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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]流体控制阀-CN201911148057.5有效
发明人： 林繁之;安田忠弘 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F16K31/00 文献下载
摘要：本发明提供一种压电致动器(100)和流体控制阀(200)，例如与以往相比能够效率良好地使液体材料气化，为此压电致动器(100)包括：压电堆(1)，交替层叠有压电陶瓷层和电极层；直流电压施加电路(2)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加直流电压而使其位移；以及振动电压施加电路(3)，向所述压电堆(1)的至少一部分施加规定频率以上的电压而使其振动。
流体控制

[发明专利]流量控制装置和程序存储介质-CN201711293621.3有效
发明人： 林繁之;长井健太郎;山口正男 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供流量控制装置和程序存储介质，特别是即使在目标流量下降这样的过渡响应状态下也能高速响应。所述流量控制装置包括：阀，具备测量开度的位置传感器，设置在流体流过的流道(L)上；具备节流器的流量传感器，设置在所述阀的上游侧；第一压力传感器，设置在所述节流器的下游侧，并且位于所述阀的上游侧；设置在所述阀(2)的下游侧的第二压力传感器；特性图存储部，存储特性图，该特性图至少表示所述阀(2)的开度、所述阀的前后的压差以及流过所述流道的流体的流量之间的关系；以及阀控制部，控制所述阀的开度，以使流过所述流道的流体的流量成为接收到的目标流量。
流量控制装置程序存储介质

[发明专利]流体控制阀和半导体制造装置-CN201710229874.8有效
发明人： 林繁之;赤土和也 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2017-04-07 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本发明提供不容易产生污染的流体控制阀(3)和半导体制造装置，半导体制造装置使用所述流体控制阀(3)，为此，阀座构件(4)和阀体构件(6)中的至少任意一方包括金属制的基体(61)以及树脂层(62)，所述树脂层(62)覆盖所述基体(61)的表面并形成阀座面(4a)或接触阀座的面(6a)，所述树脂层(62)与所述基体(61)直接化学结合。
流体控制半导体制造装置

[发明专利]流体控制阀-CN201480023273.6有效
发明人：安田忠弘;林繁之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2014-10-15 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制阀，不损害压力和流量等流体控制的精度，能够减小内部容积并提高例如下降响应性能。所述流体控制阀包括：阀座部(61)；阀体(4)，以能相对于所述阀座部(61)接触分离的方式设置；流阻(5)；以及一对夹持构件(H)，夹持所述流阻(5)，所述流阻(5)和所述一对夹持构件(H)形成阀内空间(S2)，所述阀内空间(S2)收容所述阀体(4)或使所述阀体(4)移动的驱动构件的至少一部分，流体从所述阀内空间(S2)通过所述流阻(5)后向外部流出。
流体控制

[发明专利]流体控制阀-CN201410085507.1有效
发明人：安田忠弘;林繁之;河南宣之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： F16K17/20 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制阀，流体控制阀具备的隔膜结构具有弱反弹性且即使不从致动器施加大的力也能够大幅变形从而增大行程，并且即使隔膜结构较薄形成也很难发生缺陷和不良，从而能够实现流体控制阀的大口径和大输出化。流体控制阀(V)具有隔膜结构(4)和按压所述隔膜结构(4)的致动器(3)，所述隔膜结构(4)包括：形成为筒状且被所述致动器(3)按压的突出部(42)、从所述突出部(42)的基端相对于该突出部(42)向外侧扩展的凸缘部(41)、以及形成于所述凸缘部(41)的外周并被安装于其他构件的支承部(FI)，所述凸缘部(41)形成为膜状。
流体控制

[发明专利]阀部件和流体控制阀-CN201310353899.0有效
发明人： 林繁之;安田忠弘;太佐和也 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2013-08-14 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本发明提供阀部件和流体控制阀，能够提高流体控制阀封闭时的密封性，并且能够长时间保持耐久性并提高稳定性，该阀部件构成阀座面（4a）或接合面（6a）的一方，其包括：凹部（61），形成在与阀座面（4a）相对的对置面上；以及树脂涂层（62），形成在凹部（61）内，与阀座面（4a）接触。
部件流体控制

