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[发明专利]半自动真空抛光头贴片机-CN202111324506.4有效
发明人：汪佳;陈冬冬;王慧;王建军;孙固;王晓明;沈文雷;钱焰 -专利权人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种半自动真空抛光头贴片机，包括：真空贴片箱；下柜体；下模组组件，下模组组件上放置有支撑片；上模组组件，上模组组件上安装抛光头，上模组组件和下模组组件上下同轴设置于真空贴片箱内；真空组件，真空组件安装于下柜体中，真空组件与真空贴片箱连通，真空组件用于对真空贴片箱抽真空；动力组件，用于为上模组组件上下运动提供动力，动力组件与上模组组件连接；定位系统，定位系统包括定位组件，定位组件用于对下模组组件进行定位以调整下模组组件相对上模组组件的同轴度。本发明贴片过程在真空密封腔体内进行，贴片后无气泡，抛光头和下模组同轴度高，通过气缸驱动，输出力较强，省去人工按压时间。
半自动真空抛光头贴片机

[实用新型]用于边缘抛光设备的保湿喷液装置-CN202123211735.3有效
发明人：胡金廷;沈文雷 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于边缘抛光设备的保湿喷液装置，所述保湿喷液装置位于所述边缘抛光设备的上方，所述保湿喷液装置包括：保湿机构，所述保湿机构限定出导液腔，所述保湿机构具有与所述导液腔连通的进液口和出液口，所述进液口设于所述保湿机构的一侧且适于与水源连通，所述出液口设于所述保湿机构的底壁；喷淋管，所述喷淋管设于所述保湿机构的侧壁，所述喷淋管与所述导液腔连通，所述喷淋管的自由端具有喷淋口，所述喷淋口的喷淋方向与所述出液口的喷淋方向不同。根据本实用新型的保湿喷液装置，既可以实现对移载搬运手臂和硅片进行保湿，又可以对缺角抛光机构进行清洗，有利于减少制程中的污染，保持良好的制程环境。
用于边缘抛光设备保湿装置

[实用新型]具有定位功能的单面抛光机上料托盘及上料提醒装置-CN202123349150.8有效
发明人： 沈文雷;邵晓东 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型公开一种具有定位功能的单面抛光机上料托盘及上料提醒装置，所述上料托盘包括背部限位板和底部承托板，限位板底部与承托板后部连接，所述承托板上表面前部左右两侧对应位置安装一用于定位片盒的定位块，两定位块相对侧对应位置开设有凹槽，凹槽与片盒前部开口处左右两侧延伸部底部的凸起部过盈配合，能够确保片盒准确地放置在上料位置上，避免机械手在取片时刮到片盒。所述提醒装置包括上述上料托盘，以及与抛光机相连的压力传感器和报警器，PLC控制器根据接收到的压力信息判断是否提醒工作人员上料或更换片盒，无需无需人工实时监管上料情况，有效地降低了工作人员的工作量，同时避免了上料托盘上无料的情况。
具有定位功能单面抛光机托盘提醒装置

[实用新型]铲刀组件、退料装置以及单面抛光机-CN202123340206.3有效
发明人：邵晓东;沈文雷 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铲刀组件、退料装置以及单面抛光机，所述铲刀组件包括：夹具，所述夹具包括在上下方向上排布的第一夹持件和第二夹持件，所述第二夹持件具有安装槽，所述第一夹持件和所述第二夹持件通过螺纹紧固件可拆卸地相连以封盖所述安装槽的敞开端；铲刀，所述铲刀包括连接板和刀体，所述连接板的一端伸入所述安装槽且抵接在所述第一夹持件和所述第二夹持件之间，所述连接板的另一端与所述刀体相连，所述连接板的上表面设有止挡部，所述止挡部适于与所述第一夹持件止挡配合。根据本实用新型的铲刀组件，铲刀组件的安装效率高，同时可避免铲刀使得晶圆背面划伤。
铲刀组件装置以及单面抛光机

[实用新型]过滤装置和具有其的抛光设备-CN202122718852.2有效
发明人：陈开鹰;沈文雷;胡金廷;夏发茗 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B01D29/31 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种过滤装置和具有其的抛光设备，过滤装置包括至少一个过滤单元，过滤单元包括：过滤器、抛光液供给管和冲洗液供给管，过滤器具有进液口、出液口和废液口，废液口位于过滤器的下部或底部，进液口连接有进液管，出液口连接有出液管，废液口连接有废液管；抛光液供给管的出口端和冲洗液供给管的出口端并联连接在进液管的远离进液口的一端，抛光液供给管上串接有抛光液供液阀和单向阀，冲洗液供给管上串接有冲洗液供液阀。根据本实用新型的过滤装置，通过在过滤装置中设置过滤器、抛光液供给管和冲洗液供给管，可以将抛光液中的杂质过滤，也可以对整个过滤装置进行冲洗，避免杂质堵塞过滤装置，延长过滤装置的寿命。
过滤装置具有抛光设备

[发明专利]浆料回收系统及其清洁方法-CN201910182531.X在审
发明人：祝涛;沈文雷 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： B24B55/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种浆料回收系统，用于半导体抛光工艺，包括：主体管路，所述主体管路依次连接浆料回收箱、回收单元以及浆料配料单元；第一支路，连接一液源与所述浆料回收箱，用于向所述浆料回收箱提供清洁液体；以及第一出口端，设置于所述主体管路上，并位于所述浆料配料单元与所述回收单元之间。本发明通过在所述第一支路通入清洁液体，使清洁液体经过所述浆料回收箱、回收单元以及主体管路，从而及时清洗掉所述主体管路以及所述浆料回收箱中的结晶浆料，清洁并疏通所述主体管路以及所述浆料回收箱，以减少晶圆表面的颗粒污染物以及降低晶圆表面被结晶浆料划伤的可能性；并且清洁液体从第一出口端排出，从而可以解决稀释和污染浆料的问题。
浆料回收主体管路清洁液体回收单元浆料支路结晶浆料晶圆表面配料单元出口端半导体抛光颗粒污染物依次连接清洁主体管划伤排出稀释箱中液源清洗疏通污染