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[发明专利]一种用于阳极键合的加热结构-CN202310819063.9在审
发明人：曲绍芬;杨建川;高光伟;辛岩 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于阳极键合的加热结构，包括：用于承载物料的承物台和陶瓷加热盘；承物台底部设置有带护边的沉孔，陶瓷加热盘置于沉孔中，陶瓷加热盘顶部端面与承物台沉孔上端面紧密贴合，承物台底部设置有隔热板用于承载陶瓷加热盘；陶瓷加热盘内置电热丝或者电热片进行加热；隔热板(有效的控制陶瓷加热盘热量向下辐射、造成能量损耗；)、陶瓷加热盘和承物台设置有由下至上开设的用于装配定位的定位孔和用于热电偶插入的热偶插孔(内部插入热电偶对温度进行精准检测，便于控制加热盘加热，能有效地对加热过程进行精准控制)。
一种用于阳极加热结构

[发明专利]一种低电压高功率加热盘-CN202310819062.4在审
发明人：曲绍芬;杨建川;辛岩;高光伟 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2023-07-05 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H05B3/54 文献下载
摘要：本发明提供一种低电压高功率加热盘，所采用的加热基体为碳化硅陶瓷，加热采用加热丝加热，该加热丝嵌入在加热基体内部；加热丝为低电阻电热丝；加热基体采用碳化硅陶瓷，该种碳化硅陶瓷具有高的抗弯强度、优良的抗氧化性、良好的耐腐蚀性、高的抗磨损以及高温力学性能，加热电源采用低电压且应具有较高加热功率，加热丝以特殊的方式预先排列(根据实际加热功率需求以及加热基体的装配需求进行有间隔排布)在陶瓷基体内，设定好临近加热丝的间隙，避免因热膨胀时的开裂现象，还应保证热传导的均匀性，最后一体热压成型；该陶瓷加热盘具有较好的机械加工性能。
一种电压功率加热

[发明专利]一种用于制备泡沫合金的熔炼时效一体炉-CN201811053242.1有效
发明人：陈正伟;步怀立;高光伟;刘舒;于德军 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C22C1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制备泡沫合金的熔炼时效一体炉，涉及泡沫合金制造技术领域，其包括总制备室、熔炼系统、搅拌系统、可移动时效炉系统、充放气系统、加料系统以及真空系统，熔炼系统设置于总制备室内，搅拌系统固定于总制备室的顶部，可移动时效炉系统可移动地设置于总制备室内的底板上，充放气系统和真空系统设置于总制备室外，且两个系统均与总制备室连接。本发明提供熔炼时效一体炉，实现了熔炼、时效在同一设备内完成的目的，接解决了转场过程浪费时间和能源的问题，搅拌系统使气泡分布均匀，充放气系统保持总制备室内的气压，在时效保温、冷却过程中避免气泡逸出。
一种用于制备泡沫合金熔炼时效一体

[实用新型]一种高温真空炉的电极绝缘结构-CN202320636506.6有效
发明人：曲绍芬;杨建川;高光伟;刘舒 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： F27D11/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及高温真空炉技术领域，特别涉及一种高温真空炉的电极绝缘结构。包括石墨电极、隔热层、加热室外壳及电极固定组件，其中加热室外壳的内壁设有隔热层，加热室外壳和隔热层上设有同轴的贯穿孔，石墨电极穿过该贯穿孔，石墨电极与贯穿孔之间留有绝缘间隙；电极固定组件设置于加热室外壳的外侧，电极固定组件用于将石墨电极固定在加热室外壳上。本实用新型采用特殊间隙绝缘方式，达到非常好的绝缘效果，同时本实用新型结构简单且实用，成本低，适用于在1800度以上状态的高温真空炉下使用。
一种高温真空炉电极绝缘结构

[实用新型]一种石墨加热真空炉绝缘结构-CN202223007007.5有效
发明人：曲绍芬;杨建川;高光伟 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：本实用新型提供一种石墨加热真空炉绝缘结构，包括：热态绝缘部，冷态绝缘部以及石墨支撑柱；热态绝缘部为管状结构，且套置于石墨发热体上；石墨支撑柱下端与热态绝缘部外缘间隙配合，石墨支撑柱上端的杆体部分贯穿隔热层和加热室外壳上端端部通过固定座与加热室外壳可拆卸固定装配；冷态绝缘部为管状结构，套置于石墨支撑柱的杆体部分上，冷态绝缘部阻隔覆盖区域至少包括隔热层和加热室外壳部分；通过这种结构的设计实现了更为可靠的支撑的同时也极大的方便了维修。
一种石墨加热真空炉绝缘结构

