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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]微通道板通道内抛光方法-CN201911282170.2有效
发明人：李江;陈平香;栗重浩 -专利权人：山西长城微光器材股份有限公司
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微通道板通道内抛光方法，涉及电子倍增器微通道板的制造优化领域，针对采用传统工艺已经制造好的微孔阵列玻璃坯件，首先采用硝酸氢氟酸混合液进行超声波振动，再更换新的硝酸氢氟酸混合液磁力搅拌器中搅拌一定时间，采用纯水进行多次换水清洗；其次在氢氟酸+硫酸混液中也采用磁力搅拌器中搅拌一定时间，再采用纯水进行多次换水清洗；然后氢氟酸+硫酸+氟化铵混液中，在磁力搅拌器中搅拌，再采用纯水进行多次换水清洗；最后采用乙醇溶液清洗并放入真空烘箱中烧烤一定时间后，达到对微通道进行内抛光，本发明所提供的内抛光方法，满足ALD工艺对通道壁粗糙度要求的目的，该工艺避免了传统酸腐蚀对通道壁产生破损，造成发射点的问题。
通道抛光方法

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