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- [发明专利]类钻碳膜及其制作方法-CN201010600156.5有效
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黄家宏;林昭宪;吴政谚;高于迦
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财团法人金属工业研究发展中心
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2010-12-22
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2012-07-11
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C23C16/26
- 一种类钻碳膜,包含:一类钻碳附着层设于一基材及一类钻碳强化层设于该类钻碳附着层的表面;其中,该类钻碳附着层的石墨结构所占的比例高于该类钻碳强化层的石墨结构所占的比例。该类钻碳膜的制作方法是包含:将一基板置于一反应腔体中;将一含碳气体通入该反应腔体中,并以一离子源提供该含碳气体701~3000eV的解离能量,使该含碳气体于该基板的表面沉积形成一类钻碳附着层;以该离子源提供该含碳气体100~700eV的解离能量,使该含碳气体于该类钻碳附着层沉积形成一类钻碳强化层。本发明通过高能量离子源提供高解离能量使该含碳气体解离,而形成高附着性及高硬度的类钻碳膜,无须掺杂或中介层等方式便可提升类钻碳膜的附着性。
- 类钻碳膜及其制作方法
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