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[发明专利]一种晶圆探针台启停控制系统、方法及相关装置-CN202310663476.2在审
发明人： 欧晓永;黄栋生 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆探针台启停控制系统、方法及相关装置，包括开机按键、关机按键、可编程控制器、继电器、第一接触器、工控机；其中，工控机包括工控机电源，可编程控制器分别与开机按键、关机按键、继电器、第一接触器以及工控机连接，工控机电源与继电器连接。当检测到开机指令时，通过可编程控制器向工控机输出启动信号，工控机启动完成之后控制第一接触器信号向设备供电；当检测到关机指令时，通过可编程控制器向工控机输出关机信号，工控机关机之后控制第一接触器断电，控制系统按照安全启停顺序一键启停，能够有效控制系统启停顺序，防止因启停顺序不当导致工控机甚至生产数据损坏。
一种探针台启停控制系统方法相关装置

[实用新型]一种卡盘测试线接线座-CN202321049467.6有效
发明人： 欧晓永 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本申请涉及测试设备技术领域，尤其涉及一种卡盘测试线接线座。包括安装座，所述安装座上设有安装孔，所述安装孔内穿设有插头，所述插头一端用于连接卡盘测试线，另一端用于与之相适配的母插或公插插接配合，所述公插和母插为航空插头。本申请具有方便将卡盘的测试线和测试设备连接，稳定卡盘测试线的接线稳定性，避免在卡盘作业中容易导致接线不良甚至断线的风险的效果。
一种卡盘测试接线

[发明专利]一种应用于半导体探针台的温度控制系统及方法-CN202310663477.7在审
发明人：刘世文;欧晓永;黄栋生 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G05D23/22 文献下载
摘要：一种应用于半导体探针台的温度控制系统及方法，涉及数据处理的领域。系统包括液氮罐、空气罐、半导体探针台、真空泵、测温组件以及控制器，半导体探针台包括样品台，样品台用于承载半导体样品；液氮罐与样品台通过输入管路连接，液氮用于对样品台进行降温，液氮罐的输出口设置有第一电磁阀；空气罐与样品台通过输入管路连接，空气罐的输出口设置有第二电磁阀；真空泵与样品台通过输出管路连接，真空泵用于抽取液氮至样品台内；测温组件包括接触式温度传感器和多个红外测温传感器，接触式温度传感器用于测量样品台的温度，多个红外测温传感器用于对样品台进行红外线测温。实施本申请提供的技术方案，便于对样品台进行快速降温。
一种应用于半导体探针温度控制系统方法

[实用新型]一种晶圆测试用电磁屏蔽箱-CN202123448898.3有效
发明人：刘世文;欧晓永;陈亮 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01R1/18 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆测试用电磁屏蔽箱，包括经过导电处理的箱体、载晶盘以及驱动机构，箱体具有容置腔，容置腔的上侧内壁设置有连通孔，连通孔供探针穿入容置腔内；箱体的其中一侧外壁设置有与容置腔相连通的上料窗口，上料窗口处设置有启闭门；载晶盘水平活动设置在容置腔内；驱动机构设置在容置腔内，驱动机构用于使载晶盘做水平运动。本申请具有在晶圆进行测试时能减少外部环境对晶圆的干扰的效果。
一种测试用电屏蔽

[实用新型]一种电磁屏蔽八角盒-CN202123451810.3有效
发明人：刘世文;欧晓永;陈亮 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请涉及一种电磁屏蔽八角盒，设置在基板上，基板设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔；包括侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件，侧板与基板连接，侧板呈环状，侧板的内侧与观测孔相连通；侧板设置有供探针穿入的第一穿孔，在探针穿入第一穿孔时，第一密封件用于封闭第一穿孔；盖板连接在侧板远离基板的一端上，盖板设置有供镜头穿入的第二穿孔，在镜头穿入第二穿孔时，第二密封件用于封闭第二穿孔。本申请具有能提升晶圆测试的准确性的效果。
一种电磁屏蔽八角

[发明专利]一种半自动晶圆测试设备-CN202111678658.4在审
发明人：刘世文;欧晓永;陈亮 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本申请涉及一种半自动晶圆测试设备，包括机架，机架具有基准检测位；载晶盘，活动设置在机架上，载晶盘供晶圆固定放置；探针，设置在机架上，探针远离机架一端延伸至基准检测位处；显微镜平台，设置在机架上，显微镜平台位于载晶盘的上方；第一驱动机构，设置在机架上，第一驱动机构用于使载晶盘做水平运动以让晶圆上的待测试pad点运动至基准检测位处。本申请具有使晶圆的测试操作更加简单的效果。
一种半自动测试设备

[外观设计]半自动晶圆探针台-CN202130729531.5有效
发明人：刘世文;欧晓永;陈亮 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2021-11-06 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半自动晶圆探针台。2.本外观设计产品的用途：用于检测晶圆。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
半自动探针

[外观设计]全自动晶圆探针台-CN202130729532.X有效
发明人：刘世文;欧晓永 -专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日： 2021-11-06 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全自动晶圆探针台。2.本外观设计产品的用途：用于检测晶圆。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
全自动探针