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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种加热盘及薄膜沉积设备-CN202320800931.4有效
发明人： 李镐赞 -专利权人：无锡金源半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热盘及薄膜沉积设备，加热盘包括载台、连接轴以及加热件，载台的任一端面成型为外沿高于中心的凹面结构，连接轴垂直连接于载台另一端面，凹面结构沿连接轴的轴线方向截面为弓形，凹面结构适于承载待加热的晶圆，且与晶圆围合成为工作腔。载台产生的热量传递至工作腔中，热量在工作腔中均匀化，在晶圆的下表面呈现均匀的热量，从而使得晶圆边缘处的受热与中心处的受热更加接近，更容易满足工艺要求的同时提高了良品率。同时，由于载台外沿高度高于中心区域，因此该加热盘的载台的边沿部分形变至与晶圆边缘脱离接触需要更长周期，从而缓解了由于载台形变带来的晶圆受热不均的问题，进一步提高了晶圆的良品率。
一种加热薄膜沉积设备

[发明专利]一种双通道喷淋装置及薄膜沉积设备-CN202311105579.3在审
发明人：崔仁权;李镐赞 -专利权人：无锡金源半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请涉及薄膜沉积领域，尤其涉及一种双通道喷淋装置及薄膜沉积设备。双通道喷淋装置，包括喷淋板，喷淋板上设置有若干喷淋孔；盖板，盖合于所述喷淋板上，并与喷淋板之间形成喷淋腔室；盖板内还设有加热件和匀气腔室，匀气腔室与喷淋腔室相通；第一进气管，与匀气腔室连通；第二进气管，与喷淋腔室连通。从第一进气管进入的反应气体流通到喷淋腔室的边缘，从第二进气管进入的反应气体流通到喷淋腔室的中部，从而使喷淋腔室喷出的气体均匀分散到晶圆上。
一种双通道喷淋装置薄膜沉积设备

[发明专利]电极-CN202280010045.X在审
发明人： 李镐赞;宋寅宅;李一何;李根成;金起焕;睦英凤;朴镇宇 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01M4/13 文献下载
摘要：本申请涉及一种包括集流体和活性材料层的电极，其可以提供一种相对于活性材料层中的粘合剂的含量，能够确保高水平的粒子间粘合力以及活性材料层与集流体之间的粘合力的电极。本申请还可以提供所述电极的用途。
电极

[实用新型]一种喷淋组件及薄膜沉积装置-CN202321170850.7有效
发明人： 李镐赞 -专利权人：无锡金源半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型的喷淋组件和薄膜沉积装置，包括上盖板、引流部、喷淋部以及加热器；所述上盖板的中央具有第一进气通道；所述引流部与所述上盖板共同限定形成预热气流路径，所述引流部底部的中央设有第二进气通道，所述加热器位于所述引流部内，且围绕所述第二进气通道设置；所述预热气流路径位于所述加热器与上盖板之间，且连通所述第一进气通道和所述第二进气通道，适于预热从所述第一进气通道至第二进气通道的反应气体。在第二进气通道上方设置预热气流路径，可以在反应气体从第二进气通道排出之前，提前进行预热，使反应气体后续喷淋至薄膜沉积装置的反应腔体时，减少反应气体温度不均匀的情况，提高了薄膜的沉积均匀性。
一种喷淋组件薄膜沉积装置

[发明专利]电极-CN202280009017.6在审
发明人：李根成;李一何;宋寅宅;朴镇宇;金起焕;李镐赞;咸允慧 -专利权人：株式会社LG化学
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01M4/62 文献下载
摘要：本申请涉及一种包括集电器和活性材料层的电极，其可以提供一种相对于活性材料层中的粘合剂含量能够确保高水平的粒子间粘附力和活性材料层与集电器之间的粘附力的电极。通过这一点，本申请还可以提供一种在具有高容量的同时具有优异的性能等的二次电池。
电极

[发明专利]一种喷淋组件及薄膜沉积装置-CN202310547454.X在审
发明人： 李镐赞 -专利权人：无锡金源半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本公开的喷淋组件和薄膜沉积装置，包括上盖板、引流部、喷淋部以及加热器；所述上盖板的中央具有第一进气通道；所述引流部与所述上盖板共同限定形成预热气流路径，所述引流部底部的中央设有第二进气通道，所述加热器位于所述引流部内，且围绕所述第二进气通道设置；所述预热气流路径位于所述加热器与上盖板之间，且连通所述第一进气通道和所述第二进气通道，适于预热从所述第一进气通道至第二进气通道的反应气体。在第二进气通道上方设置预热气流路径，可以在反应气体从第二进气通道排出之前，提前进行预热，使反应气体后续喷淋至薄膜沉积装置的反应腔体时，减少反应气体温度不均匀的情况，提高了薄膜的沉积均匀性。
一种喷淋组件薄膜沉积装置

[发明专利]电极-CN202180066634.5在审
发明人：李根成;李一何;宋寅宅;金起焕;睦英凤;李镐赞 -专利权人：株式会社LG新能源
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01M4/62 文献下载
摘要：本申请涉及一种电极、以及包括其的电化学元件和二次电池。本申请涉及一种包括集电器和活性材料层的电极，其相较于活性材料层中的粘合剂含量可提供一种能够以高水平确保颗粒之间的粘附力、和活性材料层与集电器之间的粘附力的电极。本申请也可提供一种包括所述电极的电化学元件和二次电。
电极

[发明专利]电极-CN202180066635.X在审
发明人：李根成;李一何;宋寅宅;朴镇宇;金起焕;李镐赞 -专利权人：株式会社LG新能源
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01M4/62 文献下载
摘要：本申请涉及一种电极、一种电化学元件、和一种二次电池。本申请涉及一种包括集电器和活性材料层的电极，其相较于活性材料层中的粘合剂含量可提供一种能够以高水平确保颗粒之间的粘附力、和活性材料层与集电器之间的粘附力的电极。本申请也可提供一种包括所述电极的电化学元件和二次电。
电极

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