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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]周缘部涂布装置及周缘部涂布方法-CN202110588813.7在审
  • 马渕康史;后藤茂宏;松泰司;胡铃达 - 株式会社斯库林集团
  • 2021-05-28 - 2021-12-03 - B05B13/02
  • 本发明涉及一种周缘部涂布装置及周缘部涂布方法。利用旋转保持部保持衬底而使衬底绕着衬底的中心轴旋转。在衬底正在旋转的状态下，通过利用涂布液供给部向衬底一面的周缘部供给涂布液，从而在衬底一面的除中央区域以外的周缘部形成涂布膜。当在衬底一面的周缘部形成涂布膜之后，反复进行预定次数2次以上的利用旋转保持部的搅拌动作。在各搅拌动作中，使衬底加速而提高衬底的转速。在衬底加速之后，使衬底减速而减小衬底的转速。在衬底减速之后，维持衬底的转速。
  • 周缘部涂布装置方法
  • [发明专利]涂布装置-CN202010885914.6在审
  • 松近启司;松泰司;俵谷佳典;铃木优史;西山耕二;村井征尔;福本靖博 - 株式会社斯库林集团
  • 2020-08-28 - 2021-03-05 - H01L21/67
  • 本发明涉及一种涂布装置。形成有多个孔部(43)的截流环(41)配置在内罩(21)的下端(26A)，且具有与外罩(23)的从外周壁(29)到间壁(31)为止的宽度大致相同的环宽。由于从内罩(21)滴落的涂布液的一部分被截流环(41)拦截，因此能够防止因冰柱状的涂布液导致底排气通路(PT2)堵塞。另外，当气体从外排气通路(PT1)流向底排气通路(PT2)时，截流环(41)能够捕获涂布液雾气。进而，当气体从底排气通路(PT2)流向内排气通路(PT3)时，截流环(41)能够进一步捕获残留的涂布液雾气。能够提高处理液雾气的捕获效率。
  • 装置
  •  1 
  • 共 3 条
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