“河西繁”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果64个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]探针装置-CN201880075345.X有效
发明人： 河西繁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供探针装置，对以矩阵状排列于载置台上的基片上的被检查芯片依次进行探针测试时，减轻对作为检查对象的被检查芯片以外的被检查芯片的热负载。在与排列被检查芯片(100)的载置台(2)的载置面相反一侧，以能够对被检查芯片(100)的每一者设定的区域各自独立地进行加热的方式设置有多个LED单元(3)。而且，在检查被检查芯片(100)时，驱动上述多个LED单元(3)内、与要进行该检查的被检查芯片(100)的区域和该区域的周边区域之中至少进行该检查的被检查芯片(100)的区域对应的区域的LED单元(3)。因此，能够减轻对进行检查的被检查芯片(100)以外的被检查芯片(100)的热负载。
探针装置

[发明专利]检查装置-CN201880078170.8有效
发明人： 河西繁;赤池由多加;中山博之;藤泽良德 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置，其一边使光入射到形成于被检查体的摄像器件，一边使接触端子与该摄像器件的布线层电接触，来检测该摄像器件，摄像器件是从背面入射光的部件，该背面是与设置有布线层的一侧相反的一侧的面，该检查装置包括：载置台，其能够以与摄像器件的背面相对的方式载置被检查体，并由光透射材料形成；和光照射机构，其以将载置台间隔在中间的方式与被检查体相对地配置，具有面向被检查体的多个LED。
检查装置

[发明专利]温度控制装置、温度控制方法和检查装置-CN202080050723.6有效
发明人： 河西繁;小林将人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G05D23/19 文献下载
摘要：本发明的温度控制装置进行温度控制对象物的温度控制，并包括：加热机构，其具有对温度控制对象物进行加热的加热源；温度测量器，其测量温度控制对象物的附近温度；温度推算部，其利用对加热源供给的功率、对温度控制对象物供给的功率和附近温度，动态地推算温度控制对象物的温度；以及温度控制器，其基于温度控制对象物的推算温度，控制对加热源供给的功率来控制温度控制对象物的温度。
温度控制装置方法检查

[发明专利]加热装置和LED的控制方法-CN202111469650.7在审
发明人： 河西繁;森藤庆之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：本发明提供加热装置和LED的控制方法。加热装置包括：加热机构，其具有LED，能够用LED的光对加热对象体进行加热；LED控制部，其能够在电流不超过容许电流Imax的范围控制对LED供给的电功率；修正容许电流Imax的修正部；和测量LED的电压的电压测量部，容许电流Imax是根据预先获取的LED的电流‑光输出特性中的光输出相对于电流线性变化的电流带而设定的，修正部基于向LED供给修正用的容许电流Imax后向LED供给推算用电流Ie时的电压测量部的测量结果，推算供给容许电流Imax时的LED的结温Tjm，在结温Tjm超过与容许电流Imax对应的容许结温Tmax的情况下，对容许电流Imax进行修正。
加热装置 led 控制方法

[发明专利]电源和检查装置-CN202111429458.5在审
发明人： 河西繁;藤井郁也 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H05B1/02 文献下载
摘要：本发明提供高效且低噪的电源和检查装置。本发明的电源对加热机构供电，该加热机构用于加热能够产生测量信号的测量对象，电源包括：输入部，其用于进行输入信号的输入，该输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号；和开关放大部，其利用开关电路将从输入部输入的信号放大并输出。
电源检查装置

[发明专利]检查装置的控制方法和检查装置-CN202111434567.6在审
发明人：阿川裕晃;小林将人;河西繁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明提供提高被检查体的温度控制性的检查装置的检查方法和检查装置。检查装置的控制方法中，上述检查装置包括：载置被检查体的卡盘；对上述被检查体供给电功率而对上述被检查体进行检查的测试器；和控制上述卡盘的温度的控制部，在上述检查装置的控制方法中，在不能进行上述被检查体的实际温度的反馈时，基于上述被检查体的发热量，推算上述卡盘的温度与上述被检查体的温度的温度差，基于上述被检查体的目标温度和上述温度差，修正上述卡盘的目标温度，基于修正后的上述卡盘的目标温度和上述卡盘的实际温度，控制上述卡盘的温度。
检查装置控制方法

[发明专利]载置台、检查装置和检查方法-CN202111212812.9在审
发明人： 河西繁;太田智浩 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种载置台、检查装置和检查方法。本发明的载置台，其上表面载置处理对象的器件，包括：具有所述器件的载置面的顶板；对所述顶板进行加热的加热单元；多个温度传感器，其在俯视时的所希望的测量位置获取所述顶板的温度；和定位单元，其与所述温度传感器电连接，将所述温度传感器定位在俯视时的所述测量位置，所述定位单元由具有挠性的柔性电路板构成。根据本发明，能够在不降低检查装置中的载置台的构造上的强度的同时，减小检查对象的器件的实际温度与由温度传感器测量的上述器件的测量温度之间产生的差。
载置台检查装置方法

[发明专利]载置台和电子器件测试装置-CN201780072416.6有效
发明人： 河西繁;藤泽良德 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制成本升高的电子器件测试装置。探针台(10)包括用于载置载体(C)或晶片(W)的载置台(11)，该载置台(11)包括用于载置载体(C)的载置台盖(27)、与该载置台盖(27)抵接的冷却单元(29)、和隔着载置台(27)和冷却单元(29)与载体(C)相对配置的LED照射单元(30)，载置台盖(27)和冷却单元(29)由透光材料构成，可透光的冷却介质在冷却单元(29)的冷却介质流路(28)中流动，LED照射单元(30)包括面向载体(C)发光的多个LED(32)，载体(C)由大致圆板形的玻璃基片(24)构成，多个电子器件(25)彼此隔着规定的间隔配置在载体(C)的表面。
载置台电子器件测试装置