[发明专利]一种阳极键合装置-CN202211426132.1在审
发明人：曲绍芬;段文宽;高光伟;辛岩 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种封装键合装置包括，封装工作台，封装工作台的内部固定安装有真空系统，封装工作台上固定安装有位于真空系统一侧的翻盖机构，封装工作台顶端的一侧固定安装有与真空系统相连的真空室，封装工作台顶端的另一侧固定安装有多层声光报警器，封装工作台顶端的中部滑动连接有可移动触控屏，真空室包括上腔组件、下腔组件、O型密封圈、下壳、上壳、上引出电极、平垫圈、观察窗和带孔活动板，本发明该阳极键合设备可实现除取片和上片过程的全自动键合，减少制备硅‑玻璃阳极键合器件所需时间，一定程度上加快了生产速度。
一种阳极装置

[发明专利]一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机-CN202111562747.2有效
发明人：巴德纯;黄豫兴;曲绍芬;杨建川;刘坤;王桂鹏;谢元华;高光伟;于德军;刘舒;步怀立 -专利权人：东北大学;沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： F04D17/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。
一种具有出口调节结构离心风机

[实用新型]一种真空蒸发提纯设备-CN202122568706.6有效
发明人：步怀立;高光伟;辛岩;马瑞;付秀华 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多温度段真空蒸发提纯设备，涉及提纯技术领域，包括炉体、坩埚、多个加热室和结晶器，坩埚、多个加热室和结晶器位于炉体内，多个加热室沿炉体的高度方向排列，结晶器位于相邻的两个加热室之间，并且结晶器连通相邻的两个加热室，沿炉体内从下到上的方向，多个加热室的加热温度从高到低排列，坩埚位于炉体底部的加热室内。蒸气经过炉体底部的加热室加热后在第一个结晶器进行结晶，然后再进入上方的下一个加热室和结晶器，各个加热室的加热温度不同，各个结晶器的温度不同，通过多温度段加热和多个结晶器实现不同蒸发物在不同位置的结晶收集。
一种真空蒸发提纯设备

[实用新型]一种智能化可移动保护进料手套箱-CN202122610053.3有效
发明人：于德军;鲍忠凯;刘舒;马瑞;于洋;高光伟 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： B25J21/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种智能化可移动保护进料手套箱，包括箱体、电控柜、驱动轮组、激光测距仪以及位置传感器。箱体上设有位置传感器，激光测距仪安装在箱体的顶部，且激光测距仪的感应方向朝向箱体的前侧。驱动轮组安装在箱体的底部，电控柜固定在箱体上，且电控柜内设有PLC控制器。驱动轮组、激光测距仪以及位置传感器分别与PLC控制器电气连接，使PLC控制器将激光测距仪和位置传感器感知的信号，传递给驱动轮组，并控制箱体的移动速度和水平位移。本实用新型采用伺服电机驱动移动平台，以控制箱体的移动速度和水平位移，进而利用激光测距仪、位置传感器感知等实现与真空烧结炉的炉号自动选择和对接模式，大大提高了生产效率，节约了成本。
一种智能化移动保护进料手套

[实用新型]一种真空炉用磁力搭接结构-CN202122351089.4有效
发明人：步怀立;高光伟;辛岩;马瑞;刘舒 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： F27D3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空炉用磁力搭接结构，包括磁力吸盘和操作手柄，其中，所述操作手柄与所述磁力吸盘连接，通过所述操作手柄的状态可控制所述磁力吸盘的磁力打开或者关闭，所述磁力吸盘设置于外部料车朝向内部料车的外壁上。真空炉用磁力搭接结构方便于真空双室油淬炉的外部料车和内部料车的对接，有利于人工操作，提高工作效率。需要外部料车和内部料车对接时，将磁力吸盘贴合在外部料车朝向内部料车的外壁上，扳动操作手柄，生成磁场，靠磁力吸附完成对接；需要外部料车和内部料车分离时，复位操作手柄，消除磁场，外部料车和内部料车脱开。
一种真空炉磁力结构

