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[实用新型]一种TMAH废液浓缩处理设备-CN202320421356.7有效
发明人：刘颂军;孙炜;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;孟鹏;秦龙;汪武平 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种TMAH废液浓缩处理设备，属于废液浓缩处理领域，以解决不便对提纯装置内的气体处理问题，包括装置外壳，所述装置外壳上固定连接有防护壳，所述装置外壳上固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮上固定连接有中空转轴，所述中空转轴转动连接在装置外壳上。本申请通过设置的输送管，泵体通过输送管上的多个吸气管对装置外壳内的有害气体进行吸取，吸取时通过输送管输送到滤箱中，然后通过滤箱中的滤板与活性炭板充分对气体中的有害物质进行过滤处理，然后在通过排气管排入装置外壳中，进行气体循环过滤，避免有害气体发生泄露污染环境。
一种 tmah 废液浓缩处理设备

[发明专利]一种四甲基氢氧化铵显影废液的回收方法-CN202211349872.X在审
发明人：刘颂军;孙炜;孙小侠;汪武平;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军;孟鹏;杨杰 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种四甲基氢氧化铵显影废液的回收方法，涉及四甲基氢氧化铵回收技术领域。本发明是将四甲基氢氧化铵显影废液先静置过滤后加入酸性试剂处理，再加入硫酸继续处理，再加入氯化钡后形成硫酸钡沉淀以及四甲基氢氧化铵溶液，再调整pH值至碱性后，通过离子交换树脂，得到四甲基氢氧化铵水溶液，浓缩至合适浓度后进行再次使用。本发明的处理方法具有操作简单、成本低的特点，同时还可以回收得到四甲基氢氧化铵。
一种甲基氢氧化铵显影废液回收方法

[实用新型]一种防泄漏效果好的TMAH提纯装置-CN202223543812.X有效
发明人：刘颂军;孙炜;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;孟鹏;秦龙;汪武平 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： F25B21/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种防泄漏效果好的TMAH提纯装置，属于TMAH技术领域，以解决TMAH提纯装置散热效果不能够精确调节，不具备调节散热性能的同时保证密封的问题，包括底板，所述底板的上方固定设置有散热网板，底板的表面安装有阴极，底板上安装有外壳，外壳的上安装有导热板，底板的周围转动安装有转轴，所述转轴的外侧固定安装有半导体制冷片，转轴的顶部固定设置有同步轮，同步轮的外侧安装有同步带，散热网板的上方设置有顶盖，顶盖的下方转动连接有密封垫，顶盖的中间安装有阳极。本申请不仅能够改变装置各个位置的散热效果，而且能够在调节散热效果的同时保持整体始终处于密封状态，实现了防泄漏功能。
一种泄漏效果 tmah 提纯装置

[发明专利]一种TMAH系各向异性硅蚀刻液及其制备方法-CN202211705660.0在审
发明人：刘颂军;孙炜;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;孟鹏;秦龙;汪武平 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C09K13/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种TMAH系各向异性硅蚀刻液及其制备方法，涉及蚀刻液技术领域，由以下成分制成：四甲基氢氧化铵、碱金属氢氧化物、多元醇、羟基喹啉、儿茶酚、四氟硼酸钠、表面活性剂、活性添加助剂、氟化氢铵、纯水；本发明制备TMAH系各向异性硅蚀刻液，相较于常规蚀刻液，不仅具有较高的蚀刻速率，同时，大幅度的改善了对硅片的蚀刻质量，提高了加工效率，缩短了加工周期。
一种 tmah 各向异性蚀刻及其制备方法

[发明专利]一种光刻胶喷涂设备-CN202210578943.7有效
发明人：刘颂军;孙炜;冯亚楠 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B05B7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻胶喷涂设备，涉及半导体生产领域，该喷涂设备包括喷涂机架、托盘和喷涂组件；所述喷涂组件包括喷涂头组件、料箱、料泵和承托驱动机构，所述喷涂头组件包括外壳体、旋转雾化件和导液细管，所述承托驱动机构包括支托架、支托滑轨、六棱柱和驱动件，所述支托架固定在喷涂机架上且六棱柱转动设在支托架上，六棱柱的外壁上设置有多组齿条且每组齿条的齿间距不同，所述支托滑轨设在支托架侧部且支托滑轨上设有在其上滑动的承托件，所述旋转雾化件的外壁上具有与其中一组齿条相啮合的外齿轮。本发明结构简单，能够雾化光刻胶喷涂并调节光刻胶的雾化及喷涂速度，喷涂均匀且便于操作。
一种光刻喷涂设备

