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[发明专利]一种基于电气自动化的阀门气密性连续性检测设备-CN202310874813.2在审
发明人：林木森;陈明洪;林智颖;赵旭明;季耀东;赵远辉;林佳妮 -专利权人：林木森
申请日： 2023-07-17 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01M3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电气自动化的阀门气密性连续性检测设备，涉及阀门气密性检测领域，包括：机体，所述机体上设置有控制器和电容触控显示屏；气密性检测机构，所述气密性检测机构包括两个对称的封堵组件和与封堵组件连接的检测组件；所述封堵组件包括气缸，所述气缸的输出端连接有连接座，所述连接座远离气缸的一侧连接有封堵件，所述封堵件包括橡胶垫块，所述橡胶垫块的中部固定有锥形插头，所述锥形插头的外侧设置有第一密封气囊、第二密封气囊和第三密封气囊。本发明封堵件与被测阀门端口之间形成多重密封结构，有效地提高了对被测阀门端口进行封堵的密封性能，保证了被测阀门气密性检测的精准度。
一种基于电气自动化阀门气密性连续性检测设备

[发明专利]一种晶元化学干燥设备-CN202210716274.5在审
发明人：陈铁龙;程龙祥;张振;林智颖;欧赵旺 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： F26B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶元化学干燥设备，涉及半导体器件制造技术领域，包括处理箱和提篮，所述处理箱的顶部安装有升降组件，所述提篮固定安装于所述升降组件，所述处理箱的底部固定安装有加热机构，所述加热机构的上方固定安装有干燥箱，所述干燥箱内固定安装有脱水盘，所述脱水盘位于所述提篮的正下方，所述干燥箱的顶部固定安装有冷凝机构，所述冷凝机构位于所述提篮的正上方，所述干燥箱内装有干燥试剂。本发明通过设计加热机构、脱水盘，利用IPA蒸汽对晶元进行干燥。
一种化学干燥设备

[实用新型]用于液体的石英在线加热装置-CN202221365101.5有效
发明人：陈铁龙;程龙祥;张振;林智颖;欧赵旺 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： F24H1/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于液体的石英在线加热装置，包括箱体，所述箱体内设有间隙储存液体的石英罐，所述箱体的顶部设有连接于石英罐的出水管道，所述箱体的底部设有连接于所述石英罐的进水管道；所述石英罐的一侧设有多个独立的贯穿槽，所述贯穿槽内卡接有红外加热器，所述红外加热器通过所述贯穿槽将所述石英罐内的液体进行加热，使得通过进水管道的液体加热。本实用新型解决了液体流淌实时加热的技术问题，保证了液体流出时的温度达到一定的标准。
用于液体石英在线加热装置

[实用新型]用于晶圆搬运的自动倒片机-CN202221389376.2有效
发明人：陈铁龙;程龙祥;张振;林智颖;欧赵旺 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的自动倒片机，包括工作台和连接于工作台的升降组件，升降组件设有三组且包括一号组件、二号组件和三号组件，一号组件、二号组件和三号组件阵列式连接于工作台；工作台上连接有配合一号组件、二号组件或三号组件使用且用于存放晶圆的花篮；花篮的一侧设有连接于工作台的倒片装置，倒片装置包括壳体和连接于壳体的两三棱柱，两三棱柱转动连接于壳体；一号组件包括升降台和驱动件，升降台连接有底座，底座连接于花篮；驱动件通过升降台带动底座运动以伸出花篮外，并带动花篮内的晶圆竖直向上运动；通过转动两三棱柱以将位于底座上的晶圆进行分离，从而有效的调节了晶圆之间的距离。
用于搬运自动倒片机

[实用新型]用于花篮搬运的夹持机构-CN202221364951.3有效
发明人：陈铁龙;程龙祥;张振;林智颖;欧赵旺 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于花篮搬运的夹持机构，包括底座，底座的端部对称式连接有两旋转轴组件，两旋转轴组件之间设有连接于底座的连接组件和驱动件，驱动件连接于连接组件，连接组件连接于两旋转轴组件之间；旋转轴组件包括传动轴和连接于传动轴表面的套管，套管的侧壁设有一滑槽，传动轴连接有拾取件；连接组件包括滑动连接于底座的连接块和位于连接块相对侧的压辊，压辊插入滑槽内并与滑槽配合使用；驱动件驱动连接块沿着传动轴的长度方向水平移动，使得压辊于滑槽内移动并能够带动传动轴转动，以将放置拾取件之间的花篮进行夹持固定，从而达到了对花篮搬运的目的。
用于花篮搬运夹持机构

[实用新型]用于清洗半导体圆晶的清洗槽-CN202023107842.7有效
发明人：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于清洗半导体圆晶的清洗槽，包括清洗槽本体，所述清洗槽本体的内部由矩形溢流板分隔成内清洗槽和外清洗槽；所述外清洗槽设有循环水出水口，所述循环水出水口与所述循环管连通；所述内清洗槽设有循环水进水口、废液排出口以及喷淋管，所述喷淋管的一端封闭，且另一端穿过所述循环水进水口后与所述循环管连通，所述循环管上安装有循环泵，所述废液排出口与所述废液管连通；沿所述喷淋管的轴向分布有多个喷淋口，所述喷淋口的喷淋方向与所述喷淋管的纵向形成的夹角为120°；所述溢流板的上端设有多个V型溢流口。本实用新型清洗液由下至上清洗圆晶的表面，提高圆晶表面的洁净度。
用于清洗半导体

