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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]真空冷却装置和离子铣削装置-CN201911241022.6有效
  • 根岸勉 - 日本电子株式会社
  • 2019-12-06 - 2023-01-06 - H01J37/18
  • 本发明提供能够抑制试样的结露且能够在短时间内加热试样的真空冷却装置和离子铣削装置。离子铣削装置(1)具有试样保持件(3)、真空室(2)、排气部(13)、真空计(15)、加热器(6)、气体导入部(14)以及控制部(10)。排气部(13)将真空室(2)的内部空间的气体排出。真空计(15)测量真空室(2)的内部空间的压力。加热器(6)对试样保持件(3)进行加热。气体导入部(14)向真空室(2)的内部空间导入不含水分的干燥气体。控制部(10)基于真空计(15)测量出的内部空间的压力信息，在内部空间的压力达到了预定的压力以下时，控制气体导入部(14)，将干燥气体向真空室(2)导入。
  • 真空冷却装置离子铣削
  •  1 
  • 共 1 条
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