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- [发明专利]感光性树脂组合物、干式薄膜和使用它的加工部件-CN02153105.6有效
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田原修二;大川户悦夫;森田守次;藤田和人;津田武
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三井化学株式会社
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2002-11-22
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2003-06-11
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G03F7/027
- 本发明提供一种感光性树脂组合物,含有(A)由通式(1)表示的构成单元构成的聚酰胺酸,(B)具有至少2个以上可光聚合的C=C不饱和双键的(甲基)丙烯酸酯,(C)光聚合引发剂,和按必要的(D)阻燃剂,相对于上述(A)聚酰胺酸100质量份数,以10~700质量份数的比例含有上述(B)具有至少2个以上可光聚合的C=C不饱和双键的(甲基)丙烯酸酯化合物,(式中,n是1~100的整数,R1表示仅由C、H、O和N中选择的元素构成的2价有机基团,R2表示仅由C、H、O和N中选择的元素构成的4价有机基团)。
- 感光性树脂组合薄膜使用加工部件
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