“柴大利”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种涂胶装置-CN202111510432.3在审
发明人：吴海洋;张龙彪;栾忠平;柴大利 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种涂胶装置，包括：工艺腔体；胶嘴座，用于对工艺腔体内的晶圆涂胶；夹持机构，用于夹持所述胶嘴座；转动机构，所述转动机构包括转动端和固定端，所述夹持机构设置于所述转动端，所述转动机构带动所述夹持机构绕所述固定端转动；平移机构，所述固定端设置于所述平移机构，所述平移机构带动所述转动机构沿平移方向移动，通过平移机构和设置于平移机构上的转动机构带动所述夹持机构抓取胶嘴座，使胶嘴座能够作平移和旋转运动，实现所述胶嘴座在其放置位置和工艺腔体之间运动以避免光刻胶胶管之间发生干涉和折管现象，实现光刻胶稳定输送，提高工艺的稳定性。
一种涂胶装置

[发明专利]一种胶嘴座承载装置和涂胶显影设备-CN202111508500.2在审
发明人：张龙彪;吴海洋;栾忠平;柴大利 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种胶嘴座承载装置，包括：承载体，胶嘴座设置于所述承载体上；所述承载体包括喷嘴放置孔和喷嘴冲洗孔，所述胶嘴座的喷嘴置于所述喷嘴放置孔内部，所述喷嘴放置孔与所述喷嘴冲洗孔在所述喷嘴所在位置处相通；所述喷嘴冲洗孔直径小于所述喷嘴放置孔的半径，并与所述喷嘴放置孔相切设置，使冲洗液在所述喷嘴放置孔中形成涡流，以清洗所述喷嘴。通过喷嘴放置孔与喷嘴冲洗孔两者以相切的方式设置，使冲洗液从喷嘴冲洗孔进入喷嘴放置孔后形成涡流，对喷嘴放置孔内的喷嘴进行冲洗，进而去除喷嘴处的结块，改善光刻胶吐出量的稳定性，提高工艺的稳定性。本发明还提供了一种涂胶显影设备。
一种胶嘴座承载装置涂胶显影设备

[发明专利]一种虚实结合的远程液压实验教学系统-CN201910263758.7有效
发明人：张宏;孙晶;柴大利;刘建伟 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G09B9/00 文献下载
摘要：一种虚实结合的远程液压实验教学系统，属于教学应用领域。该虚实结合的远程液压实验虚拟仿真教学系统，其中虚实结合部分为学生通过远程调用实验台上的Automation Studio软件进行仿真模拟液压回路，并可根据学生本身的想法对液压回路进行修改、优化，最后连接液压实验台进行实际操作。该系统还添加了网络高清球机、网络硬盘录像机、交换机、球机支架、路由器等设备组成了反馈系统，学生通过该反馈系统可以察看液压实验台的实时运行情况。本发明提供的实验虚拟仿真教学系统，在突破时间和空间的限制同时，增加学生与试验台视觉近距离接触的机会，不仅实现了远程调用实验平台控制的自动化和智能化，而且还能使学生获得更好的实验体验和更加优化的实验结果。
一种虚实结合远程液压实验教学系统

[发明专利]一种折弯3分螺旋折流板换热器-CN201910498389.X有效
发明人：张宏;柴大利;梁栋;高业会;李陈晨;丁览 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-06-10 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： F28D7/16 文献下载
摘要：一种折弯3分螺旋折流板换热器，螺旋折流板板体在传统3分螺旋折流板的基础上，在折流板中间部位加入一个折弯角度，使其更加接近6等分螺旋折流板，该结构能够同时具有传统3分螺旋折流板和传统6分螺旋折流板换热器的优点。包括筒体、安装在换热器筒体内的螺旋折流板板体、安装在螺旋折流板板体上的用于轴向通过换热管的管孔。螺旋折流板板体螺旋方向上带有折弯，折弯部位将折流板分为的A、B两部分，且沿着的筒体周向方向折流板螺旋角度为120°。本发明提供的该换热器可以有效增加换热器总传热系数，降低换热器的进出口压降，改善筒体内部流体的漏流区和死区，提高换热器的综合性能。
一种折弯螺旋折流板换热器