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[发明专利]用于优化科里奥利陀螺仪的接通时间的方法以及适用于此的科里奥利陀螺仪-CN201580013817.5有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格 -专利权人：诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
申请日： 2015-01-27 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： G01C19/5726 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于优化具有质量系统(100)的科里奥利陀螺仪(1)的接通时间的方法，该质量系统能够平行于第一轴(x)被激发科里奥利陀螺仪(1)的激振，其中，该质量系统的基于科里奥利力的、沿垂直于第一轴(x)的第二轴(y)的位移能够借助科里奥利陀螺仪的输出信号检验，该方法包括检测定义的时间点上的科里奥利陀螺仪的激振的振幅(A)，检测定义的时间点(t_i)上的科里奥利陀螺仪的输出信号(S)，以及通过将测得的输出信号(S)乘以科里奥利陀螺仪的激振在稳态下的振幅(A₀)与测得的振幅(A)的商来生成科里奥利陀螺仪的归一化的输出信号(S₀)。
用于优化科里奥利陀螺仪接通时间方法以及适用于此

[发明专利]用于制造构件的方法和构件-CN201580006575.7有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格 -专利权人：诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
申请日： 2015-02-11 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造构件的方法，首先制造第一层复合体，其包括由导电材料制成的第一基底和至少一个构造在第一基底中并且填充有绝缘材料的沟槽，第一基底的第一区域至少在第一基底的第一表面上通过沟槽侧向与第一基底的其它区域电绝缘。接着制造第二层复合体，其包括第一层复合体和结构层。所述结构层具有构件的活动结构并且至少在第一区域中是导电的，结构层的第一区域在第一基底的第一区域中邻接第一基底的第一表面并且与之导电连接。然后，在第一基底的第二表面上——第二表面与第一表面相对置——在第一基底的第一区域中制出第一导电接触面，第一基底的第一区域在第一基底的第二表面上通过沟槽侧向与第一基底的其它区域电绝缘。借助该方法实现这样的构件，在其中借助第一基底的第一区域和第一接触面实现与结构层第一区域的电连接。
用于制造构件方法

[发明专利]用于制造构件的方法-CN201580006667.5有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格;尤维·布伦格;马丁·哈芬;冈特·斯帕林格 -专利权人：诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
申请日： 2015-02-11 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造构件的方法，首先制造第一层复合体，其包括结构层和填充有绝缘材料的沟槽，结构层至少在第一区域中是导电的。所述填充有绝缘材料的沟槽从结构层的第一表面起延伸并且设置在结构层的第一区域中。结构层的第一表面朝向第一层复合体的第一表面。此外该方法包括制造第二层复合体，其在第二层复合体的第一表面中包括第一凹部，以及连接第一层复合体与第二层复合体。第一层复合体的第一表面至少在区域中邻接第二层复合体的第一表面，并且填充沟槽设置在第一凹部的侧向位置中。在连接第一层复合体与第二层复合体后将第一层复合体的厚度从第一层复合体的第二表面起减少至填充沟槽的深度。第一层复合体的第二表面与第一层复合体的第一表面相对置。此外该方法还包括在结构层中制造构件的一个活动结构，所述活动结构具有两个第二区域，所述第二区域设置在结构层的第一区域中并且虽然彼此物理刚性连接，但却通过填充沟槽相互电绝缘。
用于制造构件方法

[发明专利]加速度传感器及其制造方法-CN201480025135.1有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格;朱利安·巴托洛迈奇克;彼得·莱因菲尔德 -专利权人：诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速度传感器，包括基板，其具有基板表面；以及采样块，其能够在与基板表面平行的第一方向(x)上而相对于基板移动。采样块具有梳状电极，该梳状电极能够与采样块一起移动并且具有在第一方向(x)上延伸的多个齿。加速度传感器还包括对电极，其固定连接至基板，对电极具有固定梳状电极，其中所述固定梳状电极具有沿与第一方向(x)相反的方向延伸的多个齿。可动梳状电极的齿与固定梳状电极的齿相接合。加速度传感器还包括屏蔽电极，该屏蔽电极固定连接至基板，并且适合用于在采样块的偏转移动期间提高采样块的气动阻尼。
加速度传感器及其制造方法

