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[发明专利]控制系统、控制方法、控制程序和处理系统-CN202011277266.2在审
发明人： 樋口龙太 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明的课题在于：稳定地控制处理装置内的状态。解决课题的方法在于：控制系统具有决定部、模拟部、第一控制信号生成部、第二控制信号生成部、第一调整部和第二调整部。决定部基于方案决定模型和控制算法。模拟部利用模型模拟处理装置的状态。第一控制信号生成部利用控制算法由测定值生成控制信号，将所生成的控制信号输入给处理装置。第二控制信号生成部利用控制算法由模拟部的输出值生成控制信号，将所生成的控制信号输入给模拟部。第一调整部基于测定值和输出值调整模型所含的模型参数的值。第二调整部利用包含调整后的模型参数的值的模型调整控制算法所含的控制参数的值。
控制系统控制方法控制程序处理系统

[发明专利]等离子体处理装置和检测电路-CN201811178430.7有效
发明人： 樋口龙太 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-10-10 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体处理装置和检测电路。等离子体处理装置(10)包括腔室(17)、高频电源(14)、匹配电路(15)、信号同步处理部(20)和控制量计算部(12)。匹配电路(15)使腔室(17)内的等离子体与高频电源(14)之间的阻抗相匹配。信号同步处理部(20)计算腔室(17)内的等离子体的阻抗。控制量计算部(12)基于由信号同步处理部(20)计算出的阻抗，控制要供给到腔室(17)内的高频电力的频率、高频电力的大小和匹配电路(15)的阻抗。而且，信号同步处理部(20)和控制量计算部(12)设置在一个基板(11)上。由此，能够迅速地进行稳定的等离子体点火。
等离子体处理装置检测电路