[实用新型]一种真空设备炉门旋转铰链的自动限位结构-CN202122365257.5有效
发明人：高光伟;步怀立;于洋;辛岩;刘舒;马瑞 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： E05D7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空设备炉门旋转铰链的自动限位结构，包括定位销、定位环、第一弹簧、旋拧部和保护套；其中，所述定位销高度方向上的设有凸起部，所述定位销的底部设有尖头部，所述第一弹簧套设于所述定位销上，并位于所述凸起部的上方，所述定位环安装于炉门上，所述定位环上设有定位孔；所述旋拧部可转动地设置于所述定位销的上端，所述保护套设置于所述第一弹簧的外表面，并位于所述旋拧部的下方；在炉门转动过程中，在所述旋拧部的作用下，所述第一弹簧发生压缩变形，所述尖头部在所述第一弹簧的作用下沿着所述定位环的表面移动，当所述尖头部移动到所述定位孔的位置时，所述尖头部插入所述定位孔中，实现定位。
一种真空设备炉门旋转铰链自动限位结构

[发明专利]一种真空热处理炉-CN202111308247.6在审
发明人：步怀立;高光伟;辛岩;刘舒;付秀华 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F27B9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空热处理炉，涉及热处理炉技术领域，包括炉体和多个加热装置，炉体的内部具有加热室，加热装置位于加热室的上侧、加热室的前侧、加热室的后侧、加热室的左侧、加热室的右侧和加热室的下侧。加热室的前、后、左、右四个面和上下两个面分别设有加热装置，加热室一共有六个加热面，对加热室内的工件进行六面加热，热处理过程中使工件受热均匀，并且提高加热速度。
一种真空热处理

[发明专利]一种真空蒸发提纯设备-CN202111243418.1在审
发明人：步怀立;高光伟;辛岩;马瑞;付秀华 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多温度段真空蒸发提纯设备，涉及提纯技术领域，包括炉体、坩埚、多个加热室和结晶器，坩埚、多个加热室和结晶器位于炉体内，多个加热室沿炉体的高度方向排列，结晶器位于相邻的两个加热室之间，并且结晶器连通相邻的两个加热室，沿炉体内从下到上的方向，多个加热室的加热温度从高到低排列，坩埚位于炉体底部的加热室内。蒸气经过炉体底部的加热室加热后在第一个结晶器进行结晶，然后再进入上方的下一个加热室和结晶器，各个加热室的加热温度不同，各个结晶器的温度不同，通过多温度段加热和多个结晶器实现不同蒸发物在不同位置的结晶收集。
一种真空蒸发提纯设备

[实用新型]一种储氢材料真空热处理炉-CN202022868095.2有效
发明人：高光伟;于洋;马瑞;刘舒;辛岩 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2020-12-03 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种储氢材料真空热处理炉，包括炉壳、加热组件、真空单元、充放气单元、风冷单元、水冷单元以及电控单元，加热组件设置在炉壳内，包括隔热层、加热器及工件支撑，所述隔热层于炉壳内围设成六面体结构，使隔热层与炉壳之间形成用于降温的冷却区域，且隔热层的内部形成加热室，在加热室的六个面上均布置有单独温控的加热器，以构成六个加热区，所述工件支撑固定在加热室内，以供工件放置，真空单元、充放气单元、风冷单元、水冷单元以及电控单元都分别与炉壳固定连接。本实用新型将炉内整个加热室设计为六个加热区，并单独控温，从而保证设备的温度均匀性好。
一种材料真空热处理

[实用新型]一种晶圆级真空键合装置-CN202022979904.7有效
发明人：曲绍芬;陈正伟;辛岩;付秀华 -专利权人： 沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆级真空键合装置，包括真空抽取装置、真空室、控制柜、升降装置、封接装置上部、封接装置下部、发热平台、发热元件和测温热电偶，封接装置安装在真空室内，真空室与真空抽取装置连接，升降装置安装在真空室上，发热平台安装在封接装置下部上，封接装置上部通过升降装置与封接装置下部连接，发热元件安装在发热平台上，测温热电偶与发热元件电连接，封接装置、真空抽取装置、升降装置、测温热电偶和发热元件均与控制柜内的控制器电连接，测温热电偶安装在真空室上；本实用新型属于真空设备技术领域，本实用新型的目的在于解决现有技术中封接操作困难的问题。达到的技术效果为：此装置可有效的实现硅片与玻璃的整体封接。
一种晶圆级真空装置

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