[发明专利]流体控制阀和质量流量控制器-CN201310717090.1有效
发明人： 林繁之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2013-12-23 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： F16K1/42 文献下载
摘要：本发明提供流体控制阀和质量流量控制器。流体控制阀具有适合于使流体控制阀的内部的容积变小的结构，为了使流体控制阀完全关闭时测量出的测量流量值在短时间内变成零，使所述流体控制阀（V）由阀体构件（6）和阀座块（5）构成，其中，阀座块（5）具有形成在内部的阀内流道（51）；以及与所述阀体构件（6）的接触阀座的面（62）接触或分离的阀座面（58），并以与下游侧流道连通的方式在条形突起的一部分上形成有切口（541）。
流体控制质量流量控制器

[发明专利]密封部件、密封装置和密封部件的制造方法-CN201310680423.8无效
发明人：安田忠弘;长澤政幸;林繁之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： F16J15/00 文献下载
摘要：本发明的主要目的是提供能够简单地制造并能够高精度地密封的密封部件、密封装置和密封部件的制造方法。所述密封部件是金属制的密封部件，且以被夹持在彼此相对的第一面与第二面之间的方式配置，其包括朝向所述第一面突出的第一突出部以及朝向所述第二面突出的一对第二突出部，所述第一突出部配置在一对所述第二突出部之间，所述第一突出部的前端部分和所述第二突出部的前端部分是彼此平行的平面。
密封部件装置制造方法

[发明专利]流体控制阀-CN201210310859.3有效
发明人： 林繁之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2012-08-28 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种流体控制阀，能防止污染通过流体控制阀的流体，并能防止阀体相对于移动方向倾斜或振动。所述流体控制阀包括：阀体（6），与阀室（52）的内侧的面隔开规定间隔配置在阀室（52）内，能与设于所述阀室（52）内的阀座（4）接触或分离；驱动部件（7），对阀体（6）施加朝向开阀方向的作用力；阀体复位弹簧（8），对阀体（6）施加朝向关阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧（9），对阀体（6）施加朝向消除阀体（6）相对于开关方向的倾斜的方向的作用力。
流体控制

[发明专利]流体控制阀-CN201210098074.4有效
发明人： 林繁之 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2012-04-05 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： F16K1/32 文献下载
摘要：本发明提供一种小型且能够流过大流量流体的流体控制阀(3)，在落座面(6a)与阀座面(4a)之间交替地设置有多个环状有底槽(9(A))与环状有底槽(9(B))，环状有底槽(9(A))通过阀内流路(41)与上游流路连通，环状有底槽(9(B))通过阀内流路(42)与下游流路连通，在该控制阀(3)内，阀内流路(41)的作为针对有底槽(9)的开口的连通口(41c)形成在该有底槽(9)的至少侧面上。
流体控制

[发明专利]流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器-CN201080045528.0有效
发明人： 林繁之;桒原朗 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2010-09-17 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01F1/36 文献下载
摘要：本发明提供流量测量机构、质量流量控制器以及压力传感器。所述流量测量机构包括：主体单元，具有被测量的对象流体流动的内部流路；以及压力传感器，安装在所述主体单元上，对内部流路的压力进行检测，所述流量测量机构能够基于所述压力传感器检测到的流体压力算出所述流体的流量，所述主体单元具有长边方向，并且将部件安装面设定为与所述长边方向平行的面，以感压面与所述部件安装面大致垂直且与所述长边方向大致平行的方式，将所述压力传感器安装在所述部件安装面上。由此不会导致压力测量的灵敏度降低，并且与以往相比较，可以显著地减小宽度方向尺寸。
流量测量机构质量控制器以及压力传感器

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