[实用新型]半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构-CN202023111058.3有效
发明人：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗机的自动翻盖机构，包括清洗槽、盖板以及驱动所述盖板开合的驱动结构；所述驱动结构包括注水壳体、活塞杆、传动轴和连杆，所述注水壳体的一端与所述清洗槽固定连接，所述活塞杆的一端从所述注水壳体的另一端穿设于所述注水壳体的内部，所述活塞杆的另一端与所述传动轴的一端转动连接，所述传动轴的另一端与所述连杆固定连接，所述连杆与所述盖板固定连接；所述注水壳体开设有第一注水口和第二注水口；所述活塞杆的下端连接有安装座，所述安装座的外周开设有用于安装强磁片的安装槽。本实用新型通过水流实现清洗槽上方的盖板的自动开合，避免清洗完成后清洗剂损伤工作人员的手部，经济实用且安全可靠。
半导体清洗自动翻盖机构

[实用新型]半导体圆晶清洗设备-CN202023111090.1有效
发明人：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗设备，包括机架，所述机架由干湿隔断门分隔成湿式清洗区和干式清洗区；所述湿式清洗区包括化学试剂清洗室、纯水清洗室、用于运输花篮的湿式机械手和用于清洗湿式机械手的机械手清洗室；所述干式清洗区包括圆晶甩干室、圆晶存放室和用于运输花篮的干式机械手；所述机架上安装有用于驱动所述湿式机械手/所述干式机械手进行上下和/或左右移动的驱动模组。本实用新型利用机械手实现化学试剂清洗、纯水清洗和甩干三道工序，提高半导体清洗的自动化程度；且各个清洗室的结构设计利于提高半导体清洗的洁净效果，有助于产品良率的提高。
半导体清洗设备

[实用新型]半导体元件用干冰清洗设备-CN202023107912.9有效
发明人：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体元件用干冰清洗设备，包括设备架体，安装在所述设备架体上的干冰发生机构、干冰喷射机构、干冰净化机构和清洗室；所述干冰发生机构包括液态二氧化碳存储罐和干冰发生器；所述干冰喷射机构包括用于安装干冰喷嘴的干冰喷头座和驱动所述干冰喷头座移动的机械手；所述干冰净化机构包括进风机和抽风机，所述进风机与所述清洗室连通，所述抽风机与所述清洗室连通；所述清洗室由一网板分隔成上层清洗部和下层集料部，所述网板上固定有用于放置产品的放置板，所述清洗室开设有出风口，所述出风口与所述抽风机连通。本实用新型利用干冰颗粒对半导体元件表面的毛刺、颗粒物等杂质进行破碎，使半导体表面达到高洁净度的要求。
半导体元件干冰清洗设备

[实用新型]半自动清洗机的取料机构-CN202023107845.0有效
发明人：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B25J9/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半自动清洗机的取料机构，包括第一取料杆、第二取料杆以及驱动所述第一取料杆和所述第二取料杆同时相对/相反方向转动的转动结构；所述转动结构包括电机、第一转动块、第二转动块和连杆，所述第一转动块与所述第一取料杆连接，所述第二转动块与所述第二取料杆连接，所述连杆的一端与所述第一转动块连接，所述连杆的另一端与所述第二转动块连接；所述电机的输出轴上安装有第一齿轮，所述第一取料杆上安装有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮套设有同步齿轮皮带。本实用新型全自动实现产品的取出和放回，结构精简，能够降低设备的生产成本。
半自动清洗机构

[发明专利]半导体圆晶清洗设备-CN202011524625.X在审
发明人：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体圆晶清洗设备，包括机架，所述机架由干湿隔断门分隔成湿式清洗区和干式清洗区；所述湿式清洗区包括化学试剂清洗室、纯水清洗室、用于运输花篮的湿式机械手和用于清洗湿式机械手的机械手清洗室；所述干式清洗区包括圆晶甩干室、圆晶存放室和用于运输花篮的干式机械手；所述机架上安装有用于驱动所述湿式机械手/所述干式机械手进行上下和/或左右移动的驱动模组。本发明利用机械手实现化学试剂清洗、纯水清洗和甩干三道工序，提高半导体清洗的自动化程度；且各个清洗室的结构设计利于提高半导体清洗的洁净效果，有助于产品良率的提高。
半导体清洗设备

[发明专利]半导体元件用干冰清洗设备-CN202011526642.7在审
发明人：陈铁龙;林智颖;陈坤;张振;孙东初 -专利权人：苏州睿智源自动化科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： B08B5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体元件用干冰清洗设备，包括设备架体，安装在所述设备架体上的干冰发生机构、干冰喷射机构、干冰净化机构和清洗室；所述干冰发生机构包括液态二氧化碳存储罐和干冰发生器；所述干冰喷射机构包括用于安装干冰喷嘴的干冰喷头座和驱动所述干冰喷头座移动的机械手；所述干冰净化机构包括进风机和抽风机，所述进风机与所述清洗室连通，所述抽风机与所述清洗室连通；所述清洗室由一网板分隔成上层清洗部和下层集料部，所述网板上固定有用于放置产品的放置板，所述清洗室开设有出风口，所述出风口与所述抽风机连通。本发明利用干冰颗粒对半导体元件表面的毛刺、颗粒物等杂质进行破碎，使半导体表面达到高洁净度的要求。
半导体元件干冰清洗设备

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