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- [发明专利]弹性波装置-CN202280015427.1在审
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岩本英树;永友翔
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株式会社村田制作所
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2022-03-23
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2023-10-10
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H03H9/25
- 本发明提供一种能够抑制电特性的变动并且能够抑制高阶模的弹性波装置。本发明的弹性波装置具备：支承构件，包含支承基板(3)；压电体层(6)，设置在支承构件上，具有相互对置的第1主面(6a)和第2主面(6b)；第1IDT电极(7A)，设置在第1主面(6a)，具有多个电极指；以及第2IDT电极(7B)，设置在第2主面(6b)，具有多个电极指。第2IDT电极(7B)埋入于支承构件。在压电体层(6)的第1主面(6a)设置有电介质膜(29)，使得覆盖第1IDT电极(7A)。在将由第1IDT电极(7A)的电极指间距规定的波长设为λ时，电介质膜(29)的厚度为0.15λ以下。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202280009020.8在审
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永友翔
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株式会社村田制作所
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2022-01-07
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2023-09-29
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H03H9/145
- 本发明提供一种能够在任意的频率范围内抑制横模的弹性波装置。弹性波装置(1)具备包含支承基板(4)和压电体层(7)的压电性基板(2)、以及IDT电极(8)。在IDT电极(8)中，第2间隙区域(G2)包含位于多个电极指的电极指延伸方向的延长线上的多个间隙部(g2)。在压电体层(7)的、俯视下与间隙部(g2)重叠的部分设置有贯通孔(15)。在支承基板(4)的、俯视下与贯通孔(15)重叠的部分设置有凹部(3a)(空洞部)。凹部(3a)与设置有贯通孔(15)的部分相比在电极指延伸方向上向IDT电极(8)中央侧延伸。压电性基板(2)中的至少1层是在俯视时与交叉区域(A)重叠的部分处对压电体层(7)进行约束的约束层，压电体层(7)具有与至少1层约束层相比向电极指延伸方向突出的突出部(7a)。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202010061671.4有效
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永友翔
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株式会社村田制作所
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2020-01-15
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2023-09-26
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H03H9/17
- 提供一种弹性波装置，能够抑制由反射镜模式引起的寄生。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声反射膜(7)；设置在声反射膜(7)上且具有第一主面(4a)和第二主面(4b)的压电体层(4)；设置在压电体层(4)的第一主面(4a)上及第二主面(4b)上的第一平板电极(5)及第二平板电极(6)(激励电极)。声反射膜(7)具有交替层叠的高声阻抗层和低声阻抗层。高声阻抗层及低声阻抗层中的至少一层是纵波声阻抗及横波声阻抗中的至少一方实质上相同的第一材料层(12A)及第二材料层(12B)的层叠体。在第一材料层(12A)及第二材料层(12B)之间的界面(12c)设置有凹凸。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN201880077856.5有效
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永友翔;岩本英树
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株式会社村田制作所
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2018-11-14
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2023-09-08
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H03H9/25
- 本发明提供一种能够有效地抑制杂散模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，由硅构成；压电体层(5)，直接地或间接地设置在支承基板(2)上；以及IDT电极(6)，设置在压电体层(5)上。在将由IDT电极(6)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(5)的厚度为1λ以下。在压电体层(5)传播的体波的纵波分量的声速即VL相对于下述的式(1)的声速VSi‑1满足下述的式(2)的关系。VSi‑1＝(V2)1/2(m/秒)...式(1)VSi‑1≤VL...式(2)式(1)中的V2是下述的式(3)的解。Ax3+Bx2+Cx+D＝0...式(3)。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202280008921.5在审
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永友翔
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株式会社村田制作所
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2022-01-07
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2023-08-29
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H03H9/25
- 本发明提供一种能够充分地抑制由瑞利波引起的纹波的弹性波装置。弹性波装置在支承基板(3)上直接或间接地层叠有压电层(5)，在压电层(5)的第1主面(5a)设置有第1IDT电极(6)，将构成第1IDT电极(6)的金属膜的用波长λ进行了标准化的厚度设为te，将压电层(5)的用波长λ进行了标准化的厚度设为tp，设te/tp＝x，将用金属膜的厚度te对上述金属膜的总质量进行了标准化的平均密度设为y[g/cm3]，此时，下述的式(1)所示的F(x)为10以下，F(x)＝Ax2+Bx+C…式(1)另外，在式(1)中，A以及B由下述的式(2)以及式(3)表示，C＝19，A＝1.0392y2+8.4182y‑45.223…式(2)B＝0.0334y2‑11.363y+28.984…式(3)。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202180081123.0在审