[实用新型]一种直流降膜式旋风除雾器-CN202222610936.9有效
发明人：刘颂军;孙炜;孙小侠;汪武平;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军;孟鹏;杨杰 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B01D53/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直流降膜式旋风除雾器，包括筒体，筒体的下部中间设置有进气口并沿进气口对称的设置有两个出水口；筒体内部在所述进气口的上方沿周向均匀设置有多个旋风板，各旋风板的一端与所述筒体的周壁固定连接，多个所述旋风板的另一端共同的与芯轴固定连接；所述筒体的周壁内部在靠近多个所述旋风板的部位开设有进水腔，各旋风板的内部开设有换热腔，所述芯轴的内部开设有出水腔，各换热腔的两端分别与所述进水腔和所述出水腔相连通，所述进水腔与外部的进水管相连通，所述出水腔与延伸至所述筒体外部的出水管相连通。本实用新型一方面促进烟气中水蒸气的凝结，提高雾气分离效率，另一方面使冷却水升温实现对烟气的余热回收。
一种直流降膜式旋风

[实用新型]一种可进行余热利用的节能型精馏塔-CN202222290442.7有效
发明人：刘颂军;孙炜;孙小侠;汪武平;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可进行余热利用的节能型精馏塔，包括精馏塔本体和余热回收筒，所述精馏塔本体上部的蒸气出口通过蒸气供给管与所述余热回收筒相连通；所述余热回收筒的底板上固定设置有过水筒，所述过水筒靠近下端的部位固定设置有与其相连通的排水管，所述过水筒的上端与固定设置于所述余热回收筒内部的集液斗的下端相连通；所述蒸气供给管贯穿所述过水筒并延伸至所述集液斗的上方，所述蒸气供给管位于所述集液斗上方的一端为闭口结构且外周与出气管相连通；所述余热回收筒的内部在所述出气管的上方固定设置有一个螺旋状的换热管。本实用新型通具有较长的换热行程可有效吸收高温蒸气的热量，提高精馏塔余热回收效率。
一种进行余热利用节能型精馏塔

[实用新型]一种安全防爆型反应物料储罐-CN202222767667.7有效
发明人：刘颂军;孙炜;孙小侠;汪武平;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军;孟鹏;杨杰 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B65D90/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种安全防爆型反应物料储罐，包括罐体、设置在所述罐体的内顶壁的过滤槽、设置在所述罐体的外顶部且位于所述过滤槽正上方的支撑罩、限位设置在所述支撑罩内的外排气支座、设置在所述外排气支座底部的排气套筒、以及用于密封连通所述排气套筒与所述过滤槽的排气管。本申请中通过在罐体的顶部安装泄压排气设备，其中所述排气管内带压气体进入排气套筒内，并随着气压升高将克服压紧弹簧的弹力，并将所述排气套筒和外排气支座抬升，最终所述外排气孔高于水平排气孔时，完成泄压动作，从而保证罐体内气压处于安全范围，避免剧烈漏气和爆炸现象发生。
一种安全防爆反应物料

[实用新型]一种耐高温耐腐蚀型双法兰差压变送器-CN202222365121.9有效
发明人：刘颂军;孙炜;孙小侠;汪武平;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G01L13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐高温耐腐蚀型双法兰差压变送器，包括变送器本体、软管、设置在所述软管端部的法兰盘，在所述安装槽内且位于所述棘轮的上方设置有一铰接座，其中在所述铰接座上可转动地设置有杠杆调节臂，所述杠杆调节臂的下端设置有与所述棘轮啮合的限位钩，在其中部安装有调节所述杠杆调节臂下端向所述棘轮偏转的回位簧，其中所述杠杆调节臂的顶部延伸出所述安装槽的外部。本申请中通过在变送器本体的底部安装两个可限位收纳软管的安装槽，在安装槽安装通过带有棘轮的转筒，并利用卷簧对转筒进行调节，同时可以通过杠杆调节臂对棘轮进行限位，从而便于根据需求拉出适用长度的软管，并且便于软管的快速回收。
一种耐高温腐蚀法兰变送器

[发明专利]一种安全节能型化工精馏塔-CN202211165327.5在审
发明人：刘颂军;孙炜;孙小侠;汪武平;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军;孟鹏 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B01D3/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种安全节能型化工精馏塔，包括精馏塔体、设置在所述精馏塔体顶部的冷凝器、设置在所述精馏塔体中部的填料层、以及设置在所述精馏塔体底部的加热器；其中所述换热器为壳体结构，其中在所述换热器内布置有分别连通所述出液管和所述进液管的环绕管，并在其壳体结构内输送有换热工质，并将经过加热后的该部分换热工质补充入所述精馏塔体的底部或引入支路水箱进行综合利用。本申请中通过在位于冷凝器进出端的换热管道上分别安装多个流量传感器和温度传感器，通过根据控制器对比设定检测，及时检测泄漏和填料层堵塞的问题，另外本申请中利用换热器将对冷却油的热量进行部分回收，便于起到能量的综合利用。
一种安全节能型化工精馏塔