[发明专利]构件和制造构件的方法-CN200880022824.1有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格;尤维·布伦格 -专利权人：诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
申请日： 2008-03-28 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种构件(2)尤其是微机械、微电子机械或微光电机械构件(2)以及制造这种构件的方法，其中构件(2)具有以层状结构嵌入的活动结构(27)。为了能够更好地接触活动结构(27)的电极(5)，通过将具有不同的第一蚀刻深度(D1)和第二蚀刻深度(D2)的第一凹部(14)和第二凹部(15)蚀刻到第一层组件(10)的覆盖层(13)中，来形成条状导体桥(34)，其中第一层组件(10)还包括基底(11)和绝缘层(12)。较深的凹部(14)用于隔离条状导体桥(34)，而较浅的凹部(15)提供活动结构(27)用的移动空间，其中由条状导体桥(34)来桥接所述移动空间。
构件制造方法

[发明专利]旋转速率传感器-CN200880022724.9有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格;彼得·莱因菲尔德;冈特·斯帕林格;朱利安·巴托洛迈奇克 -专利权人：诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
申请日： 2008-03-28 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：为了避免当出现线性加速时在旋转速率传感器的情况下基于移动的单独结构(100、200、300、400、500、600)出现的测量误差，提出了如下旋转速率传感器，该旋转速率传感器包括基板和在设计平面(x-y)上相对于该基板移动的两个结构(100、200、300、400、500、600)，其中，这两个移动结构(100、200、300、400、500、600)相耦合以形成耦合结构，以使得：该耦合结构具有作为激励模式的、移动结构沿设计平面(x-y)上的第一方向(x)反相偏转的第一振荡模式；该耦合结构具有作为检测模式的第二振荡模式，其中，当激励第一振荡模式时并且在围绕旋转速率传感器的相对于设计平面(x-y)成直角的灵敏轴(z)旋转时，由科里奥利加速来激励第二振荡模式，并且该耦合结构被设计成在理想化前提的条件下，该耦合结构不具有能够由旋转速率传感器在平行于第二轴的方向上的线性加速激励的任何振荡模式。
旋转速率传感器

[发明专利]科里奥利陀螺仪-CN200880022744.6有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格 -专利权人：诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
申请日： 2008-03-28 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种科里奥利陀螺仪，该科里奥利陀螺仪具有包括基板(5、22、24、26)、至少两个单独结构(61、62、63、64、500、600、700、800)和弹性元件(1、2、3、21、23、25)的配置，其中弹性元件(1、2、3、21、23、25)将具有力传递器(514、614、714、814)并具有分接头(534、634、734、834)的单独结构(61、62、63、64、500、600、700、800)耦合至基板(5、22、24、26)，并且使单独结构彼此耦合，其中该配置具有可以由力传递器(514、614、714、814)激励的至少一个激励模式(7)以及可以由分接头(534、634、734、834)测量的至少一个检测模式(8)，其中激励模式(7)和检测模式(8)是封闭的，结果，在无需考虑制造公差的情况下，通过线性加速和/或振动不能引起激励模式和检测模式的干扰激励。
科里奥利陀螺仪

[发明专利]微机械元件和制造微机械元件的方法-CN200680008855.2有效
发明人： 沃尔弗拉姆·盖格;尤维·布伦格 -专利权人：利特夫有限责任公司
申请日： 2006-04-03 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： B81C5/00 文献下载
摘要：一种制造元件，尤其是制造微机械、微电子机械或微光电机械元件的方法，包括以下步骤：制造第一层复合物，其具有第一基底(2)和第一绝缘层(3)，该第一绝缘层覆盖第一基底(2)的表面(1)的至少一部分；制造第二层复合物，其具有第二基底(12)和第二绝缘层(14)，该第二绝缘层覆盖第二基底(12)的表面(13)的至少一部分；把至少部分导电的结构层(7)加到第一绝缘层(3)上；把所述第二层复合物加到所述结构层(7)，使得所述第二绝缘层(14)靠近所述结构层(7)；其中所述第一和第二层复合物以及所述结构层(7)被构造成包括所述元件的活性区域(8)的结构层(7)的至少一部分被所述第一和第二层复合物气密密封；形成接触孔(4)，其位于所述第一基底(2)和/或第二基底(12)中，用来与所述结构层(7)的导电区域(9)接触。
微机元件制造方法

[发明专利]补偿科式陀螺正交偏差的方法和实现该方法的科式陀螺-CN200480038233.5有效
发明人：埃伯哈德·汉德里赫;沃尔弗拉姆·盖格 -专利权人：利特夫有限责任公司
申请日： 2004-11-26 - 公布日： 2007-01-17 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种补偿科式陀螺正交偏差的方法，该陀螺的谐振器(1)构造成包括第一和第二线性振荡器(3，4)的耦合系统的形式，该科式陀螺正交偏差得以确定。随后，改变两个振荡器(3，4)的相互定向的静电场被产生并且其定向/强度被控制以使得所确定的正交偏差尽可能地小。
补偿陀螺正交偏差方法实现

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