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永友翔
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株式会社村田制作所
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2021-12-10
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2023-08-04
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H03H9/25
- 本发明降低无用波。弹性波装置具备：支承基板；压电层2，在作为支承基板的厚度方向的第1方向上具有两个主面，包含铌酸锂或钽酸锂；能量封闭层，设置在支承基板与压电层2之间；以及第1IDT电极，形成在压电层2的两个主面中的一个主面，且包含第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指、以及多个第2电极指。第1IDT电极的至少一部分设置于在第1方向上俯视的情况下至少一部分与能量封闭层重叠的区域。将压电层2的厚度设为d，将相邻的电极指的中心间距离设为p，在该情况下，d/p为0.5以下。多个电极指配置为具有从多个电极指的排列方向观察相互重叠的交叉区域，在交叉区域中，在至少一根电极指的至少一部分与压电层2之间设置有空隙。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置及梯型滤波器-CN202180076839.1在审
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大门克也;永友翔
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株式会社村田制作所
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2021-12-14
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2023-07-28
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H03H9/25
- 提供一种弹性波装置，在为弹性波谐振器的情况下能够缩窄分数带宽，在用于带通型滤波器的情况下能够缩窄带宽或者提高陡度。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上直接或间接地层叠有压电层(5)，在压电层(5)上设置有IDT电极(6)，交叉区域(K)具有中央区域(C)、第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)，第一导电层(4A)及第二导电层(4B)被设置为，设置于压电层(5)的第二主面(5b)侧，在俯视下，与第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)中的至少一部分重叠，并且与第一汇流条(7b)及第二汇流条(8b)中的至少一部分重叠。
- 弹性装置滤波器
- [发明专利]弹性波装置-CN202280007223.3在审
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永友翔
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株式会社村田制作所
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2022-08-04
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2023-07-18
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H03H9/25
- 本发明抑制弹性波的泄漏。弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；和IDT电极，设置在压电层的主面，具有在与第1方向交叉的第2方向上延伸的多个第1电极指、连接了多个第1电极指的第1汇流条电极、在与第2方向正交的第3方向上与多个第1电极指的任意者对置且在第2方向上延伸的多个第2电极指、以及连接了多个第2电极指的第2汇流条电极。在第1方向上俯视时，压电层在至少一个第1电极指与第2汇流条电极之间或者至少一个第2电极指与第1汇流条电极之间的间隙区域中，包含具备第1压电体、以及介电极化的状态与第1压电体不同的第2压电体的压电层叠构造体。
- 弹性装置
- [发明专利]多工器-CN201880051686.3有效
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中川亮;永友翔;岩本英树;高井努
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株式会社村田制作所
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2018-07-20
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2023-06-06
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H03H9/145
- 一种多工器，具备一端被公共连接的、从通带的频率低的一方起依次设为弹性波滤波器1、2、…、N的N个弹性波滤波器，其中，除通带的频率最高的弹性波滤波器以外的至少一个弹性波滤波器n包含一个以上的弹性波谐振器，具有：氮化硅膜，层叠在支承基板上；氧化硅膜，层叠在氮化硅膜上；压电体，层叠在氧化硅膜上，由钽酸锂构成；以及IDT电极，设置在压电体上。在弹性波谐振器t中，第一～第三高阶模的频率fhs_t(n)(s＝1、2、3)中的至少一个和具有频率比弹性波滤波器n的通带的频率高的通带的全部的弹性波滤波器m(n＜m≤N)满足下述的式子中的任一个：fhl_t(n)＞fu(m)fhl_t(n)＜fl(m)。
- 多工器
- [发明专利]弹性波装置以及弹性波装置的制造方法-CN202180063301.7在审
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井上和则;永友翔
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株式会社村田制作所
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2021-09-16
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2023-06-02
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H03H9/25
- 本发明提供一种抑制频率特性的纹波的弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。弹性波装置具备：支承基板；压电层，在第1方向上观察，与支承基板重叠；和第1电极以及第2电极，设置在压电层的至少第1主面，彼此相互对置，且为彼此不同的电位。在压电层的第2主面与支承基板之间存在空间部，空间部被压电层覆盖。第1电极以及第2电极分别具有在第1方向上与空间部重叠的重叠部分和在第1方向上不与空间部重叠的非重叠部分。在第1方向上，在和第1电极的非重叠部分与第2电极的非重叠部分之间的区域重叠的支承基板的至少一部分，设置有具有与支承基板的结晶性不同的结晶性的衰减层。
- 弹性装置以及制造方法
- [发明专利]弹性波装置-CN202180061225.6在审
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永友翔
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株式会社村田制作所
