一侧均开设有定位槽，所述滑动轨的上端滑动设置有滑动板，所述滑动板的上端固定设置有治具底座，所述治具底座的上端固定有下橡胶垫。本实用新型中，提出的一种小舟假接治具，通过多个定位结构对产品的各个假接部位进行定位，降低了假接时的误差，提高了生产效率，减低了成本。
- 一种小舟假接治具
- [发明专利]一种环保喷砂设备-CN202110379561.7有效
-
吴辉;任佳鸣
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2021-04-08
-
2022-10-28
-
B24C1/08
- 本发明属于喷砂设备技术领域，具体涉及一种环保喷砂设备，包括机体、机门、喷砂机构和控制器；所述喷砂机构包括壳体、手柄和喷砂管；所述手柄靠近壳体的一端开设有通槽；所述通槽内设有拉杆；所述拉杆与壳体外壁铰接；所述壳体内部开设有空腔；所述空腔与壳体两端连通，空腔内滑动连接有通管；所述通管内壁开设有两个正对的一号凹槽；本发明通过滑块的设置，在推杆推动通管伸出空腔时，喷砂管喷出的砂能够在滑块的阻挡下，使得砂从通孔喷出，从而对零件凹槽的槽壁进行喷砂；且通过滑块和拉杆之间的配合，使得拉杆能够拉动滑块相互远离，使得通管打开，进而对零件凹槽的槽底进行喷砂，提高了该装置的实用性。
- 一种环保喷砂设备
- [发明专利]一种杆类零件加工定位装置-CN202210016449.1在审
-
孔令新;方辉;冯寿合
-
浙江泓芯半导体有限公司
-
2022-01-07
-
2022-05-10
-
B24B19/00
- 本发明公开了一种杆类零件加工定位装置，属于加工定位装置技术领域，包括机架，所述机架上设有第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件和所述第二支撑件均与所述机架滑动连接，所述第一支撑件的滑动方向与所述第二支撑件的滑动方向相互垂直，所述第一支撑件上设有用于固定杆类零件的第一固定组件，所述第二支撑件上设有用于固定杆类零件的第二固定组件，所诉第一支撑件的上端设有测量装置，所述测量装置包括用于测量杆类零件长度方向尺寸的测量尺和测量杆类零件表面粗糙程度的测量组件，所述测量尺与所述第一支撑件活动连接，所述测量组件与所述测量尺滑动连接。
- 一种零件加工定位装置
|