[发明专利]载置台的温度调节方法和检查装置-CN202110726775.7在审
发明人： 河西繁;中山博之;赤池由多加;小宫弘晃;加藤仪保 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供一种载置台的温度调节方法和检查装置。所述载置台的基片载置面被划分为多个区域，对多个区域分别设置有加热器，温度调节方法包括：对多个区域中的与检查对象器件对应的主区域的加热器进行反馈控制，以使该主区域的温度成为设定温度的步骤；和控制基片载置面上的多个区域中与主区域相邻的副区域的加热器的步骤，在控制副区域的加热器的步骤中，在主区域的温度没有发生过冲的情况下，控制副区域的加热器以使主区域与副区域的温度差成为规定值，在主区域的温度发生过冲的情况下，控制副区域的加热器以使设定温度与副区域的温度之差成为规定值。根据本发明，能够不使载置台发生翘曲地提高载置台所实现的来自检查对象器件的吸热性能。
载置台温度调节方法检查装置

[发明专利]载置台的温度调节方法、检查装置和载置台-CN202080034905.4在审
发明人： 河西繁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：本发明提供载置台的温度控制方法，其为进行能够载置基片的载置台的温度控制的方法，上述载置台的基片载置面被划分为多个区域，对上述多个区域分别设置加热器，上述载置台的温度控制方法包括以下步骤，即：对上述基片载置面中的上述多个区域中的最中心的区域，进行调节该最中心的区域的上述加热器的操作量以成为设定温度的反馈控制；和对上述基片载置面中的上述多个区域中的比上述最中心的区域靠外侧的区域，进行调节该外侧的区域的上述加热器的操作量，以使得该外侧的区域与和该外侧的区域的径向内侧相邻的区域的温度差成为预先设定的值的反馈控制。
载置台温度调节方法检查装置

[发明专利]载置台和载置台的制作方法-CN202080033045.2在审
发明人： 河西繁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-05-01 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供能够载置检查对象体的载置台，其包括：能够在表面载置上述检查对象体的顶板部；流路形成部件，其安装在上述顶板部的背面，并在其与上述顶板部之间形成供可透射光的致冷剂流动的致冷剂流路；和光照射机构，其以与载置于上述顶板部的上述检查对象体隔着上述流路形成部件相对的方式配置，并具有面向该检查对象体的多个LED，上述流路形成部件由可透射光的玻璃构成，上述顶板部由硅构成。
载置台制作方法

[发明专利]加热器的温度控制方法、加热器和载置台-CN202080009533.X在审
发明人： 河西繁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：一种加热器的温度调节方法，所述加热器包括：由半导体基片构成的1片板状部件；和在所述一片板状部件的侧面，在圆周方向上隔开间隔形成的三个以上的电极，该温度调节方法包括：在所述电极与其他的所述电极之间通电，并依次切换要通电的所述电极的组，来对所述板状部件进行加热的工序，其中，所述加热的工序中的电极间的通电时间，是按每个所述电极的组而设定的。
加热器温度控制方法载置台

[发明专利]仿真晶片-CN202110174227.8在审
发明人： 河西繁;赤池由多加;加藤仪保;中山博之;小宫弘晃 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明提供可获取表示对形成于硅晶片的电子器件的发热所引起的温度分布进行了模拟的温度分布的红外线图像的技术。本发明提供一种仿真晶片，其包括：面状加热器；和夹持上述面状加热器的铝合金制、铝制或者碳化硅制的一对板状部材。
仿真晶片

[发明专利]检查装置和温度控制方法-CN201980032631.2在审
发明人： 河西繁;藤泽良德 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的检查装置包括：能够载置形成有电子器件的基片载置台，其中，与基片侧相反的一侧由光透射材料形成，并且具有供可透射光的致冷剂流过的致冷剂流路；光照射机构，其以与载置台的跟基片侧相反的一侧对置的方式配置，具有面向基片的多个LED；和控制部，其控制由该致冷剂进行的吸热和由LED进行的加热，控制作为检查对象的电子器件的温度，该控制部具有：温度信息获取部，其获取检查对象的温度的信息；加热控制部，其通过基于当前检查对象的温度的闭环控制，进行LED对检查对象的加热的控制；吸热控制部，其基于过去的检查中的电子器件的温度的变迁，推断下次检查时对检查对象施加的电功率的变迁，通过基于推断出的电功率的变迁的开环控制，进行下次检查时的致冷剂从检查对象的吸热的控制。
检查装置温度控制方法

[发明专利]检查装置-CN201980015484.8在审
发明人： 河西繁;小林将人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-02-19 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置，其使接触端子与电子器件电接触而检查该电子器件，该检查装置包括：载置台，其在内部具有供光可透射的致冷剂流通的致冷剂流路，该载置台的与被检查体的载置侧相反的一侧由光透射材料形成；光照射机构，其被配置成面对该载置台的与被检查体的载置侧相反的一侧的面，并具有面向被检查体的多个LED；以及控制部，其控制用致冷剂进行的吸热和用来自该LED的光进行的加热，以控制作为检查对象的电子器件的温度，该控制部基于所测量出的作为检查对象的电子器件的温度，来控制来自该LED的光输出，并且基于该LED的光输出来控制用致冷剂进行的吸热。
检查装置

1
2
3
4
5
下一页»
尾页
共 64 条