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2021-07-09
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2023-05-30
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H03H9/25
- 本发明提供一种能够在支承基板设置有空洞部的情况下提高散热性的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，具有空洞部(10)和支承部(12)；压电膜(铌酸锂膜(3))，设置在支承部(12)上，且具有第1主面(3a)、第2主面(3b)；功能电极(4)，设置在第1主面(3a)；以及散热膜(5)，设置在压电膜的第1主面(3a)、第2主面(3b)中的至少一者，包含半导体或绝缘体。功能电极(4)具有至少一对第1电极(6)、第2电极(7)。在将压电膜的厚度设为dx并将相邻的第1电极(6)、第2电极(7)的中心间距离设为p的情况下，dx/p为0.5以下。在俯视下，散热膜(5)与支承部(12)的至少一部分重叠。散热膜(5)的热导率比压电膜的热导率高，且散热膜(5)的厚度比压电膜的厚度薄。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置、多工器、高频前端电路以及通信装置-CN201880051492.3有效
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中川亮;永友翔;岩本英树;高井努
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株式会社村田制作所
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2018-07-20
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2023-05-12
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H03H9/25
- 本发明提供一种在其它弹性波滤波器中不易产生由高阶模造成的纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，是硅基板；氮化硅膜(3)，层叠在支承基板(2)上；氧化硅膜(4)，层叠在氮化硅膜(3)上；压电体(5)，层叠在氧化硅膜(4)上，且由钽酸锂构成；以及IDT电极(6)，设置在压电体(5)的一个主面，关于压电体的波长归一化膜厚TLT、压电体的欧拉角θLT、所述氮化硅膜的波长归一化膜厚TN、氧化硅膜(4)的波长归一化膜厚TS、通过所述IDT电极的波长归一化膜厚和所述IDT电极的密度相对于铝的密度之比的积求出的、换算为铝的厚度的IDT电极(6)的波长归一化膜厚TE、支承基板(2)的传播方向ψSi、支承基板(2)的波长归一化膜厚TSi的值，TLT、θLT、TN、TS、TE、ψSi被设定为由下述的式(1)表示的与第一高阶模的响应强度对应的Ih、与第二高阶模的响应强度对应的Ih、以及与第三高阶模的响应强度对应的Ih中的至少一个大于‑2.4，且TSi20。[数学式1]
- 弹性装置多工器高频前端电路以及通信
- [发明专利]弹性波装置-CN202180062067.6在审
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永友翔;大内峰文
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株式会社村田制作所
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2021-09-07
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2023-05-02
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H03H9/145
- 提供一种弹性波装置，能够抑制无用波。本发明的弹性波装置具备：压电层(16)，其包括铌酸锂及钽酸锂中的一方，具有第一主面(16a)及第二主面(16b)；以及第一电极指(19A)及第二电极指(19B)(第一电极、第二电极)，其设置于压电层(16)的第一主面(16a)。第一电极指(19A)及第二电极指(19B)是相邻的电极彼此，在将压电层(16)的第一电极指(19A)与第二电极指(19B)之间的区域的中央的厚度设为tp1、将第一电极指(19A)与第二电极指(19B)的中心间距离设为p的情况下，tp1/p为0.5以下。在将压电层(16)中的设置有第一电极指(19A)的区域的厚度设为tp2时，tp1＞tp2。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202180040136.3在审
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木村哲也;野竹直弘;石井优太;井上和则;大内峰文;永友翔
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株式会社村田制作所
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2021-06-02
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2023-02-03
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H03H9/17
- 本发明提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，设置有压电膜(2)，在压电膜(2)上设置有IDT电极(10)，IDT电极(10)具有第1汇流条(5)以及第2汇流条(6)、至少一根第1电极指(3)、和至少一根第2电极指(4)，在将第1电极指(3)、第2电极指(4)在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述的那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜25μm、ya＜25μm、xb＜25μm、yb＜25μm、xc＜25μm、yc＜25μm、xd＜25μm、yd＜25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202180023555.6在审
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永友翔
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株式会社村田制作所
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2021-03-24
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2022-11-18
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H03H9/145
- 在压电基板(10)配置有IDT电极(11)，该IDT电极具有彼此相互对置的第1汇流条电极(16)及第2汇流条电极(18)、从第1汇流条电极(16)延伸的第1电极指(17)和从第2汇流条电极(18)延伸的第2电极指(19)。第1汇流条电极(16)和第2电极指(19)的前端隔着间隙(15)而对置，第1汇流条电极(16)和第2电极指(19)的底面(31)间隔着第1间隙(100)而对置。在顶面(30)侧具有第1汇流条电极(16)和第2电极指(19)隔着长度比第1间隙(100)的长度短的第2间隙(101)而对置的部分，在被第1侧面(33)和第2侧面(34)夹着的第1区域(301)之中被压电基板(10)和第1汇流条(16)或第2电极指(19)夹着的第2区域(302)设置空洞。
- 弹性装置
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