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[发明专利]一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚-CN202310688492.7在审
发明人： 梁变变;杨峰;寇洋;黄康;程鹏;刘新宇;张梦蝶 -专利权人：齐鲁中科光物理与工程技术研究院
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及电子束蒸发镀膜设备技术领域，尤其公开了一种电子束蒸发用气管集成式的穴状坩埚，包括坩埚，坩埚内设有反应室，所述反应室的外侧绕其轴线环形设有第一通孔，所述坩埚底部设有匀气盖板，与传统技术相比，本技术方案通过在每个反应室的四周设置环形分布的第一通孔，以及匀气盖板与分流装置贴合连接的方式，实现了第一腔室内的反应气体和第二腔室的惰性气体均可以均匀的通入到反应室内，保证了反应室内温度均匀和材料氧化充分，以及减少了在设备破空时外界空气对材料的污染。
一种电子束蒸发气管集成坩埚

[发明专利]一种光学薄膜强激光提纯改性装置及方法-CN202310449650.3在审
发明人：杨峰;寇洋;梁变变;程鹏;彭钦军 -专利权人：齐鲁中科光物理与工程技术研究院
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G02B1/12 文献下载
摘要：本发明属于光学薄膜技术领域，具体地涉及一种光学薄膜强激光提纯改性装置及方法，包括：强激光光源模块，用于产生并输出激光光束；强激光整形匹配扫描模块，用于对激光光源输出的激光光束进行光束整形、聚焦及扫描匹配，将激光光束作用在光学基片的表面；强激光高真空导入融合模块，用于将激光光束导入镀膜机真空腔体内；强激光防护导引模块，用于对基片表面之外的其他区域进行防护；强激光洁净处理模块，用于对光学基片反射及透射的激光束及强激光防护导引模块反射的激光束进行收集。本发明基于强激光量子吸收气化效应，对薄膜内部进行杂质和缺陷消除，解决了光学薄膜内部因存在杂质与缺陷导致的激光损伤问题。
一种光学薄膜激光提纯改性装置方法

[发明专利]弯折设备和弯折方法-CN201811623139.6在审
发明人： 梁变变;丁友谊 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种弯折设备和弯折方法，其中弯折设备包括：支架和用于承载所述芯片的传输装置，所述传输装置设置于所述支架上；固定组件，包括第一移动机构和第一压片，所述第一移动机构与所述第一压片连接，所述第一移动机构带动所述第一压片移动，所述第一压片用于将所述汇流条固定在所述芯片上；第一弯折组件，包括第二移动机构和第二压片，所述第二移动机构与所述第二压片连接，所述第二移动机构带动所述第二压片移动，所述第二压片用于推动所述汇流条，使得所述汇流条弯折。无需人工敷贴和弯折芯片上的汇流条，避免人工操作的可控性低导致良品率较低的技术问题，极大程度提高了芯片敷设汇流条的良品率和加工效率。
设备方法

[实用新型]弯折设备-CN201822244975.5有效
发明人： 梁变变;丁友谊 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种弯折设备，包括：支架和用于承载所述芯片的传输装置，所述传输装置设置于所述支架上；固定组件，包括第一移动机构和第一压片，所述第一移动机构与所述第一压片连接，所述第一移动机构带动所述第一压片移动，所述第一压片用于将所述汇流条固定在所述芯片上；第一弯折组件，包括第二移动机构和第二压片，所述第二移动机构与所述第二压片连接，所述第二移动机构带动所述第二压片移动，所述第二压片用于推动所述汇流条，使得所述汇流条弯折。无需人工敷贴和弯折芯片上的汇流条，避免人工操作的可控性低导致良品率较低的技术问题，极大程度提高了芯片敷设汇流条的良品率和加工效率。
移动机构压片汇流条芯片传输装置压片移动良品率弯折支架本实用新型固定组件加工效率人工操作弯折设备弯折组件敷设可控性敷贴承载