[实用新型]一种高效节能的四甲基氢氧化铵提纯反应釜-CN202221892632.X有效
发明人：刘颂军;孙炜;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效节能的四甲基氢氧化铵提纯反应釜，包括壳体、电动机、减速箱、第一轴、第一搅拌叶片、第二轴和第二搅拌叶片，壳体上设置有上盖，壳体的内腔内可转动的设置有第一轴，第一轴的下端设置有第一搅拌叶片，第一轴的上端穿过上盖后与减速箱连接；第二轴为空心轴，第二轴可转动的设置在第一轴上，第二轴的周面上设置有第二搅拌叶片，第二轴的上端穿过上盖后与减速箱连接；电动机设置在上盖上，电动机的输出轴与减速箱连接。本实用新型高效节能的四甲基氢氧化铵提纯反应釜结构简单，搅拌效率高，具有加热功能，有效解决了现有的提纯反应釜通常较为笨重，能耗较高，提纯效率低的问题。
一种高效节能甲基氢氧化铵提纯反应

[发明专利]一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法-CN202211191012.8在审
发明人：刘颂军;孙炜;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：本发明涉及显影液技术领域，具体涉及一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法，该显影液包含四甲基氢氧化铵和水，该显影液还包含复合表面活性剂和复合凝胶微球；所述复合凝胶微球占所述显影液的质量百分数为0.3‑0.6％；所述显影液中，四甲基氢氧化铵的浓度为2.1‑2.8wt％。本发明中的显影液，具有较低的表面张力，在对产品进行显影后，显影液几乎不会附着在产品表面，从而方便后续的清水冲洗，使得产品上不会形成斑点，提升了产品的品质；而且，该显影液在使用后，产生的废液可以在生化处理时加快微生物的富集，从而提高了降解效率，使得显影液废液不会对环境造成影响，符合环保要求。
一种芯片集成电路甲基氢氧化铵显影液及其制备方法

[实用新型]一种便于四甲基氢氧化铵加工用高效过滤装置-CN202221893188.3有效
发明人：刘颂军;孙炜;冯亚楠;许光;贾成林;金旭;郭双环;秦龙;李燕军 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B07B1/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于四甲基氢氧化铵加工用高效过滤装置，包括壳体、顶板、筛板和凸轮，所述壳体的顶端设置有顶板，所述顶板上设置有入料斗，所述壳体的内壁上设置有筛板安装框，所述筛板安装框上通过立柱可上下滑动的设置有筛板，所述筛板的上表面与所述立柱上端的限位环之间设置有弹簧，所述筛板的中间位置的下端设置有凸轮，所述凸轮通过凸轮轴承安装座设置在凸轮支撑柱上，所述凸轮支撑柱焊接在所述壳体的底面上，所述凸轮的侧面设置有驱动装置。本实用新型便于四甲基氢氧化铵加工用高效过滤装置结构简单，功能实用，有效解决了解决现有的过滤装置结构复杂，震动频率低，故障率高，限制了过滤效率的问题。
一种便于甲基氢氧化铵工用高效过滤装置

[发明专利]一种光刻胶组合物-CN201910726600.9有效
发明人：刘颂军 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻胶组合物，包括：有机胺有机硅双重改性酚醛树脂10‑20份，丙烯酸酯改性环氧树脂5‑10份，甲基丙烯酸共聚树脂5‑10份，抗收缩剂3‑5份，三(2,3‑二溴丙基)异氰酸酯0.5‑1.0份，光活性剂2‑5份，附着力促进剂0.3‑0.8份，有机硅流平剂0.2‑0.6份，添加剂0.1‑0.3份和溶剂15‑25份；其中，所述抗收缩剂为具有核壳结构的改性纳米二氧化钛。本发明提供的光刻胶，选择改性酚醛树脂和丙烯酸酯改性环氧树脂搭配碱溶性树脂作为成膜物质，协同具有核壳结构的改性纳米二氧化钛，使得光刻胶兼具粘附性好、灵敏度高、分辨率好以及抗蚀性能优异等多重优点，具有较高的实用价值。
一种光刻组合

[发明专利]一种四甲基氢氧化铵催化热塑材料及其制备方法-CN202010814115.X有效
发明人：刘颂军;孙炜;贾成林 -专利权人： 沧州信联化工有限公司
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C08F8/08 文献下载
摘要：本申请提供了一种四甲基氢氧化铵催化热塑材料及其制备方法。本发明针对热塑性弹性材料，以H2O2作为环氧化试剂，并且以四甲基氢氧化铵作为相转移催化剂，催化对热塑性弹性材料的环氧化反应，从而提高环氧化反应速度，增大热塑材料与极性材料的相容性，改善热塑性材料的韧性和强度。
一种甲基氢氧化铵催化材料及其制备方法

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