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- [实用新型]一种清洗设备-CN202123346972.0有效
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张昀;杨贤敏
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上海华力微电子有限公司
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2021-12-28
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2022-06-14
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种清洗设备,包括腔体、基座和聚焦环,其中,所述聚焦环环绕在所述基座的外围,用于将清洗粒子聚集在所述聚焦环的内围区域,并且在放置基片时使所述基片的边缘和所述聚焦环的内环部贴合。在本实用新型提供的清洗设备中,由于基片的边缘与聚焦环的内环部贴合,从而使得清洗粒子可被聚焦环挡在外侧,而无法侵入到基片的背面而接触到基片的背面,进而可保护基片的背面不被损伤,以保证基片的完整性,同时清洗粒子也不会接触到基座表面,因此还可保护基座表面不被腐蚀。
- 一种清洗设备
- [发明专利]一种多臂机械手-CN201610361680.9有效
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王作禄;付祥松;杨贤敏;龚智伟;解庆洋
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王作禄;付祥松
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2016-03-22
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2016-08-17
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B25J9/00
- 本实用新型公开了一种多臂机械手,包括工作台、底座和机械手架,机械手架设置在底座上,机械手架从上到下依次设置有取料机械手、操作机械手和送料机械手,取料机械手和送料机械手的与尾端与机械手架之间通过旋转部件连接,操作机械手的尾端固定在机械手架上,所述工作台设置在底座旁边,底座和工作台外围设置有一圈接近圆形的零部件放置台,取料机械手、送料机械手和操作机械手均包括竖直伸缩臂和水平伸缩臂。本实用新型的多臂机械手取料、送料与操作同时进行,整个流水线由机械手完成,提高工作效率。
- 一种多臂机
- [实用新型]一种多臂机械手-CN201620219433.0有效
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王作禄;付祥松;杨贤敏;龚智伟;解庆洋
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王作禄;付祥松
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2016-03-22
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2016-08-17
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B25J9/00
- 本实用新型公开了一种多臂机械手,包括工作台、底座和机械手架,机械手架设置在底座上,机械手架从上到下依次设置有取料机械手、操作机械手和送料机械手,取料机械手和送料机械手的与尾端与机械手架之间通过旋转部件连接,操作机械手的尾端固定在机械手架上,所述工作台设置在底座旁边,底座和工作台外围设置有一圈接近圆形的零部件放置台,取料机械手、送料机械手和操作机械手均包括竖直伸缩臂和水平伸缩臂。本实用新型的多臂机械手取料、送料与操作同时进行,整个流水线由机械手完成,提高工作效率。
- 一种多臂机
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